高等教育領域數字化綜合服務平臺
華中科技大學
教育部
- 74 高校采購信息
- 3295 科技成果項目
- 0 創新創業項目
- 0 高校項目需求
超衍射極限納米光刻機技術
2021-01-12 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
納米光刻機
所屬領域:
項目成果/簡介:
研發階段
1、在該方向發表論文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。
2、申報和獲得該方向相關發明專利8項。其中1項授權轉讓給Facebook，Sony和中國一家企業。在華中科技大學申報5項發明專利，依托武漢舒博光電技術有限公司申報2項發明專利。
3、研發出2代超分辨納米光刻樣機。
4、配備光學裝備開發專門團隊，初步建成光學精密制造和檢測平臺。
項目階段:
小批量或小范圍應用
掃碼關注，查看更多科技成果
取消
確定