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本發明公開了一種四自由度倒裝鍵合頭，包括一個基于滾珠花鍵副的兩自由度串聯機構、一個兩自由度的并聯機構和吸嘴。在串聯機構中，滾珠花鍵軸通過轉動副與滑塊相連，驅動滑塊實現倒裝鍵合頭 Z 方向的移動；其套筒通過另一轉動副固定在機架上，驅動與套筒固連的撥叉實現倒裝鍵合頭 Z 方向的轉動；并聯機構由上、下平臺，以及連接兩者的一條固定支鏈和兩條運動運動支鏈組成，驅動兩條運動支鏈中的移動副實現倒裝鍵合頭 X、Y 方向的微小轉動；并聯機構的上平臺與滾珠花鍵軸固定連接，下平臺安裝拾取/貼放裸芯的吸嘴。本發明實現了倒裝

本發明屬于晶圓鍵合技術，為一種短波長光輔助硅片直接鍵合方法，其步驟包括：①清洗；②氧化性氨溶液活化；③將硅片用短波長光繼續輔助活化，活化后取出；短波長光的波長范圍為 100～400nm，短波長光照射光強為 5～30mW/cm²，活化時間為 0.5～30分鐘；④預鍵合；⑤退火。經過短波長光輔助活化處理后的鍵合硅片對結合緊密，無需外壓力作用就能實現硅硅直接鍵合。本發明所需設備簡單，鍵合速度快，鍵合周期短，鍵合面積大，鍵合溫度低，且在鍵合強度及鍵合可靠性上具有

本發明屬于芯片貼裝設備相關領域，并公開了一種面向芯片的 倒裝鍵合貼裝設備，包括晶元移動單元、頂針單元、大轉盤單元、小 轉盤單元、基板進給單元)、貼裝運動單元，以及作為以上各單元安裝 基礎的支架等，其中晶元移動單元可對晶元盤實現三自由度運動并實 現晶元的供給;大轉盤單元將脫離晶元盤的芯片精度轉移至吸嘴上， 然后由小轉盤單元對芯片逐一拾取;基板進給單元實現貼裝基板的進 給運動，貼裝運動單元則將拾取完芯片的小轉盤運動至基板貼裝位置， 最終實現芯片的貼裝。通過本發明，各個模塊單元之間相互聯系，共 同協作，顯

產品詳細介紹

成都華芯眾合電子科技有限公司位于成都高新技術開發區，是專業從事高等院校教學、科研及軟件研發、生產、銷售服務于一體的高新技術企業。產品適用于物理、材料、電子、光電等理工科專業教學和相關科研領域。

青島永合創信電子科技有限公司是國內專業研發、生產、銷售實驗室儀器設備的公司，擁有自主品牌“CREATRUST”的冷凍干燥機、實驗室器皿清洗機、不銹鋼凍存架、凍存盒等系列產品。公司總部位于青島市城陽區祥陽路106號青島未來科技產業園，公司擁有實驗室儀器領域專業的研發、生產、銷售、售后團隊以及完善的生產設施和質量管理體系。

在汽車熱管理技術方面，從車輛角度，合理有效地對車輛的發動機，變 速器、冷卻系統、空調系統、進氣、排氣系統進行熱流的控制及利用，使各系統 在一個最佳的工作環境下高效地運行，達到節能減排的目的。

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上機管理 （1） 教學上課上機申請：指導老師使用機房的上機申請。對提交的申請可做新增、修改、刪除的編輯，并可即時打印、生成EXCEL表格 （3）機房排課表導入，從學校EXCEL排課表中為指定機房導入排課基本信息，減少錄入排課信息的工作量 （4）教學上課上機安排：正常教學安排上機實習排課表，其設置時間段與“第一周日期設置“有關 （5）教學上機課時查詢：對計劃內教學上機班級的課時情況查詢 （6）教學分配機時：即個人機時分配 （7）教學機時扣除：可以扣除學生的上機時間 （8）教學機時批量分配：指對多班級、多用戶進行批量機時的分配 ?(9)教學機時批量清除，對班級多用戶批量清除機時 ?(10)教學上機機時管理：指根據設定的條件查詢學生現有機時情況，可將查詢到的記錄進行分配、扣除、平衡機時等操作 財務管理：開戶，存款，批量存款，其他收費，存款與機時修改，上機金額修改，轉賬，退款，批量退款，注銷賬戶 設備管理：機房設備登記，設備類型登記，自動獲取機器名登記，機房軟件環境設置，機房設備監控、設備監控生成日志。 四：查詢統計：學生情況查詢，流水賬查詢，上機日報，收入明細日報，上級匯總、用戶機時統計、機器使用率等查詢統計的結果。 五：系統管理：用戶設置，重置賬號密碼、修改密碼、更改上機地點、系統鎖定、系統數據的備份與還原等。 軟件主要特色 （1）強大的教學管理功能，采用教學上機排課模式，而非預約方式，可快速生成排課表。可管理：教學課程、及業余開放情況，可以根據教學發起的教師申請記錄選擇或者時手動添加記錄安排教學上機，課表自動生成； 可定義設置課節數、課節時間段、課節時間長短，以便于靈活的安排機房空余時間； （1） 在校園網上管理員可以通過監控管理端監控功能，查看各臺電腦的使用情況，用戶可以在監控端進行不定時的截圖； 可實現網上預約管理，學生可在校園網訪問了解機房安排情況，提前預約機房上機或上課，可以單獨預約或整體預約； ?(3)智能識別上課和業余上機，自行管理，能夠根據時段、設備情況、地點、身份設定不同的費率；上機監控： (4)查看機房上機情況，正在上機人數、空閑機器以及機房資源利用等； (5)用戶設置：管理和設置用戶權限，權限要求可以自由分配； 收費設置：分機房、分時段、分機器設置機房收費標準。可以在總控端完成所有機房的費率設置；遠程監控：遠程關機，遠程重新啟動，遠程截屏，消息發送，ip管理等； 網段管理: 管理跨校區、跨網段，突破IP網段限制，多機房統一管理； (6)能處理突然斷電等異常情況。效能評估，可對機房以及對機房的每臺電腦進行使用效率分析，對學生的上課考勤情況進行分析；上網管理功能。 (7)指定閱覽或實習的所需運行的軟件，禁止U盤、光驅等杜絕用戶隨意拷貝，記錄每臺客戶機瀏覽過的網址，保存上網記錄，可隨時查詢，記錄每臺客戶機所運行的程序，保存程序運行記錄，(8)可隨時查詢，遠程監控屏幕，可隨時遠程查看讀者當前屏幕并加以保存，進程痕跡監控，在管理機上可以隨時查詢所有機房所有計算機的進程并能選擇結束進程，系統信息痕跡監控，在管理機上可以隨時查詢讀者計算機硬件信息并加以保存；

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