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高穩(wěn)定金屬膜電阻器用磁控濺射中高阻靶材及制備技術(shù)
成果與項目的背景及主要用途： Cr-Si 中高阻膜電阻器具有精度高、噪聲低、溫度系數(shù)小、耐熱性和穩(wěn)定性 好等優(yōu)點(diǎn)，在精密電子設(shè)備和混合集成電路中大量采用。對于濺射制備電阻膜來 說，靶材是至關(guān)重要的，它制約著金屬膜電阻器的電阻率、精度、可靠性、電阻 溫度系數(shù)（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。電阻溫度系數(shù) (TCR)是金屬膜電阻器的一個重要性能技術(shù)指標(biāo)之一，較大的 TCR 在溫度變化時 會造成電阻值漂移，從而影響電阻器的精度和穩(wěn)定性。目前國內(nèi)外生產(chǎn)的金屬膜 電阻器用高阻靶材，其性能不能滿足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。 技術(shù)原理與工藝流程簡介： 靶材煉制工藝如下圖所示所制備的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在濺射成電阻器薄膜后, 電阻溫度 系數(shù)小(≤25 ×10-6 / ℃), 電阻值高(要求不刻槽數(shù)量級為千歐, 刻槽后數(shù)量級為 兆歐)且穩(wěn)定(隨時間變化小), 因此, 在本靶材研究中, 將選擇 Cr 、Si 作為高阻 靶材的主體材料。由于 C r 、Si 熔點(diǎn)高, 原子移動性低, 因此由其所組成的薄膜 穩(wěn)定性高。通過在金屬 C r 中引入半導(dǎo)體材料 Si 來提高電阻器合金膜的阻值。 C r 是很好的吸收氣體的金屬元素, 在電阻器薄膜濺射過程中, 可通過通入微量 的氧來提高薄膜的電阻率, 同時調(diào)節(jié)電阻溫度系數(shù)。 技術(shù)指標(biāo)如下： 溫度沖擊實驗后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 過載實驗后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 壽命實驗后 ΔR/R ≤±1 .0 %,電阻溫度系數(shù) TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 應(yīng)用領(lǐng)域： 集成電路、電子元器件 合作方式及條件：具體面議 2 半導(dǎo)體微環(huán)激光器 3 基光電集成電路 4 無線網(wǎng)絡(luò)與應(yīng)用：協(xié)作無線網(wǎng)絡(luò) 5 移動通信—LTE 技術(shù)
天津大學(xué)
2021-04-11
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超晶格結(jié)構(gòu)的納米晶Cr2N/非晶WC超硬膜及其制備方法
簡介：本發(fā)明提供一種超晶格結(jié)構(gòu)的納米晶Cr2N/非晶WC超硬膜及其制備方法,屬于材料表面技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明該超硬膜是由電弧離子鍍的納米晶體相Cr2N和磁控濺射鍍的非晶體相WC層交替沉積而成,并且,超晶格的調(diào)制周期為10～20nm,Cr2N單層和WC單層的厚度分別為8～14nm和2～6nm。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:Cr2N層與WC層交替分布實現(xiàn)了Cr-N基膜成分多元化和結(jié)構(gòu)多層化,解決了抗氧化性較強(qiáng)的Cr-N基膜獲得超高硬度的難題,同時非晶WC層進(jìn)一步提高了Cr-N基膜的抗氧化和耐腐蝕性能,滿足不能熱處理的
安徽工業(yè)大學(xué)
2021-04-14
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復(fù)極式離子膜電解槽極網(wǎng)自動化激光焊接成套技術(shù)裝備
北京工業(yè)大學(xué)
2021-04-14
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低能耗低污染膜/生物反應(yīng)器（MBR） 污水處理技術(shù)與設(shè)備
技術(shù)特點(diǎn)及優(yōu)勢 1、對現(xiàn)有的用于污水處理的膜進(jìn)行改性，提高膜通量，減小跨膜壓力。膜通量較現(xiàn)有膜提高2倍以上，跨膜壓力只有1米左右水柱。 2、突破了以往MBR膜都是與泥水直接接觸的固有形式，對MBR結(jié)構(gòu)進(jìn)行了改進(jìn)，減少膜與污泥、胞外聚合物（EPS）等膜污染關(guān)鍵物質(zhì)的接觸，可以極大緩解膜污染問題； 3 、采用的廉價耐污染膜材料，延長膜的使用壽命，降低運(yùn)行成本； 4 、控制反應(yīng)器微生物處于內(nèi)源呼吸期，反應(yīng)器中能有效建立細(xì)菌—原生動物—后生動物微生態(tài)系
哈爾濱工業(yè)大學(xué)
2021-04-14
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一種燃料電池膜電極熱壓頭上表面貼片的糾偏補(bǔ)償方法
本發(fā)明公開了一種燃料電池膜電極熱壓頭上表面貼片的糾偏補(bǔ)償方法。傳統(tǒng)的機(jī)器視覺采圖后擺動氣缸翻轉(zhuǎn)，然后貼片，不能保證GDL 的貼裝精度，另外，由于 GDL 料盒比 GDL 本身尺寸稍大，不能保證每次真空拾取機(jī)構(gòu)吸取 GDL 的中心軸線都與旋轉(zhuǎn)軸的中心軸線重合，因此翻轉(zhuǎn)后也會有誤差。本發(fā)明主要解決這兩個誤差的計算和補(bǔ)償方法，實現(xiàn)熱壓頭上表面的準(zhǔn)確貼片。本發(fā)明基于現(xiàn)有的 GDL 熱壓裝備實現(xiàn)，首先對相機(jī)進(jìn)行標(biāo)定，標(biāo)定兩個相機(jī)各自的像素坐標(biāo)系和世界坐標(biāo)系的關(guān)系，分別根據(jù)是由安裝誤差引起的貼片糾偏或者是由軸線
華中科技大學(xué)
2021-04-14
一種納米氫氧化鈷-石墨烯復(fù)合膜、其制備方法及應(yīng)用
本發(fā)明公開了一種納米氫氧化鈷-石墨烯復(fù)合膜、其制備方法及 應(yīng)用。所述復(fù)合膜，包括納米石墨烯底層和納米氫氧化鈷表層，所述 納米石墨烯底層厚度在 4000nm 至 6000nm 之間，所述納米氫氧化鈷表 層厚度在 50nm 至 100nm 之間，所述納米氫氧化鈷表層均勻沉積在所 述納米石墨烯底層上。其制備方法，包括以下步驟：將氧化石墨烯均 勻分散于水中，涂敷在片狀導(dǎo)電基底上，干燥得到納米氧化石墨烯膜； 組建三電極體系采用
華中科技大學(xué)
2021-04-14
適用于對移動中的柔性膜執(zhí)行標(biāo)識的多自由度打標(biāo)裝置
本發(fā)明屬于柔性膜質(zhì)量檢測設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域，并公開了一種適用 于對移動中的柔性膜執(zhí)行標(biāo)識的多自由度打標(biāo)裝置，包括支撐組件、 傳動組件、動力組件、打標(biāo)針組件和記號筆組件，其中支撐組件可實 現(xiàn)打標(biāo)裝置的機(jī)械連接，同時還具有導(dǎo)向和位置調(diào)節(jié)的功能；動力組 件為打標(biāo)裝置提供可控的動力，傳動組件可適于在運(yùn)動中多自由度地 驅(qū)動打標(biāo)針組件和記號筆組件，并提供高精度的打標(biāo)操作；打標(biāo)針組 件和記號筆組件分別可在柔性膜上打出針孔和顏色標(biāo)記，并檢測標(biāo)記 是否成功完成。通過本發(fā)明，在高速運(yùn)動過程中也能夠高精度、穩(wěn)定 可靠地執(zhí)行打標(biāo)操作，而且反應(yīng)靈敏度高，因而尤其適用于 RFID 標(biāo) 簽之類對表面標(biāo)識質(zhì)量高的運(yùn)用場合。
華中科技大學(xué)
2021-04-11
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具有抑菌活性的香芹酚固體脂質(zhì)納米粒分散液及其制備方法和應(yīng)用
其他成果/n一種具有抑菌活性的香芹酚固體脂質(zhì)納米粒分散液及其制備方法和應(yīng)用，以香芹酚固體脂質(zhì)納米粒分散液的總重量計，該香芹酚固體脂質(zhì)納米粒包括：香芹酚0.05?0.5wt％、單硬脂酸甘油酯0.5?1wt％、1,2?丙二醇酯0.5?1wt％、吐溫?80 1?2wt％、乙醇5?6wt％、余量為水。本發(fā)明的香芹酚固體脂質(zhì)納米粒分散液的有效成分來源于植物提取物，綠色環(huán)保，對人體無害，固體脂質(zhì)納米粒有效改善了香芹酚的水分散性，增加了香芹酚在水中的溶解性，提高了香芹酚的穩(wěn)定性。
武漢輕工大學(xué)
2021-04-11
一種用于油氣田中的可降解水基清潔壓裂液稠化劑
本發(fā)明公開了一種用于油氣田中的可降解水基清潔壓裂液稠化劑。本發(fā)明將具有酯基和磺基的甜菜堿型兩性表面活性劑稠化劑式(I)用于可降解水基清潔壓裂液中，得到的可降解水基清潔壓裂液可自動破膠，且在剪切一小時后壓裂液的粘度仍保持在50mPa·s以上。所述的可降解水基清潔壓裂液的主要化學(xué)成分為具有酯基和磺基的甜菜堿型兩性表面活性劑稠化劑和交聯(lián)劑，稠化劑的質(zhì)量百分比為1.5％?4.0％；交聯(lián)劑的質(zhì)量百分比為0.5％?1.0％。本發(fā)明的可降解水基清潔壓裂液的生物降解性好，對環(huán)境影響小、耐溫耐剪切性能好、破膠完全無殘渣、配制簡單。
華中科技大學(xué)
2021-04-10
一種延長雞蛋清液保質(zhì)期同時改善其功能性的方法
其他成果/n蛋制品加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種延長雞蛋清液保質(zhì)期同時改善其功能性的方法及雞蛋清。該方法包括以下步驟：1）取蛋清液，并對蛋清液脫糖；2）向蛋清液中同時添加ε?聚賴氨酸和甘氨酸；3）將蛋清液巴氏殺菌；4）將蛋清液充氮包裝。通過本發(fā)明所提供的延長雞蛋清液保質(zhì)期同時改善其功能性的方法，可以在延長蛋清液的保質(zhì)期的同時，改善蛋清液的功能性，并且，不影響產(chǎn)品的色澤或風(fēng)味。
武漢輕工大學(xué)
2021-04-11