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本發(fā)明公開了一種基于給定閾值的數(shù)控成品電路板性能退化測(cè)評(píng)方法，包括：(a)選取測(cè)評(píng)樣板執(zhí)行加速性能退化試驗(yàn)，并測(cè)量表面絕緣電阻值；(b)執(zhí)行試驗(yàn)數(shù)據(jù)擬合，建立測(cè)試樣板的加速性能退化模型；(c)基于失效閾值并結(jié)合加速性能退化模型，計(jì)算得出測(cè)評(píng)樣板的偽失效壽命；(d)選取測(cè)評(píng)樣板的壽命分布模型，并利用偽失效壽命擬合檢驗(yàn)來計(jì)算壽命分布模型的參數(shù)；(e)確定測(cè)試樣板的壽命分布概率密度函數(shù)，計(jì)算其平均壽命，由此完成對(duì)電路板的性能退化測(cè)評(píng)過程。通過本發(fā)明，能夠克服現(xiàn)有可靠性測(cè)評(píng)技術(shù)中失效數(shù)據(jù)的不足，同時(shí)節(jié)約可靠

一種微加速度振動(dòng)裝置，包括外殼和安裝于外殼內(nèi)的激振組件，激振組件由磁鋼、磁軛、動(dòng)圈、動(dòng)軸和復(fù)位彈簧組件組成，磁鋼和磁軛固定，動(dòng)圈和動(dòng)軸固定，動(dòng)圈由動(dòng)圈骨架和纏繞于動(dòng)圈骨架上的線圈組成，磁鋼、磁軛、動(dòng)圈和動(dòng)軸同軸，磁鋼、磁軛、動(dòng)圈和動(dòng)軸依次從下向上布置；復(fù)位彈簧組件設(shè)置于動(dòng)軸與外殼之間，復(fù)位彈簧組件具有提供使動(dòng)軸向下的預(yù)緊力的第一復(fù)位彈簧和提供使動(dòng)軸向上的預(yù)緊力的第二復(fù)位彈簧；外殼的頂部設(shè)有允許動(dòng)軸頂面外露的通孔，動(dòng)軸的外露面作為工作臺(tái)面；外殼通過吊裝彈簧懸掛于吊裝支架上。本實(shí)用新型具有能有效隔離外界振動(dòng)，使激振組件不受外界干擾振動(dòng)的影響，同時(shí)能夠提供微加速度震源的優(yōu)點(diǎn)。

1. 痛點(diǎn)問題 惡性腫瘤是威脅人類健康的主要疾病，已成為我國(guó)城鄉(xiāng)居民死亡的第一原因。根據(jù)世界衛(wèi)生組織（WHO）統(tǒng)計(jì)，腫瘤治療采用手術(shù)、放療、化療三大手段進(jìn)行綜合治療，對(duì)惡性腫瘤的治愈率（5年生存率）可達(dá)到45%，其中的40%（絕對(duì)值的18%）由放射治療貢獻(xiàn)。在最新統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)中， 發(fā)達(dá)國(guó)家的治愈率已上升至55%，其中放射治療貢獻(xiàn)40%，對(duì)應(yīng)絕對(duì)值的22%。隨著技術(shù)不斷發(fā)展，放射治療將在未來扮演更重要的作用。 我國(guó)放射治療裝備國(guó)產(chǎn)化率低，相關(guān)研究落后。早在1976年我國(guó)成功研制首臺(tái)國(guó)產(chǎn)醫(yī)用直線電子加速器，達(dá)到世界先進(jìn)水平。但未能結(jié)合數(shù)字化和圖像診療等技術(shù)，我國(guó)廠商與國(guó)外先進(jìn)水平迅速拉開差距，國(guó)產(chǎn)設(shè)備市占率從2000年初的50%迅速下降至不足10%。目前這種放療設(shè)備嚴(yán)重依賴進(jìn)口的情況，造成一定的經(jīng)濟(jì)負(fù)擔(dān)，也不利于國(guó)內(nèi)放射治療物理師和相關(guān)工程技術(shù)人員的培養(yǎng)，客觀上限制了放射治療技術(shù)在我國(guó)的推廣與應(yīng)用。因此從我國(guó)公共衛(wèi)生事業(yè)的發(fā)展與戰(zhàn)略角度，亟需解決放療設(shè)備國(guó)產(chǎn)化問題。 醫(yī)用直線加速器利用高能X射線或電子線對(duì)腫瘤進(jìn)行照射。束流模塊是醫(yī)用直線加速器中產(chǎn)生高能X射線或電子線的部分，是其中的關(guān)鍵核心部件，類似于汽車的發(fā)動(dòng)機(jī)。衡量醫(yī)用加速器性能的重要指標(biāo)“劑量率”主要由束流模塊決定，目前國(guó)際主流加速器的劑量率在1200MU/min左右。 束流模塊是目前制約國(guó)產(chǎn)醫(yī)用直線加速器性能提升的“卡脖子”技術(shù)，劑量率、穩(wěn)定性和可靠性是其關(guān)鍵，也是國(guó)產(chǎn)設(shè)備和進(jìn)口產(chǎn)品存在水平差距的主要因素。突破高性能束流模塊的關(guān)鍵技術(shù)，對(duì)于振興國(guó)產(chǎn)醫(yī)用加速器產(chǎn)業(yè)發(fā)展、實(shí)現(xiàn)高端醫(yī)療器械“自主可控”的國(guó)家戰(zhàn)略具有重要意義。 2. 解決方案 本項(xiàng)目通過對(duì)緊湊的優(yōu)化屏蔽系統(tǒng)、高精度的機(jī)械對(duì)中系統(tǒng)、集成冷卻和高精度溫控系統(tǒng)、功率源及加速管匹配等核心技術(shù)的攻關(guān)，S波段高性能束流模塊實(shí)現(xiàn)劑量率1400MU/min，為國(guó)際同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平。可靠性方面，已開展可靠性測(cè)試，無故障時(shí)間大于1800小時(shí)，高壓無故障時(shí)間大于200小時(shí)，該指標(biāo)可實(shí)現(xiàn)束流模塊在醫(yī)院較高負(fù)荷使用環(huán)境下一年內(nèi)無故障。 合作需求 尋求醫(yī)用加速器相關(guān)企業(yè)開展業(yè)務(wù)合作。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹特點(diǎn)：傳感器：微機(jī)械電容、充氮阻尼、密封封裝低噪音：5μg/√HZ （2g 滿量程為例）內(nèi)置溫度傳感器（用于輸出溫度補(bǔ)償）全量程線性標(biāo)定DC/AC 加速度響應(yīng)可提供非標(biāo)量程定制服務(wù)傳感器已內(nèi)置放大信號(hào)處理符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用：地震監(jiān)測(cè) 消費(fèi)電子 機(jī)器人安全系統(tǒng) 沖撞測(cè)試 機(jī)械控制振動(dòng)檢測(cè) 模態(tài)分析 振動(dòng)分析儀器儀表 車輛動(dòng)態(tài)性能測(cè)試參數(shù)：傳感器性能：（數(shù)據(jù)為5V供電，溫度輸出 25℃ 得出）性能 -002 -005 -010 -025 -050 -100 -200 -400 單位輸入量程 ±2 ±5 ±10 ±25 ±50 ±100 ±200 ±400 g頻率響應(yīng)（3dB） 0-400 0-600 0-1000 0-1500 0-2000 0-2500 0-3500 0-4000 Hz靈敏度（差分輸出） 2000 800 400 160 80 40 20 10 mV/g輸出噪聲（差分模式，典型值） 5 7 10 25 50 100 200 400 μg/root HZ可承受最大沖擊（0.1ms） 2000 5000 g傳感器性能：（除注明外，數(shù)據(jù)為5V供電，溫度輸出 25℃ ，差分模式得出）性能參數(shù) 最小值 典型值 最大值 單位橫軸靈敏度 2 3 %偏置標(biāo)定誤差 -002 2 4 滿量程的% -005~-200 1 2 偏置溫漂TC=-55~125℃ -002 100 300 PPM%滿量程/℃ -005~-200 50 200 標(biāo)定誤差比例因子 1 2 %溫漂比例因子TC=-55~125℃ -250 250 Ppm/ ℃非線性（±90%滿量程） -002~-050 0.15 0.5 滿量程的% -100 0.25 1.0 -200 0.4 1.5 -400 0.7 2.0 電源抑制比 25 DB輸出阻抗 90 歐姆供電電壓 4.75 5.0 5.25 V功耗 8 10 mA質(zhì)量（L型） 0.62 克

產(chǎn)品詳細(xì)介紹簡(jiǎn)介：測(cè)量范圍：±2g ~ ±100g 非線性：<0.8%FS頻響：0~ >11.5KHz 供電電源：5V輸出信號(hào)：±4V差分信號(hào)輸出/0.5~4.5V單端信號(hào)輸出工作溫度：-55~125℃    Colibrys 的MS8000加速度傳感器是廣泛的應(yīng)用于慣性和傾斜/傾角領(lǐng)域的傳感器. 強(qiáng)大而低功耗的設(shè)計(jì)加上出色的零位穩(wěn)定性保證了MS8000 MEMS加速度傳感器的很高的可靠性。Colibrys MS8000系列是一個(gè)電容式MEMS加速度計(jì)，它是由一個(gè)立體微加工工藝制成的硅元件，一個(gè)低功耗ASIC 專用信號(hào)處理器和一個(gè)存儲(chǔ)補(bǔ)償值的微控制器等元件組成。    該產(chǎn)品是一個(gè)低功耗的，校準(zhǔn)的，功能強(qiáng)大和性能穩(wěn)定的產(chǎn)品。其電子配置中帶有一個(gè)電源重置以防止電壓不穩(wěn)的全保護(hù)裝置。該產(chǎn)品的零位長(zhǎng)期穩(wěn)定度和比例因子通常都小于全測(cè)量范圍的0.1 ％。對(duì)于±2g的MS8002.D型, 在寬帶>800Hz(at -3dB)時(shí)，典型的零位溫度系數(shù)為100μg /oC,比例因子溫度系數(shù)為100ppm/oC。 特征 優(yōu)秀的零位穩(wěn)定性 ±2g，±10g，±30g， ±100g 全部測(cè)量范圍 惡劣環(huán)境（沖擊，振動(dòng)，溫度） 低成本高指標(biāo) 低功率模擬電壓輸出 防止掉電 LCC 48 集成溫度傳感器 應(yīng)用 慣性傳感 用于航天航空IMU / AHRS 航空電子設(shè)備 無人機(jī) 陸地導(dǎo)航 定向鉆井（油和氣） 傾角感應(yīng) 火車應(yīng)用 交通運(yùn)輸 穩(wěn)定裝置 參數(shù) 所有數(shù)值特指在溫度20 °C (+86°F)和5伏工作電壓條件下，除非另外說明  單位  MS8002.D  MS8010.D  MS8030.D  MS8100.D 全部測(cè)量范圍  g  ± 2g  ± 10g  ± 30g  ± 100g 封裝  LCC 48  LCC 48  LCC 48  LCC 48 零位校準(zhǔn)  mg  < 10  < 50  < 150  < 500 大于48小時(shí)的零位穩(wěn)定性[1]  mg typ.  < 0.05  < 0.25  < 0.75  < 2.5 1年時(shí)間的零位穩(wěn)定性[2]  mg typ. (max.)  1.5 (< 5)  7.5 (< 25)  22 (< 75)  75 (< 250) 開/關(guān)重復(fù)性  mg max.  < 0.15  < 0.75  < 1.5  < 7.5 零位溫度系數(shù)[3]  mg/°C typ.  0.1  0.5  1.5  5  mg/°C max.  ± 0.4  ± 2  ± 6  ± 20 比例因子(輸出靈敏度)(K1)  mV/g  1000 ± 8  200 ± 2  66.6 ± 1  20 ± 1 一年期比例因子[2]  ppm typ. (max.)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000) 比例因子溫度系數(shù)[3]  ppm / °C typ.  100  100  100  100  min. / max.  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250 輸入軸偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  < 10  < 10  % max  1  1  1  1 分辨率/ 閾值(@ 1Hz)  mg max.  < 0.1  < 0.6  < 1.7  < 5.5 非線性度  % of FS max.  < 0.8  < 0.9  < 0.9  < 1  g max.  < 0.02  < 0.09  < 0.27  < 1 帶寬[4]  Hz  0 to ≥ 200  0 to ≥ 200  0 to ≥ 100  0 to ≥ 200 噪聲譜密度 [0 ; 9kHz)  ?V/?Hz typ.  11  11  11  11  max.  < 18  < 18  < 18  < 18 諧振頻率  kHz  1.4  3.7  6.3  11.5 [1]: 按IEEE 1293-1998 12.3.8標(biāo)準(zhǔn)：20°C條件下連續(xù)48h測(cè)量，測(cè)量前產(chǎn)品一小時(shí)穩(wěn)定準(zhǔn)備。[2]: 一年期穩(wěn)定性是按 IEEE 528-2001標(biāo)準(zhǔn): 打開/打開, 放置在-55°C 和 85°C環(huán)境中,在 -40°C 到125°C 之間循環(huán),在-55°C 和 85°C環(huán)境中，不帶電經(jīng)受擾動(dòng)，震動(dòng)和沖擊。[3]: 溫度系數(shù)是定義在 –40°C 到 20°C溫度范圍, 其中溫度變化是線性的.[4]: 帶寬的定義是在某一頻段其靈敏度降低到 3dB以下.

產(chǎn)品詳細(xì)介紹簡(jiǎn)介：測(cè)量范圍：±2g ~ ±10g 非線性：<0.8%FS頻響：0~ > 800Hz 供電電源：3V輸出信號(hào)：±2V差分信號(hào)輸出/0.5~2.5V單端信號(hào)輸出工作溫度：-40~125℃    Colibrys 的 MS7000 加速度傳感器是廣泛的應(yīng)用于振動(dòng)、慣性和傾斜/傾角領(lǐng)域的傳感器. 強(qiáng)大而低功耗的設(shè)計(jì)加上出色的零位穩(wěn)定性與相對(duì)高的帶寬的結(jié)合保證了M7000 MEMS 加速度傳感器很高的穩(wěn)定性。MS7000 系列是一個(gè)電容式 MEMS 加速度計(jì)，它是由一個(gè)立體微加工工藝制成的硅元件，一個(gè)低功耗 ASIC 專用信號(hào)處理器和一個(gè)存儲(chǔ)補(bǔ)償值的微控制器等元件組成。該產(chǎn)品是一個(gè)低功耗的，校準(zhǔn)的，功能強(qiáng)大和性能穩(wěn)定的產(chǎn)品。該產(chǎn)品的零位長(zhǎng)期穩(wěn)定度和比例因子通常都小于全測(cè)量范圍的0.1％。對(duì)于±2g 的 MS7002.3 型, 在寬帶>800Hz(at -3dB)時(shí)，典型的零位溫度系數(shù)為 100 μg /oC,比例因子溫度系數(shù)為100ppm/oC。 特征 具有良好的高帶寬零位穩(wěn)定性 ± 2g, ±10g 全測(cè)量范圍 高沖擊 低成本高性能 低功率模擬電壓輸出 TO8包裝 應(yīng)用 振動(dòng)測(cè)量        數(shù)據(jù)記錄器                 HUMS                 結(jié)構(gòu)監(jiān)測(cè) 慣性測(cè)量        鉆井（石油和天然氣）                 民用航空 傾角測(cè)量        儀器儀表                 交通運(yùn)輸參數(shù) Specifications  所有數(shù)值特指在溫度20 °C (+86°F)和3伏工作電壓條件下，除非另外說明。  Units  MS7002.3  MS7010.3 全部測(cè)量范圍  g  ± 2g  ± 10g 封裝  TO8, 12 管腳  TO8, 12 管腳 零位校準(zhǔn)  mg  < 10  < 50 1年時(shí)間的零位穩(wěn)定性[1]  mg typ. (max.)  2 (< 5)  10 (< 25) 零位溫度系數(shù)[3]  mg/°C typ.  0.1  0.5  mg/°C max.  ± 0.4  ± 2 比例因子(輸出靈敏度) (K1)  mV/g  500 ± 4  100 ± 1 一年期比例因子穩(wěn)定性[2]  ppm typ. (max.)  500 (< 1000)  500 (< 1000) 比例因子溫度系數(shù)[3]  ppm / °C typ.  100  100  min. / max.  -50 / 250  -50 / 250 輸入軸偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  % max  1  1 分辨率/閾值(@ 1Hz)  mg max.  < 0.1  < 0.6 非線性度  % of FS max.  < 0.8  < 0.9  g max.  < 0.02  < 0.09 帶寬[4]  Hz  0 to ≥ 800  0 to ≥ 600 噪聲譜密度 [0 ; 9kHz)  ?V/Hz typ.  7  7  max.  < 18  < 18 諧振頻率  kHz  1.4  3.7[1]: 一年期穩(wěn)定性是按 IEEE 528-2001標(biāo)準(zhǔn): 打開/打開, 放置在-55°C 和 85°C環(huán)境中,在 -40°C 到125°C 之間循環(huán),在-55°C 和 85°C環(huán)境中，不帶電經(jīng)受擾動(dòng)，震動(dòng)和沖擊。[2]: 溫度系數(shù)是定義在–40°C到20°C溫度范圍, 其中溫度變化是線性的.[3]: 帶寬的定義是在某一頻段其靈敏度降低到 3dB以下.

產(chǎn)品詳細(xì)介紹簡(jiǎn)介：測(cè)量范圍：±2g ~ ±200g 非線性：<0.8%FS頻響：0~ > 1.0 kHz @ 5%供電電源：5V輸出信號(hào)：±4V差分信號(hào)輸出/0.5~4.5V單端信號(hào)輸出工作溫度：-40~125℃特征 超小型LCC20 封裝(8.9mm x 8.9mm) 振動(dòng)傳感  ±2g 到 ±200g 全部測(cè)量范圍   大帶寬(DC 到 > 1.0 kHz @ 5%) 優(yōu)秀的長(zhǎng)期穩(wěn)定性 適應(yīng)惡劣環(huán)境（沖擊，振動(dòng)，溫度） 低功率模擬電壓輸出穩(wěn)壓保護(hù) 配有溫度傳感器 應(yīng)用直升機(jī)和飛機(jī)試驗(yàn)航天結(jié)構(gòu)/模態(tài)分析航天飛行和顫振試驗(yàn)直升機(jī)健康與使用監(jiān)控系統(tǒng)汽車測(cè)試和碰撞測(cè)試鐵路技術(shù)轉(zhuǎn)向架監(jiān)測(cè)與診斷工業(yè)試驗(yàn)介紹：    Colibrys VS9000 加速度計(jì)是一種新的超小型高端產(chǎn)品，致力于在振動(dòng)傳感領(lǐng)域的應(yīng)用。大帶寬，高耐用度和低功耗的設(shè)計(jì)以及優(yōu)秀的零位穩(wěn)定性，這種結(jié)合保證了 VS9000 MEMS 加速度傳感器卓越的可靠性。ColibrysVS9000 系列是一個(gè)電容式 MEMS 加速度計(jì)，它是由一個(gè)體硅微加工工藝制成的硅表頭元件，一個(gè)低功耗 ASIC 專用信號(hào)處理器和一個(gè)存儲(chǔ)補(bǔ)償值的微處理器以及一個(gè)溫度傳感器等元件組成。該產(chǎn)品是一個(gè)低功耗的，校準(zhǔn)的，耐用的和性能穩(wěn)定的產(chǎn)品。其電子配置中帶有一個(gè)電源重置以防止電壓不穩(wěn)的全保護(hù)裝置。這種可變電容傳感器可專門用來提供大的帶寬。對(duì)于± 100g,（VS9100.D），帶寬是從直流到 > 1.0 千赫@ 5％。此產(chǎn)品還得益于MS9000 系列的高穩(wěn)定性，低噪音和低偏置和溫度系數(shù)比例因子。參數(shù)VS9000 side view0.8 所有數(shù)值特指在溫度20°C (+86°F)和5伏工作電壓條件下，除非另外說明              Units VS9002.D  VS9010.D  VS9030.D  VS9050.D  VS9100.D  VS9200.D 全部測(cè)量范圍  g  ± 2g  ± 10g  ± 30g  ± 50g  ± 100g  ± 200g 封裝  LCC20 (non magnetic, 8.9mm x 8.9mm / 0.35inch x 0.35inch) 帶寬, (± 5 %) [3]  Hz  0 to > 250  0 to > 1000  0 to > 1000  0 to > 1000  0 to > 1000  0 to > 1000 諧振頻率  kHz  1.3  2  4  5.1  7.2  11 噪聲譜密度  V/Hz typ.  25  25  25  25  25  25 [0;400 Hz]  Max.  27  27  27  27  27  27 零位校準(zhǔn)  mg  < 10  < 50  < 150  < 250  < 500  < 1000 1年期的時(shí)間零位穩(wěn)定性[1]  Mg typ. (max.)  1.5 (<5)  7.5 (<25)  22 (<75)  37.5 (<125)  75 (<250)  150 (<500) 開/關(guān)重復(fù)性  mg max.  < 0.15  < 0.75  < 1.5  < 3.8  < 7.5  < 15.0 零位溫度系數(shù) [2]  mg/℃ typ.  <0.1  <0.5  <1.5  <2.5  < 5  < 10.0  mg/℃max.  ± 0.4  ± 2  ± 6  ± 10  ± 20  ± 40 比例因子(輸出靈敏度) (K1)  mV/g  1000 ± 8  200 ± 2  66.6 ± 1  40 ± 1  20 ± 1  10 ± 1 一年期的比例因子穩(wěn)定性 [1]  ppm typ. (max.)  300(<1000)  300(< 000)  300(< 000)  300(<1000)  300(<1000)  300(< 1000) 比例因子溫度系數(shù) [2]  ppm / °C typ.  100  100  100  100  100  100  min. / max. -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250 輸入軸偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  % max  1  1  1  1  1  1 分辨率/ 閾值(@ 1Hz)  mg max.  < 0.1  < 0.6  < 1.7  < 2.8  < 5.5  < 11.0 非線性度 [4]  %ofFSmax < 0.8  < 1  < 1  < 1  < 1  < 1  g max.  < 0.02  < 0.09  < 0.27  < 0.50  < 1  < 2 [1]: 一年期穩(wěn)定性是按 IEEE 528-2001 標(biāo)準(zhǔn)：打開/打開, 放置在-55°C 和 85°C 環(huán)境中，在 -40°C 到125°C 之間循環(huán)，在-55°C 和 85°C 環(huán)境中，不帶電經(jīng)受擾動(dòng)，震動(dòng)和沖擊（在6000g 單次沖擊）。[2]: 溫度系數(shù)是定義在 –40°C 到 20°C 溫度范圍, 其中溫度變化是線性的。[3]: 帶寬的定義是在某一頻段其靈敏度降低到.5%以下。[4]: 200g 非線性規(guī)格適用的最大量程是100g.

產(chǎn)品詳細(xì)介紹簡(jiǎn)介測(cè)量范圍：±2g，±10g，±30g， ±100g非線性：< 0.8%FS頻響：1400~26000Hz供電電源：5V輸出信號(hào)：0.5 到4.5 VDC 之間， (在 0g時(shí)，為2.5 V ± 5mV)工作溫度：-55~125℃特點(diǎn)：超小型LCC20 封裝(8.9mm x 8.9mm)±2g，±10g，±30g， ±100g 全部測(cè)量范圍優(yōu)秀的零位穩(wěn)定性適應(yīng)惡劣環(huán)境（沖擊，振動(dòng)，溫度）達(dá)到MIL-STD-833-E 標(biāo)準(zhǔn)低功率模擬電壓輸出穩(wěn)壓保護(hù)應(yīng)用：用于航空航天IMU / AHRS       航空電子設(shè)備        無人機(jī)陸地及海洋導(dǎo)航                定向鉆井            地球物理火車應(yīng)用     Colibrys 的MS9000慣性加速度傳感器是一種新的超小型產(chǎn)品，適用于惡劣的使用環(huán)境和耐用度要求極高的應(yīng)用領(lǐng)域。這種換代產(chǎn)品采用了LCC20(8.9mm x 8.9mm)陶瓷封裝，具有從±2g 到±250g廣泛的加速度測(cè)量范圍。該傳感器可在較大的溫度范圍應(yīng)用并且全使用壽命期間零位穩(wěn)定保證在幾毫g以內(nèi)。 　　Colibrys MS9000系列是一個(gè)電容式MEMS加速度計(jì)，它是由一個(gè)立體微加工工藝制成的硅元件，一個(gè)低功耗ASIC 專用信號(hào)處理器和一個(gè)存儲(chǔ)補(bǔ)償值的微控制器以及一個(gè)溫度傳感器等元件組成。該產(chǎn)品是一個(gè)低功耗的，校準(zhǔn)的，功能強(qiáng)大和性能穩(wěn)定的產(chǎn)品。其電子配置中帶有一個(gè)電源重置以防止電壓不穩(wěn)的全保護(hù)裝置。 　　參數(shù)：   Units  MS9002.D MS9010.D  MS9030.D  MS9050.D  MS9100.D  MS9250.D 全部測(cè)量范圍  g  ± 2g  ± 10g  ± 30g  ± 50g  ± 100g  ± 250g 封裝  LCC20 (無磁性, 8.9mm x 8.9mm / 0.35inch x 0.35inch) 零位校準(zhǔn)  mg  < 10  < 50  < 150  < 250  < 500  < 1250 大于48小時(shí)的零位穩(wěn)定性 [1]  mg typ.  < 0.05  < 0.25  < 0.75  < 1.25  < 2.25  < 6.25 1年時(shí)間的零位穩(wěn)定性[2]  mgtyp. (max.)  1.5 (<5)  7.5 (<25)  22 (<75)  38 (<125)  75 (<250)  188 (<625) 開/關(guān)重復(fù)性  mg max.  < 0.15  < 0.75  < 1.5  < 3.8  < 7.5  < 18.8 零位溫度系數(shù)[3]  mg/ ℃typ.  <0.1  <0.5  <1.5  <2.5  < 5  < 12.5  mg/℃max.   ± 0.4 ± 2  ± 6  ± 10  ± 20  ± 50 比例因子(輸出靈敏度) (K1)  mV/g  1000 ± 8  200 ± 2  66.6 ± 1  40 ± 1  20 ± 1  8 ± 1 一年期比例因子 [2]  ppmtyp.(max.)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000)  300 (< 1000) 比例因子溫度系數(shù) [3]  ppm/℃typ.  100  100  100  100  100  100  min./max.  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250  -50 / 250 輸入軸偏心度(Kp, Ko)  mrad max.  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  < 10  % max  1  1  1  1  1  1 分辨率/ 閾值(@ 1Hz)  Mg max.  < 0.1  < 0.6  < 1.7  < 2.8  < 5.5  < 12.5 非線性度   %ofFS max.  < 0.8  < 0.9  < 0.9  < 0.9  < 1  < 1  gmax. < 0.02 < 0.09  < 0.27  < 0.50  < 1  < 2.5 帶寬[4]  Hz  0to≥100  0to≥100  0to≥100  0to≥100  0to≥100  0to≥100 噪聲譜密度  V/Hztyp.  18  18  18  18  18  18 [0 ; 9kHz)  max.  24  24  24  24  24  24 諧振頻率  kHz  1.4  3.7  6.3  11  15  26 

1 成果簡(jiǎn)介放射治療是主要腫瘤治療手段之一。我國(guó)目前每年有共計(jì)約 200 萬腫瘤患者需要接受放射治療，目前國(guó)內(nèi)裝備的直線加速器只能滿足其中約五分之一左右的需求。據(jù)專家估計(jì)現(xiàn)在全國(guó)每年新增的醫(yī)用直線加速器數(shù)量應(yīng)該近 150 臺(tái)，年均增長(zhǎng)率近 15%左右。目前國(guó)內(nèi)的放射治療直線加速器市場(chǎng)尤其是中高端市場(chǎng)基本被三家跨國(guó)公司瓦里安、醫(yī)科達(dá)和西門子所占據(jù)， 100%的中高端以及 60%以上的低端市場(chǎng)都被國(guó)外公司占據(jù)。 現(xiàn)代放射治療需要影像引導(dǎo)，醫(yī)用加速器與影像設(shè)備一體化是革命性發(fā)展方向。近年來，影像技術(shù)和計(jì)算機(jī)控制技術(shù)有了長(zhǎng)足的發(fā)展，國(guó)外發(fā)展了稱之為影像引導(dǎo)放療（ ImageGuided Radiation Therapy, IGRT）的技術(shù)和設(shè)備。醫(yī)科達(dá)的 Synergy以及瓦里安的 OBI等 IGRT加速器一經(jīng)推出，就迅速普及推廣。 但是，目前國(guó)際上放療加速器廠商的 IGRT 設(shè)備，都分別存在各自技術(shù)缺陷。醫(yī)科達(dá)的Synergy 以及瓦里安的 OBI（圖 1 右下），都是使用 MV 級(jí)射線治療，同時(shí)，與治療射線束軸 90 度方向另加一套 KV 級(jí) X 射線影像系統(tǒng)的方式來實(shí)現(xiàn) IGRT。這種結(jié)構(gòu)除了增加制造成本外，非同源影像所反映的治療靶區(qū)運(yùn)動(dòng)變化情況也有先天的致命缺陷，無法保證治療空間坐標(biāo)和成像空間坐標(biāo)的一致性，帶來治療誤差；西門子的 MVision（圖 1 左上） 以及Tomotherapy 公司的 Hi-Art 則利用治療用的 MV 級(jí)射線成像，解決了同源問題，但由于 MV級(jí)射線能量高，無法得到高質(zhì)量圖像。“ 同源” 結(jié)構(gòu)， KV 級(jí)射線的影像，成了幾家主要廠商的無奈取舍，“ KV/MV 同源雙束” 加速管技術(shù)就是解決以上問題的完美組合。各廠家近十年來均非常重視“ KV/MV 同源雙束” 加速管技術(shù)的研發(fā)。  圖 1 幾種 IGRT 技術(shù)的對(duì)比 清華大學(xué) 2006 年 12 月承擔(dān)了十一五科技支撐計(jì)劃 “ 放射治療及與影像定位一體化裝置的研制” 課題，經(jīng)過兩年多的攻關(guān)，發(fā)明了國(guó)內(nèi)外尚沒有的“ KV/MV 同源雙束” 加速管，并制造出能穩(wěn)定出束，快速切換高能和低能的“ KV/MV 同源雙束” 加速管，高能 6MV，低能達(dá) 500KV，其他指標(biāo)亦完全符合設(shè)計(jì)要求，并研制出“ KV/MV 同源雙束” IGRT 加速器樣機(jī)。 2009 年該課題通過科技部、衛(wèi)生部驗(yàn)收。2 技術(shù)指標(biāo)3 應(yīng)用說明本設(shè)備可以在病人每個(gè)射野照射治療前進(jìn)行 KV 級(jí)圖像配準(zhǔn)，驗(yàn)證位置誤差，實(shí)現(xiàn)精確放療。由于同源，定位便捷精確， KV 級(jí)影像帶來的高質(zhì)量影像，也完全滿足位置驗(yàn)證的需求。該設(shè)備應(yīng)用于我國(guó)千余家放療單位（醫(yī)院），還可出口海外。4 效益分析國(guó)外IGRT加速器售價(jià)在 1000~2000萬元/臺(tái)，本設(shè)備成本約 200萬元，預(yù)計(jì)售價(jià)500~1000萬元，預(yù)計(jì)年銷售 30~50 臺(tái)，年銷售額約 3 億（ 2008 年 Varian 公司全球放療銷售額 17 億美元）。技術(shù)創(chuàng)新、自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)產(chǎn)醫(yī)用 IGRT 加速器產(chǎn)業(yè)化成功，不僅可以改變我國(guó)中高端醫(yī)用加速器長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的局面，還可出口海外市場(chǎng)，其經(jīng)濟(jì)、社會(huì)效益極大， 推廣前景廣闊。5 合作方式清華大學(xué)目前正進(jìn)行產(chǎn)品化工作，尋求戰(zhàn)略投資及合作伙伴。