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超衍射極限納米光刻機技術
研發階段/n1、在該方向發表論文10余篇，Nature子刊，Science子刊各一篇。。2、申報和獲得該方向相關發明專利8項。其中1項授權轉讓給Facebook，Sony和中國一家企業。在華中科技大學申報5項發明專利，依托武漢舒博光電技術有限公司申報2項發明專利。。3、研發出2代超分辨納米光刻樣機。。4、配備光學裝備開發專門團隊，初步建成光學精密制造和檢測平臺。
華中科技大學
2021-01-12
一種光刻掩模優化設計方法
本發明公開了一種光刻掩模優化設計方法，該方法首先依據表征掩模的網格格點尺寸大小對掩模進行分級，在粗網格上快速求解掩模，然后對在粗網格上求解得到的掩模進行插值傳播到下一級較細網格上進行細化校正，最終實現了掩模的快速優化。
華中科技大學
2021-04-14
用于浸沒式光刻的浸液溫控裝置
本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，包括：用于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過一管路進口進入該浸液管路，溫控處理后的具有穩定溫度的浸液通過該浸液管路的出口輸出；用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中循環流動；以及多個熱交換器，其沿流向依次布置，所述浸液管路和工藝冷卻水回路同時流經每個熱交換器，并利用各熱交換器分別依次完成工藝冷卻液和浸液之間的熱交換，從而通過多次換熱獲得具有穩定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置系統采用內部回流結構與多級熱交換器相結合，
華中科技大學
2021-04-14
納米硬質涂材料制備和應用
模具是現代工業中不可缺少的關鍵裝備之一，市場潛力巨大。為避免模具過早失效，模具型腔及相對運動件表面必須具有高硬度及自潤性，以達到耐磨、減磨、耐蝕及抗疲勞的作用。因此,表面強化技術是充分發揮模具潛力、提高其使用壽命的一條行之有效的途徑，它是國內外模具工業與技術的主要發展方向之一。為此,東南大學研究了鍍液配方中主鹽、還原劑、絡合劑、穩定劑、分散劑等對模具表面鍍層的硬度、耐磨性、結合力、表面光潔度、耐腐蝕性等的影響規律，優化的納米改性層硬度為HV900以上，納米改性層與模具基體結合力大于150MPa，處理后表面光潔度不低于處理前；處理前后表面厚度變化小于30mm；納米改性后塑料成型模次提高30%以上。 /line此外，采用先進的反應磁控濺射離子鍍方法，研究開發了Ti－Al－C－N系納米復合硬質涂層，系統研究了碳含量，鋁含量，氮流量，沉積溫度和偏壓對涂層微觀結構和性能的影響。研究表明涂層的性能與微觀納米結構密切相關，通過工藝參數優化后的納米復合TiAlCN涂層具有HV2400的顯微硬度，同時具有0.2的低摩擦系數，并且具有良好的膜基結合性能和抗氧化性能。
南京大學
2021-04-10
光刻膠及液體硅橡膠的開發
懸賞金額：50萬元
發榜企業：惠州市強達電子工業有限公司
需求領域：特種功能材料 LED前沿與核心技術 精細化工 電子材料、半導體材料高分子、復合材料
產業集群：先進材料產業集群
技術關鍵詞：光刻樹脂; 光刻膠; 特種硅樹脂; 高性能硅橡膠; 紫外光固化技術
惠州市強達電子工業有限公司
2021-11-02
太陽系模型
450mm×250mm×300mm，八大行星模型，大致區分大小（直徑），有公轉軌道，可手動操作。
寧波華茂文教股份有限公司
2021-08-23
半導體光刻膠成膜樹脂制備技術
1.痛點問題
光刻膠作為集成電路制備中不可或缺的一部分，已成為國家的戰略資源之一。半導體光刻膠的核心在于成膜樹脂，受限于研發難度大、專利壁壘高、資金投入多、準入門檻高，目前國內企業尚難以突破KrF膠（248nm）或ArF膠（193nm），而EUV膠完全不能自主供給。
2.解決方案
本項技術采用了國際最前沿的納米氧化物團簇材料的工藝路線，可以實現單2nm小分子的光刻膠成膜樹脂材料，攻克了材料合成和納米材料提純的難題，可滿足目前半導體3nm制程節點的技術要求，RLS分辨率、邊緣粗糙度、靈敏度三項關鍵性能指標優異，其曝光劑量遠低于Intel公司提出的20mJ/cm2的成本線。此外，本項技術具有多種半導體光刻膠兼容性，可以生產248nm和193nm光源的半導體光刻膠成膜樹脂，以及電子束半導體掩膜用光刻膠成膜樹脂，具有廣闊的技術替代優勢和市場應用前景。
3.合作需求
本項技術已設立衍生企業，位于江蘇常州的3000m2研發生產中心正在建設中。
1）融資需求：本輪天使輪融資6000萬元。
2）資源對接需求：集成電路芯片制造、掩膜板生產企業，地方政府等。
清華大學
2022-07-12
水性薄涂型鋼結構防火涂料
膨脹型防火涂料的有利之一就是使用較輕的重量和相對較薄的涂層就能獲得特定時間的隔熱效果。在性能穩定可靠的情況下，涂層越薄越有優勢。
一、項目分類
重大科學前沿創新
二、成果簡介
隨著社會經濟的發展和科技的進步，鋼結構建筑越來越多地涌現。鋼結構具有很多獨特的優點，如高強、高韌、抗震、輕質、價廉、體積小、不消耗土木、可工廠預制、建筑工期短等等。然而不耐溫也是鋼結構建筑的致命弱點。這就需要耐火性能高、施工方便、裝飾效果好的鋼結構防火涂料。而膨脹型防火涂料的有利之一就是使用較輕的重量和相對較薄的涂層就能獲得特定時間的隔熱效果。在性能穩定可靠的情況下，涂層越薄越有優勢。但在實際應用中發現超薄型防火涂料的防火性能不是很理想，而薄型防火涂料施工方便，價格較超薄型的低，既能滿足裝飾性需要，又能達到建筑設計防火規范要求，是鋼結構防火涂料的發展方向。
本項目包括水性室外薄涂型鋼結構防火涂料的配方及制備工藝。
技術特點：
1.與鋼構件有優良的結合力；
2.達到一定溫度時迅速膨脹形成絕熱保護層，在預期的耐火極限內可有效保護鋼結構；
3.在鋼構件受熱發生允許變形時，絕熱保護層不破壞，仍能保持原有的隔熱保護作用；
4.可根據使用鋼構的環境調節配方，改變涂層厚度及飾面效果；
5.生產工藝流程便捷，易實現異地生產；
6.安全無毒、經濟合理。
產品的主要技術指標：
產品技術指標均達到或超過了國家有關規范的要求，滿足國家標準（GB14907-2002）要求。
廈門大學
2022-07-27
鍍鋅板的彩涂預處理及底漆涂覆相結合的無鉻表面處理液
簡介：本發明提供一種鍍鋅板的彩涂預處理及底漆涂覆相結合的水性無鉻表面處理液,屬于鍍鋅板的表面處理技術領域。該處理液成分質量百分比為:水性樹脂,20～60%;有機硅烷,0.5～1.5%;無機緩蝕劑,0.25～0.8%;封閉劑,0.1～0.3%;穩定劑,0.02～0.05%;溶劑為去離子水,余量。使用本發明所提供的表面處理液能夠在鍍鋅板表面形成一層致密的鈍化膜,其總體性能達到或超過鉻酸鹽鈍化膜的水平,同時由于其優異的耐蝕性能和附著力,涂覆的漆膜層可作為彩涂板的底漆直接在其上涂布面漆,簡化了鍍鋅板彩涂處理工藝,有利于降低成本;漆膜中具有片層結構的蒙脫土有利于阻隔氧氣和水汽與基板接觸,從而有效提高耐蝕性。
安徽工業大學
2021-04-13
溴系阻燃劑
山東兄弟科技股份有限公司
2021-08-31