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浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、技術分析 如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。

本發明公開了一種酸性烤藍工藝制備高飽和磁通密度軟磁復合材料的方法。采用酸性烤藍工藝在軟磁合金粉末表面包覆由尺寸均勻的納米Fe3O4形成的包覆層，經粘結、壓制成型、熱處理工藝，制備新型的軟磁復合材料。本發明的優點是：采用酸性烤藍工藝制備Fe3O4方法簡單，并且容易控制Fe3O4層的厚度, 由于該反應是原位反應，因此制備的絕緣層致密，與磁粉的結合度高。與傳統的軟磁復合材料相比，由于絕緣層為亞鐵磁性的Fe3O4，有效減少了磁稀釋現象，從而可以得到具有高飽和磁通密度、高磁導率的軟磁復合材料。

本發明公開了一種堿性烤藍工藝制備高飽和磁通密度軟磁復合材料的方法。采用堿性烤藍工藝使磁粉表面氧化生成一層均勻的Fe3O4的絕緣層，然后經粘結、壓制成型、熱處理工藝，制備新型軟磁復合材料。本發明的優點是：采用堿性烤藍工藝制備的Fe3O4是在軟磁粉末的表面原位生長，因此絕緣包覆層與磁粉之間結合度高，并且包覆均勻致密；由于Fe3O4具有較高的電阻率，因此具有較好的絕緣效果；另一方面，用亞鐵磁性的Fe3O4作為絕緣包覆劑，克服了傳統非磁性物質作為包覆劑的磁稀釋現象，可以獲得更高的磁導率及磁通密度；堿性烤藍工藝操作簡單，成本較低，有利于實現工業化生產。

本發明公開了一種基于磁真空泄漏原理的漏磁檢測方法及其裝置。該方法為①將待檢測導磁構件磁化；②在上述被磁化的導磁構件外圍，剔除已有背景磁場，形成磁真空區域；③采用磁敏元件布置于磁真空區域，拾取無磁壓縮效應的缺陷漏磁場并轉化為電壓信號，如果電壓信號中存在突變，則說明待檢測導磁構件中存在缺陷，否則無缺陷。裝置采用穿過式線圈對被檢測導磁構件實施局部磁化，以便激發出該磁化區域內導磁構件上缺陷的漏磁場；在其內腔布置永磁體對，產生反向磁場與原背景磁場疊加抵消，形成磁真空區域以供缺陷的漏磁場泄漏擴散進來，同時消除由

一、 項目簡介磁致伸縮材料具有磁致伸縮大、能量密度高、響應速度快等特點，在功率換能器、精密控制系統、傳感器等方面得到廣泛應用。針對磁致伸縮材料存在的制備工藝復雜、難于制備復雜形狀及高頻特性差等問題，提出一種方法來制備磁致伸縮材料。應用制備的材料研制了換能器與傳感器等，在企業和大專院校得到應用。二、 項目技術成熟程度已完成實驗工作，進入中試階段，部分產品得到應用。三、 技術指標取向Tb-Dy-Fe合金樣品在40 kA/m磁場下的磁致伸縮為1000×10-6。粘結Sm-Dy-Fe合金樣品在低磁場下具有較高的磁致伸縮數值，當磁場為100 kA/m時,磁致伸縮可達265×10-6。Fe-Ga合金樣品在10 kA/m磁場下的磁致伸縮為260×10-6。獲得實用新型專利，已申報發明專利。四、 市場前景材料在功率換能器、精密控制系統、有源消振及傳感器等方面得到廣泛應用，市場前景廣闊。五、 規模與投資需求根據生產規模確定。六、 生產設備真空熔煉爐、模具、壓機等。七、 效益分析按每年生產4噸計算，可獲利約1500-2000萬，八、 合作方式面談。九、 項目具體聯系人及聯系方式王博文， 翁玲： 電話：022-60204363；E-mail: bwwang@hebut.edu.cn

成果簡介：隨著老齡化和疾病譜的變化，腦健康已經成為國家重大需求。根據科 技部發布的“重大慢性非傳染性疾病防控研究”重點專項的指南，抑郁障礙、神 經退行性疾病等防控研究紛紛被列入十三五計劃。深部經顱磁刺激技術是自動化 學院橫向課題成果，聯合了中科院、首都醫科大學及其附屬醫院、中日友好醫院、 加拿大阿拉伯塔大學等，在基礎研究與臨床研究中均取得了突破性的進展，有望 在睡眠、抑郁癥、阿爾茨海默病、卒中后功能障礙等腦疾病的防治中發揮重要作 用。 成果水平： 國際領先。 應用范圍： 1、失眠的治療：我國睡眠障礙的比例高達 38.2%，尚沒有非常好的解決方案。2、抑郁癥的治療：被認為有望改變精神疾病治療領域的游戲規則。 3、卒中后功能障礙的康復。 4、阿爾茨海默病和帕金森病等神經退行性疾病的防治。 以上四個領域，除失眠的治療以外，其他三項均列入了十三五重點研發計劃指南， 都是尚未很好滿足的重大需求。深部腦磁刺激儀通過全腦神經網絡連接特性和神 經可塑性的改善，有望在這些領域發揮重要作用。 市場分析及前景：我國 38.2%的成年人有睡眠障礙，6000 萬的抑郁癥患者，超過 一千萬的阿爾茨海默病患者，都需要更好的治療。 隨著老齡化加速，如果不去預防，20 年后的阿爾茨海默病患者數量將達到 2600 萬人，2050 年的經濟負擔將達到 5 萬億。 我們采取“按使用付費”的模式，“每天 10 元，呵護全家人的腦健康”作為 我們的營銷策略，將為每一個家庭提供腦健康服務。市場巨大。 我們采取分步走戰略，從睡眠改善開始，逐步獲取治療失眠、治療抑郁癥、 治療卒中后功能障礙、治療阿爾茨海默病為適應癥的醫療器械注冊。 如果投入及時，將取得快速發展，三年實現利潤 1 個億。 主要技術指標：弱強度磁場強度，峰值磁場強度只有 20Gs,十分安全。 高頻單波（1000hz）和組合節律，帶來意想不到的療效。 均勻分布的磁場，有效的磁刺激可作用到大腦深部。 提升腦源性神經營養因子含量，促進海馬體神經細胞新生和發育，在臨床試驗中 發現治療抑郁癥 6 周內的臨床痊愈率高達 50%，治療阿爾茨海默病的效果與主流 抗癡呆藥物相當，聯合使用還能夠增效。 投資規模：首期融資 2000 萬人民幣，可以分期到位。 2018 年，2000 萬美元，用于美國的臨床。 2021 年，完成美國臨床和 FDA 認證。PRE-IPO 融資。 2022-2023，獲得美國 FDA 認證并實現資本市場上市。 合作方式：技術入股

本項目綜合運用理論分析、數值仿真和實驗研究等方法，研制了基于磁致伸縮效應的超聲導波檢測儀。該儀器集成度高，耗電少，可便攜，方便于現場檢測；傳感器可根據檢測結構和檢測需求，該超聲    導波檢測儀可以根據檢測需要，更換不同結構的傳感器，用于不同結構的超聲導波檢測?？蓹z結構包括    管道、板和桿等。該儀器檢測的先進性包括：檢測信號可調；超聲導波模態可選；傳感器可安裝在某點，   對數米或數十米的結構進行檢測；檢測全面、效率高。該磁致伸縮導波檢測儀的軟硬件系統完全自主開發， 獲批多項國家發明專利、實用新型專利和軟件著作權，擁有完全核心知識產權，總體技術達到國際水平，    處于國內領先水平。

小試階段/n短路電流過大已經成為制約現代電力系統發展的技術瓶頸之一。有效限制短路電流不僅可解決電力系統短路容量超標問題，而且還可能大大降低電網中各種電氣設備如變壓器、斷路器等的設計容量標準。本成果基于超導線圈失超與電感解耦，可有效限制故障短路電流，采用超導材料提高線圈耦合度、降低穩態阻抗，且利于設備小型化。該成果適用于交直流電力系統，限流率可達到50%，響應時間在毫秒級，能靈活配合系統的重合閘，具有自穩定與自保護能力

?  成果簡介：為了克服直流電機及斬波控制系統效率低、體積與重量大、電機換向極需要頻繁維護、難于有效實現電動車輛再生制動以及交流電機及控制器低速大轉矩穩定特性較差以及一般永磁直流電機斬波控制系統不能滿足電動車輛大扭矩需求的缺點，發明了一種全新的牽引電機自動控制模式，設計出稀土變磁通電機及驅動系統。將驅動電機的增磁繞組接到永磁電機的續流回路中，使得該電機及其控制器既有稀土永磁電機的高效和高功率密度的優點，又具備直流串激牽引電機低速大扭矩的特性，并具有比串激直流電機更優良的自動弱磁性