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壓印法集成電路光刻技術
本項目提出一種創新的集成電路(IC)制造工藝路線，即壓印光刻(Imprint Lithography－IL)技術，并對該技術相關的壓印和脫模工藝機理、紫外光固化阻蝕膠材料的物化和工藝特性、與IC制造其它工藝的綜合集成和優化、壓印光刻設備的關鍵技術等進行研究和技術開發。其基本原理為：以電子束直寫刻蝕(或其它刻蝕技術)生成IC圖型母板(模具)，以母板(模具)步
西安交通大學
2021-01-12
復合防銹潤滑脂技術
防銹幾乎是所有金屬與生俱來的共性，因為只要有氧，就必然有金屬的氧化，有水汽就會有金屬的銹蝕。只要有界面就存在摩擦，相對應的就需要潤滑，潤滑是隨摩擦產生的，這是在日常生活和科學技術領域的任何地方都存在的一種平凡現象；也是現代技術部門經常遇到的最普遍最重要的問題之一。因此防銹潤滑脂是一種用途極其廣泛的長線產品。 防銹主要是為了保障材料的使用性能，延長其使用壽命。潤滑主要是為了使機械設備在苛刻的使用條件（如高溫、高速、高負荷、特殊介質環境）下持續穩定工作，發揮最大功能，減少維修和停工損耗，節約能耗和材料消耗，提高綜合經濟效益。由于金屬材質和使用環境的差異，摩擦形式的不同，對產品有不同的功能要求。為了適應用的需要，開發生產了各種不同用途的潤滑脂、防銹劑。 新近開發的該復合防銹潤滑脂是復合了多重防銹及潤滑于一體的一種膏脂，在高溫120℃和強紫外線照射下不流淌，不流失；在低溫-40℃下不干固、不龜裂；經水沖刷不脫落不稀釋；在絲扣縫隙有很好的油浸潤性。可用于長期暴露在野外的螺栓（如鐵路軌道螺栓）的防銹潤滑，達到延長使用壽命，方便松緊螺栓進行保養和維修的目的。產品已在鐵道軌道最惡劣環境路段的螺栓上做了應用試驗，其防銹和浸潤潤滑效果極佳。 本產品也可用于各類傳動（齒輪、鏈條、滾球）部位的潤滑，也可用于其它長期暴露在野外露天的螺栓的防銹與潤滑，是一種適應性較廣的防銹潤滑兼備的實用型膏脂。
武漢工程大學
2021-04-11
復合防銹潤滑脂技術
中試階段/n防銹主要是為了保障材料的使用性能，延長其使用壽命。潤滑主要是為了使機械設備在苛刻的使用條件（如高溫、高速、高負荷、特殊介質環境）下持續穩定工作，發揮最大功能，減少維修和停工損耗，節約能耗和材料消耗，提高綜合經濟效益。由于金屬材質和使用環境的差異，摩擦形式的不同，對產品有不同的功能要求。為了適應用的需要，開發生產了各種不同用途的潤滑脂、防銹劑。。新近開發的該復合防銹潤滑脂是復合了多重防銹及潤滑于一體的一種膏脂，在高溫120℃和強紫外線照射下不流淌，不流失；在低溫-40℃下不干固、不龜裂；經水沖刷不脫落不稀釋；在絲扣縫隙有很好的油浸潤性。可用于長期暴露在野外的螺栓（如鐵路軌道螺栓）的防銹潤滑，達到延長使用壽命，方便松緊螺栓進行保養和維修的目的。產品已在鐵道軌道最惡劣環境路段的螺栓上做了應用試驗，其防銹和浸潤潤滑效果極佳。。 本產品也可用于各類傳動（齒輪、鏈條、滾球）部位的潤滑，也可用于其它長期暴露在野外露天的螺栓的防銹與潤滑，是一種適應性較廣的防銹潤滑兼備的實用型膏脂。
武漢工程大學
2021-04-11
用于浸沒式光刻的浸液溫控裝置
本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，包括：用 于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進口進入該浸液管 路，溫控處理后的具有穩定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出； 用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中 循環流動；以及多個熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和 工藝冷卻水回路同時流經每個熱交換器，并利用各熱交換器分別依次 完成工藝冷卻液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩 定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置系統采用內部 回流結構與多級熱交換器相結合，實現對浸液溫度的多級控制，可以 實現浸沒光刻中對浸液穩定的精確穩定的控制，提供溫控效率。
華中科技大學
2021-04-11
一種光刻掩模優化設計方法
本發明公開了一種光刻掩模優化設計方法，該方法首先依據表 征掩模的網格格點尺寸大小對掩模進行分級，在粗網格上快速求解掩 模，然后對在粗網格上求解得到的掩模進行插值傳播到下一級較細網 格上進行細化校正，最終實現了掩模的快速優化。
華中科技大學
2021-04-11
微納米壓印光刻工藝及裝備
微納米結構成形是光電子制造中的核心工藝之一。壓印光刻克服了傳統光學光刻中光學衍射效應的限制，是一種經濟、高效、高分辨的結構成形方法。 正在探索的壓印工藝方法包括：UV-NIL、模板電誘導自組裝納米成形、電潤濕驅動納米壓印等。 正在探討壓印光刻的應用領域包括：集成電路(IC)、微機電系統(MEMS)、生物微流控、光波導、光或磁存儲、有機光電子、平板顯示等器件的制造。
西安交通大學
2021-04-11
超衍射極限納米光刻機技術
研發階段/n1、在該方向發表論文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申報和獲得該方向相關發明專利8項。其中1項授權轉讓給Facebook，Sony和中國一家企業。在華中科技大學申報5項發明專利，依托武漢舒博光電技術有限公司申報2項發明專利。。3、研發出2代超分辨納米光刻樣機。。4、配備光學裝備開發專門團隊，初步建成光學精密制造和檢測平臺。
華中科技大學
2021-01-12
一種光刻掩模優化設計方法
本發明公開了一種光刻掩模優化設計方法，該方法首先依據表征掩模的網格格點尺寸大小對掩模進行分級，在粗網格上快速求解掩模，然后對在粗網格上求解得到的掩模進行插值傳播到下一級較細網格上進行細化校正，最終實現了掩模的快速優化。
華中科技大學
2021-04-14
用于浸沒式光刻的浸液溫控裝置
本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，包括：用于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進口進入該浸液管路，溫控處理后的具有穩定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出；用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中循環流動；以及多個熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工藝冷卻水回路同時流經每個熱交換器，并利用各熱交換器分別依次完成工藝冷卻液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置系統采用內部回流結構與多級熱交換器相結合，
華中科技大學
2021-04-14
光刻膠及液體硅橡膠的開發
懸賞金額：50萬元
發榜企業：惠州市強達電子工業有限公司
需求領域：特種功能材料 LED前沿與核心技術 精細化工 電子材料、半導體材料高分子、復合材料
產業集群：先進材料產業集群
技術關鍵詞：光刻樹脂; 光刻膠; 特種硅樹脂; 高性能硅橡膠; 紫外光固化技術
惠州市強達電子工業有限公司
2021-11-02