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本發明提供的一種面向物聯網的砷化鎵基具有熱電轉換功能的MESFET器件，主要包括MESFET和熱電偶。MESFET選擇半絕緣的GaAs作為襯底，通過GaAs工藝和MEMS表面微機械加工實現具有能量轉換功能的MESFET。在源漏柵的金層四周制作一層二氧化硅，化學機械拋光后，制作熱電偶的金屬Au型熱電臂和砷化鎵型熱電臂，蒸金連接兩種熱電偶臂，將源漏柵的熱電偶電極進行金屬連線，留下兩個熱電偶電極作為塞貝克電壓的輸出極。該砷化鎵基具有熱電轉換功能的MESFET器件根據塞貝克效應，可以將器件工作產生的熱能轉換為電能，實現能量收集的同時緩解了散熱問題。通過檢測輸出塞貝克電壓的大小來實現對熱耗散功率大小的檢測。

本發明公開了一種基于有源和無源器件的小型力觸覺再現方法，步驟如下：首先進行磁流變阻尼器和直流電機的標定，獲得輸入電流和輸出力矩的關系；將預期力/力矩數值轉換成磁流變阻尼器的電流輸入，由磁流變阻尼器輸出相應力矩，再經力觸覺傳遞裝置作用于操作人員身體；其次，安裝在力/力矩作用點的傳感器測量實際作用的力/力矩，比較實際輸出與預期力/力矩數值，計算力/力矩誤差；最后，將力/力矩誤差轉換成直流電機的輸入信號，驅動直流電機產生誤差所對應的力矩；本發明可實現小型器件輸出大范圍、高精度力/力矩，使得力觸覺再現設備更加輕便、小巧，提升了力觸覺交互的逼真度；可廣泛應用于虛擬現實、遙操作機器人控制、醫療等領域。

項目簡介 本成果提出基于微結構芯填充技術和非對稱耦合理論的光纖折射率傳感器，可以檢 測水溶液等低折射率樣本的成份、含量、比例等特性，具有靈敏度高、適用液體范圍廣、 檢測極限低的特點。已授權發明專利 1 項（ZL201110356530.6）。 性能指標 （1）靈敏度達到 1×104 nm/RIU。 （2）檢測極限達到 1×10-7 RIU。 適用范圍、市場前景 適用范圍：生物、醫學等領域對微量成分的檢測與分析，基于溫度調諧的超靈敏度 濾波器。 市場前景：光纖

復旦大學專用集成電路與系統國家重點實驗室引進了多名來自英飛 凌公司器件部門的歸國人才，其中上海市千人計劃引進人才 2 人，國 家萬人計劃中青年科技創新領軍人才 1 人。近年來引進人才在集成電 路新型器件研究方向取得了多項處于國際領先水平的器件技術。比如 2013 年發表在美國《科學》雜志上的半浮柵器件，是國內首次發表 在這類高水平雜志上的原創成果。主要技術:1) 新型低壓超級結結構及制造專利技術2)

我國新型顯示產業規模和在建產線均居世界第一，但主要核心裝備依賴進口，制約我國新型顯示產業自主可控發展。新型顯示器件向大尺寸、超高清、柔性化方向發展，其面臨的重大挑戰是如何在大面積柔性基板上實現納米特征-微米結構-米級器件跨尺度高精度制造。光刻/蒸鍍技術受限于模板尺寸和平面工藝，傳統噴印受制于打印分辨率低（>20μm），均無法滿足大尺寸/超高清/柔性化新型顯示高精度/高效率/高可靠制造要求，急需發明新的制造原理、技術與裝備。 針對新型顯示器件高精高效制造國際難題，本項目原創高分辨率電流體噴印新原理，發明了電流體噴印新噴頭、新技術和新裝備，國際首創多款柔性新型顯示器件并占領高端市場。 目前提出的“拉伸式”高分辨率電流體噴印新原理，實現<200nm結構的噴印制造，兼具按需點噴、射流直寫、霧化制膜等不同噴射模式，突破了傳統噴墨打印技術分辨率低、材料適用范圍窄、噴射模式單一的問題。 本成果發明了陣列化獨立可控電流體噴印系列噴頭、高速視覺測量裝置等核心裝置與智能控制算法，開發了國際首臺新型顯示電流體噴印裝備。部分核心專利作價3000萬元實現成果轉化，創新技術支持下開發的系列裝備在顯示龍頭企業測試應用，實現了高分辨率OLED/QLED/PeLED（>300PPI）等新型顯示器件集成制造。

成果簡介：利用高速旋轉的轉子產生的高離心力對在高承載環境下使用的器件進行加載試驗，采用成熟試驗技術方法和檢測手段，實現對微小型機械結構件和電子器件、加速度傳感器在高承載環境下的高載荷試驗和標定。該設備最高加速度實驗值：8萬g，最高加速度標定值：1萬g，實驗對象最大回轉半徑：50mm，加速度實驗精度：3%，標定精度：6%，實驗對象尺寸：實驗件最大尺寸長度≤18mm，實驗件三維尺寸處于直徑D=18，高度H=15的圓柱體范圍里。適合鋼、鋁及銅質等各種材質加工的，在高承載環境下工作的機械結構件、電子元器件

研制開發并形成具有自主知識產權、環保、高效、可靠的廢棄線路板無損拆解技術、粉碎技術、分離技術、再利用技術等相關技術，設計開發具有中國特色的廢棄線路板回收處理及再利用整體工藝及生產線，實現對廢棄線路板的無污染回收處理及再利用。該設備是一種環保、節能、高效的廢棄線路板元器件無損拆解設備，由傳動、加熱、振動、除煙味等單元構成，該設備主機長為3.5m，寬0.8m，高為1.5m，生產能力為300～700塊線路板/小時。在第三屆北京發明創新大賽中，“線路板無損拆解設備”獲得節能環保專項獎和大賽銀獎。拆解效率高，溫度可控，節能效果好，元器件無損拆解率高；設備環保；功率小，便于中小規模生產；加工操作簡單；故障診斷、自我保護和聲光報警功能。主要性能指標如下。1. 功率：4KW 2. 拆解率：98%3. 電壓：220 4. 煙塵、氣味：過濾效率99.9%5. 產量： 100~200 kg/h 6. 主機外形尺寸： 3500×80×1500 7. 整機重量：1.0臺/t 廢棄線路板基板的主要組成是纖維強化熱固性樹脂，由于熱固性塑料本身的特點，除了焚燒回收熱值，還有作為粉末用于涂料、鋪路材料等重新利用，這些再生品質量低下、檔次不高，而且在經濟投資和資源利用方面也是不合理的。本項目根據廢棄線路板基板原材料的不同，進行分別粉碎處理，將粉碎后的PCB粉末作為填料或增強體，以不飽和聚酯、環氧樹脂等熱固性材料作為基體，采用熱壓成型工藝，最終生產出多種復合材料，根據復合材料的不同性能，可以制成多種產品應用在廣泛的領域里，代木、代鋼、代塑、代瓷制品，所以具有明顯的社會效益。該技術解決了固體廢棄物帶來的環境污染問題，又節約了一次資源，降低了制造成本，具有良好的環境、社會、經濟三大效益。主要性能指標如下。抗彎強度/MPa 沖擊強度/ Kg?m-2密度/ g?cm-3使用溫度/℃ 成本價格/元/噸 廢棄PCB粉體/短切玻璃纖維/不飽和聚酯150 17.92 1.59 50 4000 廢棄線路板粉體/環氧樹脂/偶聯劑134.1 11.67 1.54 139.1 7000 申請專利：1. 吳國清，張宗科. 一種應用于廢棄線路板無損拆解的處理設備及方法，專利號：200810224887.7 2. 吳國清，張宗科. 一種線路板夾具體，200810224853.8 3. 吳國清，張宗科，趙玉振. 廢棄線路板的回收及再利用方法. 200910091996.0 4. 吳國清，趙玉振. 廢棄電子元器件的回收及再利用方法. 200910091995.6 

以輕質高分子聚合物聚酰亞胺（簡稱 PI）為柔性襯底的 CIGS 電池不但保持著玻璃襯底太陽電池的一些優良性能，同時還具備不怕摔碰、可卷曲折疊、在制作中可按要求剪裁等特點，具有更廣闊的應用前景。PI 薄膜不吸水、絕緣性能好、重量輕（70g/m2）、厚度薄（僅為 0.05mm）、表面光滑及可彎曲等特點，是高功率重量比太陽電池的首選襯底材料，其功率重量比可高達 2000W/Kg（未封裝），并且由于 PI 襯底 CIGS 電池可實現大面積卷－卷（Roll-to-Roll）連續化生產，為進一步降低光伏電池成本開辟了有效途徑。通過研究低溫生長CIGS 薄膜中 Na 摻雜對材料生長及器件復合機制的影響，改善了器件光電性能。柔性聚酰亞胺（PI）CIGS 太陽電池大面積單體電池 2cm×2cm 與 4cm 4cm×4cm 柔性大面積 PI 襯底 CIGS 太陽電池效率分別達 8%與 7%（由中科院太陽光伏發電系統和風力發電系統質量檢測中心鑒定）。

本發明公開了一種可提高延展性的柔性電子流體封裝方法，包 括：制得下層和上層封裝結構，這兩個封裝結構保持對稱并在其中央 部位各自具有凹陷延展的區域；制作延性互連結構，該延性互聯結構 的整體呈波形分布的曲線結構；將上下層封裝結構對應貼合，同時將 延性互連結構封裝在中空微腔體中；最后，將絕緣性流體注射至微腔 體內，使其完全填充微腔體并包裹所述延性互連結構，由此完成整體 的流體封裝操作。通過本發明，能夠顯著提高互連結構的拉伸延展性 能，避免面外翹曲現象，并在便于質量操控的同時有效提高互連結構 的穩定性。 

本發明屬于柔性電子生產相關設備領域，并公開了一種用于柔 性膜轉移的多自由度機械手，包括拾取單元、α轉動模塊、γ轉動模 塊、XYZ 三軸平移模塊、氣路分配單元和視覺定位單元，其中拾取單 元具備繞 Y 軸轉動的β轉動自由度，并可在軸向和周向上對吸附區域 進行調整；α、γ轉動模塊和 XYZ 三軸平移模塊則分別用于實現機械 手繞 X 軸和 Z 軸轉動的α和γ轉動自由度以及 XYZ 三個方向的平動 自由度；氣路分配單元執行拾取單元內部各個真空氣路的開關控制和 真空度檢測；視覺定位單元用于實現柔性膜在 XY 平