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一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會(huì)
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關(guān)鍵詞：
鐵基非晶薄膜
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項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明公開(kāi)了一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法，其包
括的成分及該成分的原子百分比含量分別為：14.0～22.0at.％Cr，6.0～
16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W 以及余
量的 Fe。其制備方法包含 S1 制備單一合金靶材；S2 選擇襯底材料，
將襯底表面進(jìn)行平整化，然后清洗并吹干待用；S3 進(jìn)行磁控濺射，其
中，背景真空度值不高于 5x10<sup
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