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目前半導體光刻加工用的深紫外光刻膠都采用化學增幅體系，這種體系主要由含酸敏基團的成膜材料和光產酸劑組成，這種體系最大的問題是光產酸在后烘階段會發生酸遷移，導致光刻分辨率難以提高。能夠有效改善酸遷移問題的一種方法是采用高分子光產酸劑，且其光產酸是高分子強酸。 課題組研制了一系列新穎的含多種鎓鹽光產酸基團的苯乙烯衍生物及其與甲基丙烯酸酯的共聚物。它們在曝光過程中產生大分子的磺酸，因此可作為大分子光產酸劑與其它成膜材料一起組成化學增幅型光致抗蝕劑。 以之為產酸劑與其它部分保護的對羥基苯乙烯聚合物一起組成二組分的化學增幅型248-nm光刻膠， 制備了苯乙烯磺酸鎓鹽和甲基丙烯酸酯、對羥基苯乙烯的三元共聚物，再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保護部分酚羥基，由其組成了單組分的化學增幅型248-nm光刻膠，這些正型248-nm光刻膠獲得了高感度（20-50mJ/cm2）、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率（＞99%）及圖形線條平滑陡直等的出色表現。   利用高分子產酸劑透明性好的特點，還制備了厚膜248-nm光刻膠，可獲得線寬0.34微米、高-寬比可達5：1的光刻圖形：   在此基礎上，還制備了負型248-nm光刻膠，這些光刻膠也都獲得了很好的光刻成像性能表現。這些高分子光產酸劑也可用于制備新型的高性能193-nm光刻膠。 這些248-nm光刻膠的主要組分除了溶劑外都是自行制備，原料易得，反應條件溫和可控，去金屬雜質的方法也是簡便易行，成本相對低廉，在經過多年的深入研究之后，完全具備了產業化的條件。 半導體加工的關鍵設備、材料主要掌握在美、日手中，對我國電子工業的平穩發展帶來困難和潛在的巨大威脅。其中光刻膠作為芯片光刻加工的關鍵材料，日本公司的產品占據全球市場的70%以上，而我國在中高端產品上（248-nm光刻膠、193-nm光刻膠）完全依賴進口，即便是低端的i-線光刻膠國產化率也只有20%左右。因此，我們必須盡快扭轉這種不利的局面，這需要科研工作者和產業界共同努力以及政府的大力支持。     近年來光刻膠引起了社會的廣泛關注，已有多家企業開始投身于248-nm光刻膠與193-nm光刻膠的研發與產業化，但絕大部分仍處于研發階段。我們研制的光刻膠具備了產業化的技術條件并具有與國外先進光刻膠產品競爭的產品性能。    半導體加工用光刻膠種類較多，本課題組從2002年參與國家十五“863”光刻膠重大專項開始，至今近二十年來聚焦于光刻膠研究，在i-線膠、248-nm光刻膠、聚酰亞胺光刻膠、厚膜光刻膠及抗反射涂層材料等方面都取得了很好的結果，也在致力于這些光刻膠產品的產業化。 相關項目、專利及文章： 1.國家重大科技專項（02專項）子課題,課題編號:2010ZX02303（深紫外光刻膠專用光致產酸劑及新型成膜樹脂的擴試技術研究） 2.國家自然科學基金應急管理項目，51641301, 含光產酸基團的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其組成的化學增幅光致抗蝕劑研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning，European Polymer Journal，114（2019），11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application，Reactive and Functional Polymers，130（2018），118-125 5.含光產酸基團的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制備及其應用，中國發明專利，專利號：9。

本發明公開了一種用于浸沒式光刻的浸液溫控系統，通過其獲得具有穩定溫度的浸液，以用于浸沒式光刻工藝中，其特征在于，該溫控系統包括：用于浸液流動的浸液管路，待溫控的浸液通過管路進口進入該浸液管路，溫控后的浸液通過該浸液管路出口輸出；用于對所述浸液進行冷卻的工藝冷卻液回路，工藝冷卻液在該回路中循環流動；以及熱交換器（6），所述浸液管路和工藝冷卻液回路同時流經該熱交換（6），利用該熱交換器（6）完成工藝冷卻液和浸液的熱交換，獲得具有穩定溫度的浸液，實現對浸液的溫度控制。本發明的裝置采用內部回流結構與熱交換器

本發明公開了一種光刻機自動調焦方法及裝置，其方法是將平行光束經第一狹縫投射至硅片表面，再經振動反射鏡掃描后通過第二狹縫，由光電探測器接收光強信號，然后通過提取光強信號中二倍于掃描頻率的頻域成分得到硅片的粗調量，通過提取光強信號中一倍于掃描頻率的頻域成分得到硅片的精調量，最后由驅動裝置調整硅片至焦點位置。調焦裝置主要由兩個狹縫、一個振動反射鏡、光電傳感器、驅動臺和若干光學鏡片組成，信號處理過程由計算機編程完成。該方法與裝置相較于以往對比光斑強度進行調焦的方式，具有結構簡單、響應迅速、精度高(優于 0.

"在高壓導線上，每臺高壓互感器，都是高壓、高價設備。故高壓線上的測量，直接顯示測量值。也就解決了高壓設備的價高、精度、難買。 "

審計質量是國家審計制度建設的核心問題.首先,任何經濟和社會活動都是數量和質量的統一,"沒有質量也就沒有數量",因而,質量是經濟和社會活動的核心內容之一,自然也是政府審計的核心內容之一.其次,審計是在經濟上受托監督政府的機構,而監督指監督責任者依據一定規則和程序,對被監督者活動的合法性,有效性進行監視和督察的活動,必須遵循"受人之托,忠人之事"原則.

該成果獲2018年度高等學校科學研究優秀成果獎（科學技術）技術發明類二等獎。本項目發明了直驅式波浪發電系統，即用直線電機與波浪能轉換器結合，直接將波浪動能轉化為電能，減少了中間環節，提高了波浪發電系統整體效率。1、圓筒直線電機新結構:項目組首先采用徑向疊片技術，阻斷電磁感應渦流回路，極大程度地降低了圓筒直線電機的損耗，突破了該電機的技術瓶頸。同時發明了該電機的等效迭壓系數表達式，將徑向疊片式圓筒直線電機的復雜結構化為二維問題，簡化了仿真計算方法。圓筒直線電機的新結構解決了該電機世界性的技術難題，為其應用推廣發揮了重大作用。2、直線電機優化理論：建立了直線電機的電磁場-電路-溫度場聯合模型，對直線電機的磁場、電機參數進行仿真及優化計算。突破了傳統的電機基波磁場耦合理論，創造性地提高了電機功率密度數倍，減小電機體積、降低了發電成本。然后發明了齒槽邊端定位力及電機波動的基本規律，有效地降低電機阻力，提高了波浪發電系統的發電量。3、直驅式波浪發電運行控制技術：建立流體動力學和直線發電機電磁耦合的數學模型，搭建了參數可調的波浪發電運行控制綜合系統。

本發明公開一種小型直膨式太陽能熱力水泵，包括熱力蒸汽機，熱力蒸汽機包括殼體，殼體內設有左右放置且相連的配氣活塞和動力活塞，殼體外側敷設有加熱管道和冷卻管道；還包括太陽能集熱板、軸承以及工作水箱，所述太陽能集熱板的熱傳輸管道通過連接管道加熱管道連通；熱力蒸汽機動力活塞通過連桿連接軸承，工作水箱的工作活塞通過連桿連接軸承；工作水箱底部還安裝有排水管道和抽水管道；排水管道與冷卻管道連通，所述的加熱空間和冷卻空間內填充有有機工質異戊烷。本發明通過太陽內加熱有機工質膨脹帶動活塞運動輸出機械能從而抽取地下水的裝

其他成果/n一種直驅轉臺薄壁制動套及制動方法，直驅轉臺薄壁制動套主體為環形筒，所述環形筒的橫截面為橢圓形環，沿環形筒的高度方向，橢圓形環外緣與殼體內壁間均設置外間隙d，橢圓形環內緣與電機轉子外壁間均設置內間隙c；外間隙d大于內間隙c，且外間隙d為液壓油充滿空間；當外間隙d內充滿液壓油產生徑向液壓力時，沿橢圓形環周向方向，環形筒的內壁面上至少一個作用點在液壓力作用下與電機轉子外壁緊貼而產生摩擦力。在保證薄壁制動套強度和耐磨性的前提下，使薄壁制動套更容易產生彈性變形，從而使直驅轉臺的制動更加容易、安全可

其他成果/n一種直驅轉臺薄壁制動套及制動方法，直驅轉臺薄壁制動套主體為環形筒，所述環形筒的橫截面為橢圓形環，沿環形筒的高度方向，橢圓形環外緣與殼體內壁間均設置外間隙d，橢圓形環內緣與電機轉子外壁間均設置內間隙c；外間隙d大于內間隙c，且外間隙d為液壓油充滿空間；當外間隙d內充滿液壓油產生徑向液壓力時，沿橢圓形環周向方向，環形筒的內壁面上至少一個作用點在液壓力作用下與電機轉子外壁緊貼而產生摩擦力。在保證薄壁制動套強度和耐磨性的前提下，使薄壁制動套更容易產生彈性變形，從而使直驅轉臺的制動更加容易、安全可