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研發(fā)階段/n1、在該方向發(fā)表論文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申報(bào)和獲得該方向相關(guān)發(fā)明專利8項(xiàng)。其中1項(xiàng)授權(quán)轉(zhuǎn)讓給Facebook，Sony和中國一家企業(yè)。在華中科技大學(xué)申報(bào)5項(xiàng)發(fā)明專利，依托武漢舒博光電技術(shù)有限公司申報(bào)2項(xiàng)發(fā)明專利。。3、研發(fā)出2代超分辨納米光刻樣機(jī)。。4、配備光學(xué)裝備開發(fā)專門團(tuán)隊(duì)，初步建成光學(xué)精密制造和檢測平臺。

本發(fā)明公開了一種光刻掩模優(yōu)化設(shè)計(jì)方法，該方法首先依據(jù)表征掩模的網(wǎng)格格點(diǎn)尺寸大小對掩模進(jìn)行分級，在粗網(wǎng)格上快速求解掩模，然后對在粗網(wǎng)格上求解得到的掩模進(jìn)行插值傳播到下一級較細(xì)網(wǎng)格上進(jìn)行細(xì)化校正，最終實(shí)現(xiàn)了掩模的快速優(yōu)化。

本發(fā)明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統(tǒng)，包括：用于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進(jìn)口進(jìn)入該浸液管路，溫控處理后的具有穩(wěn)定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出；用于對所述浸液進(jìn)行冷卻的工藝?yán)鋮s液回路，工藝?yán)鋮s液在該回路中循環(huán)流動；以及多個(gè)熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工藝?yán)鋮s水回路同時(shí)流經(jīng)每個(gè)熱交換器，并利用各熱交換器分別依次完成工藝?yán)鋮s液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩(wěn)定溫度的浸液，實(shí)現(xiàn)對浸液的溫度控制。本發(fā)明的裝置系統(tǒng)采用內(nèi)部回流結(jié)構(gòu)與多級熱交換器相結(jié)合，

模具是現(xiàn)代工業(yè)中不可缺少的關(guān)鍵裝備之一，市場潛力巨大。為避免模具過早失效，模具型腔及相對運(yùn)動件表面必須具有高硬度及自潤性，以達(dá)到耐磨、減磨、耐蝕及抗疲勞的作用。因此,表面強(qiáng)化技術(shù)是充分發(fā)揮模具潛力、提高其使用壽命的一條行之有效的途徑，它是國內(nèi)外模具工業(yè)與技術(shù)的主要發(fā)展方向之一。為此,東南大學(xué)研究了鍍液配方中主鹽、還原劑、絡(luò)合劑、穩(wěn)定劑、分散劑等對模具表面鍍層的硬度、耐磨性、結(jié)合力、表面光潔度、耐腐蝕性等的影響規(guī)律，優(yōu)化的納米改性層硬度為HV900以上，納米改性層與模具基體結(jié)合力大于150MPa，處理后表面光潔度不低于處理前；處理前后表面厚度變化小于30mm；納米改性后塑料成型模次提高30%以上。 /line此外，采用先進(jìn)的反應(yīng)磁控濺射離子鍍方法，研究開發(fā)了Ti－Al－C－N系納米復(fù)合硬質(zhì)涂層，系統(tǒng)研究了碳含量，鋁含量，氮流量，沉積溫度和偏壓對涂層微觀結(jié)構(gòu)和性能的影響。研究表明涂層的性能與微觀納米結(jié)構(gòu)密切相關(guān)，通過工藝參數(shù)優(yōu)化后的納米復(fù)合TiAlCN涂層具有HV2400的顯微硬度，同時(shí)具有0.2的低摩擦系數(shù)，并且具有良好的膜基結(jié)合性能和抗氧化性能。

懸賞金額：50萬元 發(fā)榜企業(yè)：惠州市強(qiáng)達(dá)電子工業(yè)有限公司 需求領(lǐng)域：特種功能材料 LED前沿與核心技術(shù) 精細(xì)化工 電子材料、半導(dǎo)體材料高分子、復(fù)合材料 產(chǎn)業(yè)集群：先進(jìn)材料產(chǎn)業(yè)集群 技術(shù)關(guān)鍵詞：光刻樹脂; 光刻膠; 特種硅樹脂; 高性能硅橡膠; 紫外光固化技術(shù)

450mm×250mm×300mm，八大行星模型，大致區(qū)分大小（直徑），有公轉(zhuǎn)軌道，可手動操作。

1.痛點(diǎn)問題 光刻膠作為集成電路制備中不可或缺的一部分，已成為國家的戰(zhàn)略資源之一。半導(dǎo)體光刻膠的核心在于成膜樹脂，受限于研發(fā)難度大、專利壁壘高、資金投入多、準(zhǔn)入門檻高，目前國內(nèi)企業(yè)尚難以突破KrF膠（248nm）或ArF膠（193nm），而EUV膠完全不能自主供給。 2.解決方案 本項(xiàng)技術(shù)采用了國際最前沿的納米氧化物團(tuán)簇材料的工藝路線，可以實(shí)現(xiàn)單2nm小分子的光刻膠成膜樹脂材料，攻克了材料合成和納米材料提純的難題，可滿足目前半導(dǎo)體3nm制程節(jié)點(diǎn)的技術(shù)要求，RLS分辨率、邊緣粗糙度、靈敏度三項(xiàng)關(guān)鍵性能指標(biāo)優(yōu)異，其曝光劑量遠(yuǎn)低于Intel公司提出的20mJ/cm2的成本線。此外，本項(xiàng)技術(shù)具有多種半導(dǎo)體光刻膠兼容性，可以生產(chǎn)248nm和193nm光源的半導(dǎo)體光刻膠成膜樹脂，以及電子束半導(dǎo)體掩膜用光刻膠成膜樹脂，具有廣闊的技術(shù)替代優(yōu)勢和市場應(yīng)用前景。 3.合作需求 本項(xiàng)技術(shù)已設(shè)立衍生企業(yè)，位于江蘇常州的3000m2研發(fā)生產(chǎn)中心正在建設(shè)中。 1）融資需求：本輪天使輪融資6000萬元。 2）資源對接需求：集成電路芯片制造、掩膜板生產(chǎn)企業(yè)，地方政府等。

膨脹型防火涂料的有利之一就是使用較輕的重量和相對較薄的涂層就能獲得特定時(shí)間的隔熱效果。在性能穩(wěn)定可靠的情況下，涂層越薄越有優(yōu)勢。 一、項(xiàng)目分類 重大科學(xué)前沿創(chuàng)新 二、成果簡介 隨著社會經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和科技的進(jìn)步，鋼結(jié)構(gòu)建筑越來越多地涌現(xiàn)。鋼結(jié)構(gòu)具有很多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，如高強(qiáng)、高韌、抗震、輕質(zhì)、價(jià)廉、體積小、不消耗土木、可工廠預(yù)制、建筑工期短等等。然而不耐溫也是鋼結(jié)構(gòu)建筑的致命弱點(diǎn)。這就需要耐火性能高、施工方便、裝飾效果好的鋼結(jié)構(gòu)防火涂料。而膨脹型防火涂料的有利之一就是使用較輕的重量和相對較薄的涂層就能獲得特定時(shí)間的隔熱效果。在性能穩(wěn)定可靠的情況下，涂層越薄越有優(yōu)勢。但在實(shí)際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)超薄型防火涂料的防火性能不是很理想，而薄型防火涂料施工方便，價(jià)格較超薄型的低，既能滿足裝飾性需要，又能達(dá)到建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范要求，是鋼結(jié)構(gòu)防火涂料的發(fā)展方向。 本項(xiàng)目包括水性室外薄涂型鋼結(jié)構(gòu)防火涂料的配方及制備工藝。 技術(shù)特點(diǎn)： 1.與鋼構(gòu)件有優(yōu)良的結(jié)合力； 2.達(dá)到一定溫度時(shí)迅速膨脹形成絕熱保護(hù)層，在預(yù)期的耐火極限內(nèi)可有效保護(hù)鋼結(jié)構(gòu)； 3.在鋼構(gòu)件受熱發(fā)生允許變形時(shí)，絕熱保護(hù)層不破壞，仍能保持原有的隔熱保護(hù)作用； 4.可根據(jù)使用鋼構(gòu)的環(huán)境調(diào)節(jié)配方，改變涂層厚度及飾面效果； 5.生產(chǎn)工藝流程便捷，易實(shí)現(xiàn)異地生產(chǎn)； 6.安全無毒、經(jīng)濟(jì)合理。 產(chǎn)品的主要技術(shù)指標(biāo)： 產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到或超過了國家有關(guān)規(guī)范的要求，滿足國家標(biāo)準(zhǔn)（GB14907-2002）要求。

   簡介：本發(fā)明提供一種鍍鋅板的彩涂預(yù)處理及底漆涂覆相結(jié)合的水性無鉻表面處理液,屬于鍍鋅板的表面處理技術(shù)領(lǐng)域。該處理液成分質(zhì)量百分比為:水性樹脂,20～60%;有機(jī)硅烷,0.5～1.5%;無機(jī)緩蝕劑,0.25～0.8%;封閉劑,0.1～0.3%;穩(wěn)定劑,0.02～0.05%;溶劑為去離子水,余量。使用本發(fā)明所提供的表面處理液能夠在鍍鋅板表面形成一層致密的鈍化膜,其總體性能達(dá)到或超過鉻酸鹽鈍化膜的水平,同時(shí)由于其優(yōu)異的耐蝕性能和附著力,涂覆的漆膜層可作為彩涂板的底漆直接在其上涂布面漆,簡化了鍍鋅板彩涂處理工藝,有利于降低成本;漆膜中具有片層結(jié)構(gòu)的蒙脫土有利于阻隔氧氣和水汽與基板接觸,從而有效提高耐蝕性。