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一種可調薄膜體聲波諧振器及其制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
聲波諧振器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種可調薄膜體聲波諧振器及其制備方法，該制
備方法包括步驟 S1：在潔凈的 Si 襯底上制備阻擋層；S2：在阻擋層上
制備布拉格反射柵，布拉格反射柵由不同聲波阻抗薄膜構成；S3：在
布拉格反射柵上依次制備粘附層和底電極；S4：在底電極上制備多層
異質結構，并作為體聲波諧振器的壓電層；多層異質結構由 BST 薄膜、
BZT 薄膜或 BZN 薄膜構成；S5：將多層異質結構進行退火處理后形成
晶化薄膜；S6：在
項目階段:
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