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SEV-400手套箱金屬有機蒸發鍍膜機 真空腔室：采用立式方形結構，前門為水平滑開式，位于手套箱體內部，前開門便于蒸發材料和樣片在保護環境下裝卸，后開門便于真空室的清理維護（后門帶鎖緊裝置在充氣條件下保持腔室密閉與大氣環境隔離），整機位于手套箱體下面，節約占地面積； 真空系統：國產分子泵作為主抽泵，真空極限高達2.0?10-5Pa，另可選進口磁懸浮分子泵或是低溫泵作為主抽泵，真空極限高達3.0?10-6Pa； 真空抽速：大氣～5?10-4Pa≤30min（手套箱環境中）； 基片臺：最大120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一體化高精度刻蝕掩膜板，基片臺公轉，轉速0～20r/min可調，襯底可選擇加熱（室溫～300℃可調可控）或水冷，基片臺可選升降，源基距最大350mm； 蒸發源及電源：4～6組歐美技術金屬或有機束源爐蒸發源可選，多元共蒸獲得復合膜/分蒸獲得多層膜，功能強大，性能穩定；真空專業蒸發電源，恒流/恒功率控制，電流、功率可以預先設置，可實現一鍵啟動和停止的自動控制功能； 膜厚監控儀：采用國產或進口膜厚監控儀在線監測和控制蒸發速率、膜厚； 控制方式：PLC+觸摸屏控制系統，具備漏氣自檢與提示、通訊故障，實現一鍵抽停真空。