波導(dǎo)微納加工系統(tǒng)以及加工方法
本發(fā)明提供一種加工成本低、精度高、一致性好的波導(dǎo)微納加工系統(tǒng)以及加工方法。本發(fā)明所涉及的波導(dǎo)微納加工系統(tǒng),其特征在于,包括:光源部,提供激光束;加工部,將激光束聚焦至基底上進(jìn)行光刻加工,并對加工過程進(jìn)行實時監(jiān)測,具有:可變焦透鏡、三維形貌儀、相機(jī)、以及測溫儀;多自由度工作臺,根據(jù)預(yù)設(shè)的波導(dǎo)圖案帶動基底在多個自由度方向上進(jìn)行移動;光學(xué)平臺,用于安放多自由度工作臺,并隔絕外界振動;吹氣部,設(shè)置在多自由度工作臺的一側(cè),對著加工區(qū)域進(jìn)行吹氣;吸氣部,設(shè)置在多自由度工作臺的另一側(cè),對吹氣部吹送來的氣體進(jìn)行吸除;控制部,連接并控制光源部、加工部、多自由度工作臺、光學(xué)平臺、吹氣部、以及吸氣部的運(yùn)行。
湖北工業(yè)大學(xué)
2021-01-12