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本發(fā)明涉及一種批量鋼管混凝土自平衡加載裝置，包括反力架、千斤頂、上蓋板、下蓋板及用于澆 注混凝土的鋼管，所述反力架橫梁上面設(shè)有滑動小車，反力架橫梁下方依次設(shè)有千斤頂、上蓋板、壓力 傳感器、鋼管、下蓋板和位于混凝土地面上的底板；所述上蓋板和下蓋板通過四根雙頭螺紋拉桿將鋼管 夾在中間，通過千斤頂對已經(jīng)澆筑的鋼管進(jìn)行加壓，然后擰緊四根雙頭螺紋拉桿上的螺帽，以便在千斤 頂泄壓后還維持對混凝土鋼管持續(xù)加載，然后千斤頂通過滑到小車移到另外一個位置進(jìn)行下個澆筑的鋼 管加載，由于鋼管加載裝置屬于內(nèi)部自平衡系統(tǒng)，無需外力維持，還可以通過反力架鋼橫梁上的小車滑 動可以實現(xiàn)對混凝土鋼管的批量加載，該裝置結(jié)構(gòu)簡單，制造方便。

高端智能化、高效節(jié)能、低耗能的機械設(shè)備主要為：履帶式的移動破、圓錐破

本研究根據(jù)科技部統(tǒng)一部署，依據(jù)國家山東半島藍(lán)色經(jīng)濟(jì)區(qū)戰(zhàn)略規(guī)劃、黃 河三角洲高效生態(tài)經(jīng)濟(jì)區(qū)發(fā)展規(guī)劃，針對山東省高端裝備制造產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型發(fā)展需 求，重點突破服務(wù)型制造關(guān)鍵技術(shù)和產(chǎn)業(yè)急需的共性關(guān)鍵技術(shù)；積極拓展“兩 化”融合的發(fā)展空間，圍繞制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級，推進(jìn)制造業(yè)信息化從單業(yè)務(wù)應(yīng)用 向多業(yè)務(wù)綜合集成轉(zhuǎn)變，從企業(yè)信息應(yīng)用向業(yè)務(wù)流程優(yōu)化再造轉(zhuǎn)變，從單一企 業(yè)應(yīng)用向產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同應(yīng)用轉(zhuǎn)變。 主要研究內(nèi)容包括研發(fā)覆蓋重點產(chǎn)業(yè)的云制造服務(wù)平臺，服務(wù) 500 家企業(yè)； 面向區(qū)域內(nèi)大型骨干企業(yè)，攻克產(chǎn)品數(shù)字化設(shè)計、集團(tuán)精細(xì)化管控、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié) 同等關(guān)鍵技術(shù)，研發(fā)相應(yīng)的信息化系統(tǒng)平臺，完成 3 家企業(yè)應(yīng)用示范，拉動 30 家企業(yè)深化應(yīng)用；開展智能嵌入式、工業(yè)泛在網(wǎng)、傳感網(wǎng)和智能控制等技術(shù)攻 關(guān)，并在 3 家高端裝備制造企業(yè)中集成應(yīng)用，拉動 20 家企業(yè)深化應(yīng)用；開展自 主知識產(chǎn)權(quán)核心軟件與制造物聯(lián)關(guān)鍵技術(shù)成果的應(yīng)用，新增 10 家以上應(yīng)用企業(yè)； 開展標(biāo)準(zhǔn)、評估、培訓(xùn)等支撐環(huán)境建設(shè)，開展信息化指數(shù)調(diào)查（企業(yè) 100 家以 上），完成人才培訓(xùn) 5 萬人次以上。 本項目獲得國家科技支撐計劃資助，項目執(zhí)行期 2012.1-2015.12。

1 成果簡介基于網(wǎng)絡(luò)及數(shù)字媒體平臺的高端信息服務(wù)關(guān)鍵技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化——通過網(wǎng)絡(luò)及數(shù)字媒體服務(wù)平臺（如數(shù)字電視，有線寬帶，電信 e 家平臺等），設(shè)計后端高端信息服務(wù)體系架構(gòu)，從而最大化的利用多媒體數(shù)字服務(wù)平臺構(gòu)建高端信息服務(wù)網(wǎng)絡(luò)生態(tài)系統(tǒng)平臺并產(chǎn)業(yè)化。 項目有利于改變目前網(wǎng)絡(luò)數(shù)字媒體和計算機軟件的“ 生態(tài)鏈”，渠道提供者與服務(wù)提供者會占據(jù)更為重要的位置， 這也符合我們的實際國情。同時，提升深港和大珠三角地區(qū)網(wǎng)絡(luò)數(shù)字媒體平臺，高端信息服務(wù)，系統(tǒng)集成商及數(shù)字媒體工業(yè)的能力，在數(shù)字媒體網(wǎng)絡(luò)接入平臺的融合潮流中發(fā)展創(chuàng)新性的技術(shù)和把握市場機會，快捷有效地開發(fā)新的先進(jìn)技術(shù)，拓展新商機，將廣東省及產(chǎn)業(yè)示范基地的信息內(nèi)容服務(wù)和增值服務(wù)產(chǎn)業(yè)做大、做強。2 應(yīng)用范圍廣東省和大珠三角地區(qū)的信息產(chǎn)業(yè)，系統(tǒng)集成商，高端信息服務(wù)商，與數(shù)字媒體網(wǎng)絡(luò)行業(yè)相關(guān)的企業(yè)如消費電子產(chǎn)品，通訊產(chǎn)品，數(shù)字電視和計算機產(chǎn)品等的數(shù)字媒體設(shè)計公司，均可受惠。3 效益分析產(chǎn)業(yè)化后預(yù)期產(chǎn)值超過 1 億元人民幣。

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光掩膜版(又稱光罩，掩膜版，英文 Photo-mask )是芯片制作中實現(xiàn)設(shè)計圖形轉(zhuǎn)移的載體，是決定其微細(xì)結(jié)構(gòu)和線寬精度的核心材料和工具。 目前中國半導(dǎo)體掩膜版的國產(chǎn)化率10%左右，90%需要進(jìn)口，高端掩膜版國產(chǎn)化率3%，miniLED和microLED產(chǎn)業(yè)升級也需要更多高端掩膜版。隨著中國市場需求的持續(xù)提升，掩膜版產(chǎn)能嚴(yán)重不足。并且中國半導(dǎo)體掩膜版的產(chǎn)業(yè)起步較晚，技術(shù)滯后，核心技術(shù)和裝備基本讓國外公司壟斷，特別是在設(shè)備、材料領(lǐng)域眾多技術(shù)處于“卡脖子”狀態(tài)，例如掩膜版制造的核心裝備光刻機、檢測機、測量機、修復(fù)機和貼膜機等都依賴進(jìn)口，嚴(yán)重制約中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。華中科技大學(xué)徐智謀教授團(tuán)隊致力于全套高端半導(dǎo)體光掩膜版的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)與量產(chǎn)，為“卡脖子”技術(shù)研究而努力。 具有建立180 nm技術(shù)節(jié)點半導(dǎo)體掩膜版量產(chǎn)線相關(guān)核心技術(shù)；具備130 nm至28 nm半導(dǎo)體掩膜版研發(fā)、設(shè)計及驗證能力。主要研究成果如下： 1） 工藝突破 團(tuán)隊掌握了掩膜版MEMS微納加工量產(chǎn)核心技術(shù)，如電子束光刻、激光光刻和納米壓印光刻等MEMS微納加工工藝的各類技術(shù)參數(shù)的搭配和優(yōu)化，以及大數(shù)據(jù)量軟件快速處理、補償?shù)取? 2） 裝備國產(chǎn)化 A. 超高精度二維測量裝備 尺寸測量是驗證掩膜版技術(shù)指標(biāo)的核心，主要包括關(guān)鍵尺寸測量(CD)和長尺寸測量(TP)。團(tuán)隊已掌握掩膜版的關(guān)鍵測量技術(shù)，達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平，具有整套設(shè)備的整機制造能力。 TP測量是掩膜版制作的核心指標(biāo)，直接影響到客戶的套合精度，該測量設(shè)備一直由國外極少數(shù)廠商壟斷，且價格昂貴，一般在1000萬美元以上，高端限制對中國出口。團(tuán)隊目前正在攻克該項技術(shù)，已取得階段性成果。 B. 缺陷修復(fù)裝備 掩膜版修補技術(shù)是提升良品率的關(guān)鍵手段，該技術(shù)一直為國外壟斷。團(tuán)隊已熟練掌握UV、DUV激光化學(xué)沉積技術(shù)及皮秒飛秒激光金屬處理技術(shù)，具備整機制造能力，可降低設(shè)備采購成本70%以上。 C. Pellicle自動貼膜裝備 隨著產(chǎn)品精度的提升和應(yīng)用領(lǐng)域的高端化，掩膜版貼膜是個不可缺少的重要環(huán)節(jié)。在IC制造領(lǐng)域100%掩膜版需貼Pellicle，在IC封裝領(lǐng)域90%以上需貼膜，在LED領(lǐng)域80%以上需貼膜。該貼膜設(shè)備一直國外公司壟斷，國內(nèi)廠家沒有提供，國外采購全自動貼膜設(shè)備需100萬美元左右。團(tuán)隊具備研發(fā)制造該設(shè)備的能力，貼膜精度±0.1mm,且有設(shè)備正式在產(chǎn)線運營，制造成本可節(jié)約90%以上。 3） 廠房建設(shè)關(guān)鍵技術(shù) 團(tuán)隊對MEMS及其掩膜工廠工藝設(shè)備廠務(wù)設(shè)計有豐富經(jīng)驗，掌握高等級防微震廠房結(jié)構(gòu)和設(shè)備平臺的設(shè)計施工，可達(dá)到VC-D級技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，滿足納米級生產(chǎn)技術(shù)要求。 【技術(shù)優(yōu)勢】 （1）掌握了高性價比掩膜版量產(chǎn)的關(guān)鍵核心技術(shù)，包括部分裝備的國產(chǎn)化，解決“卡脖子”技術(shù)難題，量產(chǎn)線建設(shè)成本節(jié)約30%以上； （2）具備28 nm及以下技術(shù)節(jié)點掩膜版設(shè)計開發(fā)能力和驗證平臺，驗證周期可縮短3倍； （3）擁有一支20多年以上掩膜版量產(chǎn)、研發(fā)和銷售經(jīng)驗的隊伍，成熟的企業(yè)管理經(jīng)驗，保證企業(yè)穩(wěn)步成長，確保投資風(fēng)險可控。 【合作方式】 股權(quán)投資合作共建或政府孵化+中試線。

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技術(shù)人才，電氣、化工、儀表相關(guān)高技能人才