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一種可調(diào)薄膜體聲波諧振器及其制備方法
本發(fā)明公開了一種可調(diào)薄膜體聲波諧振器及其制備方法，該制 備方法包括步驟 S1：在潔凈的 Si 襯底上制備阻擋層；S2：在阻擋層上 制備布拉格反射柵，布拉格反射柵由不同聲波阻抗薄膜構(gòu)成；S3：在 布拉格反射柵上依次制備粘附層和底電極；S4：在底電極上制備多層 異質(zhì)結(jié)構(gòu)，并作為體聲波諧振器的壓電層；多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)由 BST 薄膜、 BZT 薄膜或 BZN 薄膜構(gòu)成；S5：將多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)進行退火處理后形成 晶化薄膜；S6：在
華中科技大學
2021-04-14
一種多層薄膜微結(jié)構(gòu)自對準制備方法及裝置
本發(fā)明公開一種多層薄膜微結(jié)構(gòu)自對準制備方法，通過分隔板將噴頭內(nèi)腔體縱向分為至少兩個腔室，在各腔室內(nèi)注入不相溶的高分子溶液，并匯聚于噴頭的噴嘴處；施加高壓靜電場，同時驅(qū)使接收板做平面直線運動，在高壓靜電場作用下噴嘴處的溶液變形成泰勒錐，從泰勒錐尖端拉出射流，射流中的多種高分子材料先后沿著接收板運動的方向進行靜電紡絲，形成多層薄膜微結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還公開一種實現(xiàn)上述方法的裝置，分隔板縱向設于噴嘴內(nèi)，將噴嘴內(nèi)腔體分隔為至少左右兩個腔室；在噴嘴端部設有端部蓋板，端部蓋板與噴嘴端部之間設有密封片；噴嘴的側(cè)面開有溶
華中科技大學
2021-04-14
一種基于激光加熱固膜的駐極體薄膜制備方法
本發(fā)明公開了一種基于激光加熱固膜的駐極體薄膜制備方法， 包括：將導電基材層固定于旋涂、噴涂或者刮涂設備上，并配置適當 的駐極體納米顆粒懸浮液；通過調(diào)整旋涂速度、噴涂速度或者刮涂厚 度參數(shù)使得駐極體懸浮液均勻覆蓋，然后對駐極體懸浮液的溶劑執(zhí)行 蒸發(fā)處理，由此在導電基材層上形成具備一定厚度的駐極體材料層； 采用激光加熱設備將激光照射到駐極體材料層表面上，由此利用激光 照射產(chǎn)生的熱量使得駐極體納米顆粒融化并相互連接，由此制
華中科技大學
2021-04-14
一種鈣鈦礦薄膜光伏電池及其制備方法
本發(fā)明涉及一種鈣鈦礦薄膜光伏電池及其制備方法。所述的鈣鈦礦薄膜光伏電池是由導電透明襯底、 鈣鈦礦吸光層、空穴傳輸層和金屬電極組成的。本發(fā)明的優(yōu)點是：該鈣鈦礦薄膜光伏電池器件結(jié)構(gòu)極其 簡單，省去了傳統(tǒng)的需要高溫燒結(jié)的電子傳輸層，也不需要多孔層，鈣鈦礦材料本身既做吸光層也起電 子傳輸作用，所以不需要電子傳輸層。這里的鈣鈦礦材料對光具有非常強的吸收，整個電池也是低溫制 備，不需要高溫燒結(jié)等復雜過程，這有效地降低了電池的制作成本。對電池的柔性化和大面積
武漢大學
2021-04-14
用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一、項目分類
顯著效益成果轉(zhuǎn)化
二、成果簡介
現(xiàn)有物理氣相沉積（PVD）制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源，生產(chǎn)過程中，薄膜成分的調(diào)控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預期獲得納微復雜結(jié)構(gòu)的復合薄膜，按照常規(guī)技術路線需要上百塊成分連續(xù)變化的合金靶材，這顯然是無法實現(xiàn)的。同時，采用合金靶材制備某些多元薄膜時，需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源，這類特殊靶材以現(xiàn)有技術難以制造。
為此，本發(fā)明研發(fā)出一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法，利用本發(fā)明技術有助于新材料的研發(fā)和促進半導體器件、切削刀具涂層等高新技術的發(fā)展。
武漢理工大學
2022-08-12
一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法
本發(fā)明公開了一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法，其包 括的成分及該成分的原子百分比含量分別為：14.0～22.0at.％Cr，6.0～ 16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W 以及余 量的 Fe。其制備方法包含 S1 制備單一合金靶材；S2 選擇襯底材料， 將襯底表面進行平整化，然后清洗并吹干待用；S3 進行磁控濺射，其 中，背景真空度值不高于 5x10<sup
華中科技大學
2021-04-14
一種多層薄膜微結(jié)構(gòu)自對準制備方法及裝置
本發(fā)明公開一種多層薄膜微結(jié)構(gòu)自對準制備方法，通過分隔板 將噴頭內(nèi)腔體縱向分為至少兩個腔室，在各腔室內(nèi)注入不相溶的高分 子溶液，并匯聚于噴頭的噴嘴處；施加高壓靜電場，同時驅(qū)使接收板 做平面直線運動，在高壓靜電場作用下噴嘴處的溶液變形成泰勒錐， 從泰勒錐尖端拉出射流，射流中的多種高分子材料先后沿著接收板運 動的方向進行靜電紡絲，形成多層薄膜微結(jié)構(gòu)。本發(fā)明還公開一種實 現(xiàn)上述方法的裝置，分隔板縱向設于噴嘴內(nèi)，將噴嘴內(nèi)腔體分隔為至 少左右兩個腔室；在噴嘴端部設有端部蓋板，端部蓋板與噴嘴端部之 間設有密封片；
華中科技大學
2021-04-14
一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法
本發(fā)明公開了一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法。該薄膜為聚苯胺與三氧化鎢的復合薄膜，其中含有5～80％質(zhì)量分數(shù)的三氧化鎢，薄膜厚度為50～300nm，表面具有納米棒陣列形貌。該制備方法包括：將表面經(jīng)羥基化處理的ITO玻璃或者ITO/PET基底垂直豎立并固定于反應容器中，將過氧化鎢酸溶液與苯胺溶液的混合溶液倒入其中并攪拌；再加入過硫酸銨溶液，攪拌下進行反應；反應完成后，取出沉積有薄膜的基底并沖洗、干燥而得。本發(fā)明制備方法實現(xiàn)了聚苯胺/氧化物在分子層次復合，工藝簡單，成分可方便控制，成本較低，易于實現(xiàn)工業(yè)化。制得的薄膜光譜調(diào)節(jié)范圍大、顏色豐富、響應速度快、循環(huán)壽命長，應用范圍廣泛。
浙江大學
2021-04-13
一種雙波段薄膜光探測器及其制備方法
本發(fā)明屬于微納制造與光電子器件領域，并公開了一種雙波段 薄膜光探測器，包括基底薄片、第一電極層、第一 WSe2 層、石墨烯 層、第一 MoS2 層、第二電極層、介質(zhì)層、第二 WSe2 層、第三電極 層、第二 MoS2 層和第四電極層,第一電極層設置在基底薄片上;第一 WSe2 層鋪設在基底薄片和第一電極層上;石墨烯層設置在第一 WSe2 層上;
華中科技大學
2021-04-14
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9-硝基喜樹堿-環(huán)糊精包合物及其制備方法和含有該包合物的藥物組合物
【發(fā) 明 人】顧薇；陳軍；楊希雄；陸姍姍；嚴旭 【摘要】 針對現(xiàn)有技術中9-硝基喜樹堿溶解度差、生物利用度低的技術問題，本發(fā)明提供9-NC-環(huán)糊精包合物，其含有分子摩爾比為1:30~200的活性成分9-NC和包合劑β-CD或其衍生物；具體制備方法為：將9-NC丙酮飽和溶液滴加到CD溶液中，并在25~60℃下磁力攪拌至丙酮完全揮發(fā)；所得混懸液離心后取上清液進行冷凍干燥得9-NC-CD包合物粉末。同時本發(fā)明提供含有上述9-NC-CD包合物和藥學上可接受的賦形劑的藥物組合物。本發(fā)明提供的包合物相比于9-NC游離藥物溶解度增加300倍以上；同時包合物表現(xiàn)出更高的內(nèi)酯穩(wěn)定性與體外緩釋效果；用X射線衍射分析與熱分析法表明包合物中9-NC已完全被包合，進一步驗證工藝的可靠性。由此，包合物可被開發(fā)成為液體制劑，也可改善9-NC固體制劑的體內(nèi)吸收，提高生物利用度。
南京中醫(yī)藥大學
2021-04-13