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西安交通大學
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壓印法集成電路光刻技術

2021-01-12 00:00:00
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

本項目提出一種創新的集成電路(IC)制造工藝路線，即壓印光刻(Imprint Lithography－IL)技術，并對該技術相關的壓印和脫模工藝機理、紫外光固化阻蝕膠材料的物化和工藝特性、與IC制造其它工藝的綜合集成和優化、壓印光刻設備的關鍵技術等進行研究和技術開發。

項目階段:

產業化應用

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