大尺寸鈮酸鋰晶體、單晶薄膜及器件
                                        
                                            本技術(shù)涵蓋大尺寸鈮酸鋰晶體生長工藝及裝備、晶圓制備、單晶薄膜制備及聲表面波器件,實(shí)現(xiàn)材料、裝備、器件協(xié)同發(fā)展。主要針對8英寸鈮酸鋰晶體、單晶薄膜及聲表面波器件進(jìn)行開發(fā)研究,該技術(shù)屬于我國“卡脖子”技術(shù),目前國際市場空白。在鈮酸鋰晶體生長方面,開發(fā)了大尺寸智能單晶生長設(shè)備及工藝,包括大尺寸鈮酸鋰晶體生長模擬仿真設(shè)計(jì)、鈮酸鋰熔體-晶體固液界面特性與控制、大尺寸鈮酸鋰晶體生長工藝開發(fā)、生長-檢測-分析-控制人工智能系統(tǒng)。采用離子束切片鍵合技術(shù)制備鈮酸鋰單晶薄膜,突破傳統(tǒng)的薄膜制備方法無法制備單晶鈮酸鋰薄膜
                                        
                                        
                                            山東大學(xué)
                                            2021-04-14