|
搜索
搜 索
高等教育領域數字化綜合服務平臺
用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法
一、項目分類
顯著效益成果轉化
二、成果簡介
現有物理氣相沉積（PVD）制備多元薄膜材料采用合金靶材作為靶源，生產過程中，薄膜成分的調控范圍受安裝的合金靶材的成分比例的限制。如果預期獲得納微復雜結構的復合薄膜，按照常規技術路線需要上百塊成分連續變化的合金靶材，這顯然是無法實現的。同時，采用合金靶材制備某些多元薄膜時，需要特高純度的或極端成分比例的靶材作為靶源，這類特殊靶材以現有技術難以制造。
為此，本發明研發出一種用于預測多元拼合靶材制備的薄膜成分的預測方法，利用本發明技術有助于新材料的研發和促進半導體器件、切削刀具涂層等高新技術的發展。
武漢理工大學
2022-08-12
一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法
本發明公開了一種防腐耐磨鐵基非晶薄膜及其制備方法，其包 括的成分及該成分的原子百分比含量分別為：14.0～22.0at.％Cr，6.0～ 16.0at.％Mo，4.0～7.0at.％B，4.0～20.0at.％C，0.0～3.0at.％W 以及余 量的 Fe。其制備方法包含 S1 制備單一合金靶材；S2 選擇襯底材料， 將襯底表面進行平整化，然后清洗并吹干待用；S3 進行磁控濺射，其 中，背景真空度值不高于 5x10<sup
華中科技大學
2021-04-14
一種多層薄膜微結構自對準制備方法及裝置
本發明公開一種多層薄膜微結構自對準制備方法，通過分隔板 將噴頭內腔體縱向分為至少兩個腔室，在各腔室內注入不相溶的高分 子溶液，并匯聚于噴頭的噴嘴處；施加高壓靜電場，同時驅使接收板 做平面直線運動，在高壓靜電場作用下噴嘴處的溶液變形成泰勒錐， 從泰勒錐尖端拉出射流，射流中的多種高分子材料先后沿著接收板運 動的方向進行靜電紡絲，形成多層薄膜微結構。本發明還公開一種實 現上述方法的裝置，分隔板縱向設于噴嘴內，將噴嘴內腔體分隔為至 少左右兩個腔室；在噴嘴端部設有端部蓋板，端部蓋板與噴嘴端部之 間設有密封片；
華中科技大學
2021-04-14
一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法
本發明公開了一種有機-無機復合電致變色薄膜及其制備方法。該薄膜為聚苯胺與三氧化鎢的復合薄膜，其中含有5～80％質量分數的三氧化鎢，薄膜厚度為50～300nm，表面具有納米棒陣列形貌。該制備方法包括：將表面經羥基化處理的ITO玻璃或者ITO/PET基底垂直豎立并固定于反應容器中，將過氧化鎢酸溶液與苯胺溶液的混合溶液倒入其中并攪拌；再加入過硫酸銨溶液，攪拌下進行反應；反應完成后，取出沉積有薄膜的基底并沖洗、干燥而得。本發明制備方法實現了聚苯胺/氧化物在分子層次復合，工藝簡單，成分可方便控制，成本較低，易于實現工業化。制得的薄膜光譜調節范圍大、顏色豐富、響應速度快、循環壽命長，應用范圍廣泛。
浙江大學
2021-04-13
一種雙波段薄膜光探測器及其制備方法
本發明屬于微納制造與光電子器件領域，并公開了一種雙波段 薄膜光探測器，包括基底薄片、第一電極層、第一 WSe2 層、石墨烯 層、第一 MoS2 層、第二電極層、介質層、第二 WSe2 層、第三電極 層、第二 MoS2 層和第四電極層,第一電極層設置在基底薄片上;第一 WSe2 層鋪設在基底薄片和第一電極層上;石墨烯層設置在第一 WSe2 層上;
華中科技大學
2021-04-14
柔性彩色電子紙的卷對卷全印刷生產技術
本成果以混合自適應 人工智能優化程序設計出亞波長單晶硅超構表面結構，實現了相位的精確控制并減小了單晶硅結構在可見 光的吸收。進一步，使用該結構實現了浸鏡油浸沒下數值孔徑為1.48的高透過率超構光學透鏡，在可見光 532納米波長實現211納米線寬的聚焦光斑，可大大提高共聚焦顯微鏡分辨率。此成果在2018年12月美國光 學學會旗下光學與光子學新聞（Optics & Photonics News）入選為本年度國際光學重要進展，并對該成果作 了整版報道。已申請國內發明專利一項。 本成果適用于顯微顯納成像、激光光刻、光鑷等光學聚焦應用相關領域。進一步擴展，可用于光學攝 像及顯示技術中的微光學器件。已作為光學探針初步應用于共聚焦成像系統，目前正研制新一代技術拓展 于手機攝像、顯示微光學等。
中山大學
2021-04-10
一種柔性桁架結構基于剛度影響的重分析方法
本發明提供了一種柔性桁架結構基于剛度影響的重分析方法，首先基于有限元分析獲得柔性平面桁架位移頻響函數，構造位移頻響矩陣，當某一單元的彈性模量發生改變時，確定全局總剛度矩陣變化量，基于矩陣修正公式，根據初始位移頻響矩陣快速獲得修正后的結構響應，完成頻響動態重分析求解。因此，無需進行多次有限元計算，利用初始的頻響動態響應信號及明確結構的局部剛度變化，即可完成剛度攝動后結構的動態分析，簡化計算效率，更加方便，具有實際工程意義。
東南大學
2021-04-11
一種自由可調的電磁吸附式柔性胎架結構
項目簡介 將胎架支撐桿改為上、下螺紋管，通過旋轉上螺紋管來達到宏微調節高度的目的， 有效地避免了傳統胎架中胎架管利用率低的問題，大大減少了材料的浪費，降低了加工 成本，提高了設備占用率，縮短了工期。電磁式帶弧度托板和分段是通過電磁鐵進行連 接的，降低了傳統胎架中通過焊接帶來的安全隱患，無需焊接，無需后續打磨工作，降 低了加工成本，提高了設備利用率，縮短了工期。胎架與分段通過電磁式帶弧度托板連 接，連接面積遠遠大于傳統電焊面積，有效減少了胎架個數，穩定性增強，而且可以重 復使用。由于胎架
江蘇大學
2021-04-14
一種柔性直流網絡直流短路故障穿越方法
本發明公開了一種具備負電平輸出能力的 MMC 與機械型直流 斷路器協調控制實現柔性直流網絡直流短路故障穿越的方法，屬于柔 性直流網絡直流故障保護領域。現有技術中，處理直流故障的手段主 要有三種：依靠交流設備斷開與直流系統的連接、依靠換流器本身進 行直流故障清除、依靠直流設備進行直流故障隔離，但以上三種方法 都無法有效實現柔性直流網絡直流故障保護。本發明中的 MMC 包括具備負電平輸出能力的子模塊，通過靈活調節上、下橋臂輸出電壓， 使換流器直流端口電壓呈現負電平，從而達到直流短路故障電流可控 且快速降
華中科技大學
2021-04-14
考慮關機重啟策略的柔性作業車間節能調度的建模方法
本發明公開了考慮關機重啟策略的柔性作業車間節能調度的建 模方法，以能耗最小為目標，基于空閑時間與空閑能耗兩種建模思想， 建立了 6 個考慮關機重啟策略的混合整數線性規劃模型。接著，從建 模過程、模型尺寸復雜度、計算復雜度等方面對這些數學模型以及已 有數學模型進行了詳細的對比評估。使用 CPLEX 求解器對 FJSP 調度 實例進行求解，證明了本文所提出 MILP 模型的正確性與有效性。試 驗結果表明基于不同建模思路的&n
華中科技大學
2021-04-14