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本發(fā)明公開了一種加工硅通孔互連結(jié)構的工藝方法，步驟為：①在基板上刻蝕盲孔；②在基板上沉積一層圖案化介電質(zhì)層；③刻蝕圖案化介電質(zhì)層，刻蝕掉盲孔底部的介電材料，保留盲孔側(cè)壁的介電材料，在基板上形成介電質(zhì)孔；④在介電質(zhì)孔上沉積一層導電材料，形成導電孔；⑤在導電層上再沉積一層圖案化介電質(zhì)層，填充導電孔；⑥刻蝕板背面，暴露出導電層，在導電層上形成焊料微凸點。圖案化介電質(zhì)層的材料優(yōu)選聚對二甲苯。本發(fā)明簡化了工藝步驟，減少工藝時間并降低了費用；使用二層圖案化介電質(zhì)層，降低了寄生電容，提升了互連電性能，適用于高速和

本發(fā)明公開了一種銑削加工顫振主動控制系統(tǒng)，包括位移檢測單元、信號采集單元、中央控制單元、音圈電機驅(qū)動器和音圈電機，其中位移檢測單元用于對工件由于顫振產(chǎn)生的位移執(zhí)行感測，并獲得檢測電壓信號；信號采集單元用于采集檢測電壓信號并輸送給中央控制單元；中央控制單元根據(jù)所接收的信號相應計算控制電壓信號；音圈電機驅(qū)動器將控制電壓信號轉(zhuǎn)換為電流信號并予以功率放大，然后輸出至音圈電機使其驅(qū)動，由此實現(xiàn)銑削加工顫振主動控制過程。本發(fā)明還公開了相應的控制方法。通過本發(fā)明，能夠以響應快、輸出力大、便于操控的方式執(zhí)行顫振主動

本發(fā)明公開了一種基于廣義區(qū)間的切削加工顫振辨識方法，包括：獲取切削加工中的切削數(shù)據(jù)形成切削加工信號數(shù)據(jù)集；對切削加工信號數(shù)據(jù)集進行區(qū)間化處理獲得廣義區(qū)間化的數(shù)據(jù)集，并提取其廣義區(qū)間特征量集；建立初始的廣義神經(jīng)網(wǎng)絡模型，并對切削加工狀態(tài)進行編碼，形成廣義神經(jīng)網(wǎng)絡輸出的理想目標，訓練廣義神經(jīng)網(wǎng)絡，獲取優(yōu)化的廣義神經(jīng)網(wǎng)絡模型；將待識別的切削加工數(shù)據(jù)集的廣義區(qū)間特征量集代入優(yōu)化的廣義神經(jīng)網(wǎng)絡模型中，計算模型輸出結(jié)果，并對輸出結(jié)果中的區(qū)間最大值對應狀態(tài)即為辨識的切削加工狀態(tài)。本發(fā)明的方法可以對切削加工顫振進行

本發(fā)明公開了一種數(shù)控機床銑削加工刀具破損監(jiān)測方法，該方法通過獲取機床主軸電機電流信號，預處理后經(jīng)過奇異譜分析與特征值提取過程，建立刀具破損監(jiān)測模型，實現(xiàn)對刀具破損狀態(tài)的監(jiān)測，達到通過電流信號預測刀具破損的目的。本發(fā)明采用電流信號作為監(jiān)測信號，具有信號獲取容易，傳感器成本低，安裝方便等特點，奇異譜分解可以有效提取信號中與刀具狀態(tài)相關的成分，并且奇異譜是基于信號內(nèi)部結(jié)構的分解方法，計算速度快，節(jié)省時間；特征值是基于統(tǒng)計方法方差進行提取，可以有效反應刀具破損狀態(tài)，并且也具有計算速度快的特點；支持向量機在小

本發(fā)明公開了一種電弧增材與銑削復合加工的方法，包括:(1) 將需要加工零件的 STL 三維模型進行分層切片及路徑規(guī)劃，生成相應 的 G 代碼，然后導入至電弧增材和銑削加工復合裝置中進行加工;(2) 控制焊槍的開關，氬氣的開關以及復合裝置的運動，來進行電弧增材 制造;(3)當使用焊槍堆積達到需要銑削加工的閾值時，暫停電弧增材 加工，同時 G 代碼控制焊槍相對于銑刀抬高，成形件移動至銑刀下方 進行輪廓和頂面的銑削加工;(4)

本發(fā)明公開了一種微型皮拉尼計與體硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括：在硅基片正面制備體硅器件所需的絕緣層及電路引線；在硅基片的背面或正面沉積一層絕緣隔熱材料，刻蝕去除其四周部分得到絕緣隔熱層；在絕緣隔熱層上制備加熱體和電極；在沒有加熱體的一面制備圖形化的光刻膠掩膜；在有加熱體的一面沉積金屬膜；將金屬膜粘貼在表面有氧化層的硅托片上；對有光刻膠掩膜的一面進行感應耦合等離子體干法刻蝕，刻穿硅基片；去除光刻膠掩膜和金屬膜，得到集成結(jié)構。本發(fā)明能有效提高皮拉尼計的制備與其它工藝的兼容性，解決皮拉尼計與體

項目組在國家科技重大專項和國家自然科學基金的支持下，提出了以加工動態(tài)特征為載體進行加工全過程工藝知識建模的技術思路，攻克了加工動態(tài)特征驅(qū)動的自動數(shù)控編程和加工變形精確控制技術，為復雜結(jié)構件從計算機輔助加工到智能數(shù)控加工的跨越提供了理論和技術支撐。 一、項目分類 關鍵核心技術突破 二、成果簡介 飛機復雜結(jié)構件的數(shù)控加工能力是衡量一個國家航空制造水平的重要標志。新一代飛機結(jié)構件更復雜、精度要求更高、制造周期要求更短，對五軸聯(lián)動數(shù)控加工技術提出了更高的要求。項目組在國家科技重大專項和國家自然科學基金的支持下，提出了以加工動態(tài)特征為載體進行加工全過程工藝知識建模的技術思路，攻克了加工動態(tài)特征驅(qū)動的自動數(shù)控編程和加工變形精確控制技術，為復雜結(jié)構件從計算機輔助加工到智能數(shù)控加工的跨越提供了理論和技術支撐。成果在多家航空航天企業(yè)推廣應用，完成了多個軍機和C919、ARJ21 等民機型號多件復雜結(jié)構件的研制生產(chǎn)，被工信部、發(fā)改委和國防科工局作為航空領域國產(chǎn)高檔數(shù)控機床應用示范工程三大關鍵共性技術之一，向全國軍工制造行業(yè)推廣。 三、創(chuàng)新點 1.揭示了加工過程中間狀態(tài)幾何參數(shù)、工藝參數(shù)、監(jiān)測檢測量等動態(tài)信息的動態(tài)迭代規(guī)律和傳遞規(guī)律，突破了基于加工動態(tài)特征的加工全過程工藝知識建模技術，實現(xiàn)了復雜結(jié)構件工藝知識積累由以零件為載體到以加工動態(tài)特征為載體的模式轉(zhuǎn)變。 2.提出了基于特征識別的加工特征自動排序、加工驅(qū)動幾何自動創(chuàng)建、工藝參數(shù)自動迭代方法，構建了加工特征切削參數(shù)優(yōu)化模型，實現(xiàn)了復雜結(jié)構件的快速編程和高效加工。 3.提出加工過程中自適應釋放和消除工件變形的加工模式，研制出能監(jiān)測工件變形的浮動裝夾工藝裝備，突破了基于加工動態(tài)特征的裝夾/加工/監(jiān)測/檢測自適應協(xié)同控制技術，實現(xiàn)了加工變形精確控制。 四、主要技術指標 1.特征自動識別率大于95%； 2.刀軌自動生成率大于95%； 3.數(shù)控編程效率提高3倍以上； 4.加工效率提高30%以上； 5.大型復雜結(jié)構件加工變形控制在0.05mm/m以內(nèi)。 五、知識產(chǎn)權及獲獎 加工動態(tài)特征驅(qū)動的智能數(shù)控編程與加工技術，研究成果2016年獲“國家技術發(fā)明二等獎”、2015年獲“中國機械工業(yè)科學技術一等獎”。目前已擁有授權國家發(fā)明專利60余項。 六、成果圖片   圖1 成果總體技術   圖2 加工過程零件面型檢測

本成果針對國外對五軸數(shù)控機床相關技術的封鎖，軟件系統(tǒng)成本昂貴、成本高等特點，以及國內(nèi)該領域的空白，在國家04專項的支持下，采用自主研制的五軸數(shù)控機床基于拓撲理論建立的通用運動學模型、求解算法和仿真方法，基于自主知識產(chǎn)權，開發(fā)出我國自己的五軸數(shù)控機床通用后置處理系統(tǒng)、代碼驗證仿真系統(tǒng)、幾何誤差建模/測量/辨識與補償系統(tǒng)，該項成果已經(jīng)獲得3項發(fā)明專利，3項軟件著作權，目前已經(jīng)開發(fā)出五軸數(shù)控機床通用后置處理系統(tǒng)及加工仿真系統(tǒng)，正在進行產(chǎn)業(yè)化推進，項目整體已經(jīng)達到國內(nèi)領先、國際先進水平，有望實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

可以量產(chǎn)/n利用重組育種和優(yōu)勢育種相結(jié)合的方法，選育了兩個無刺百皮黃瓜雜種一代新品種"華黃瓜3號"和"華黃瓜4號"。具有早熟、優(yōu)質(zhì)、豐產(chǎn)、抗病等特點。與對照品種相比，早熟5天以上；產(chǎn)量高8.7-14％；瓜條直，無瓜把，瓜皮白色，質(zhì)脆味甜；較抗霜霉病和白粉病。兩品種已通過了湖北省農(nóng)作物品種審定委員會審定，并在生產(chǎn)中大面積推廣，取得了較大的經(jīng)濟效益和社會效益。利用秋水仙素誘導加倍的方法選育出一個四倍體菠菜新品系，該品系平均株高14.5厘米，株型寬闊，葉柄短，平均葉柄長5.63厘米（對照為9.68厘米），

此項目是上海理工大學與上海重型機床廠及太原第一機床廠產(chǎn)學研合作，開發(fā)的大型數(shù)控機床，由上海理工大學應用技術研究所設計、上海重型機床廠/太原第一機床廠制造。機床為工作臺移動、定梁龍門式鏜銑類大型機床。工作臺長度×寬度：8000×2000mm、立柱間通過寬度 2500mm，機床自重 76500Kg、工作臺可承載工件重量 5000Kg。適合于各類板類、箱體類和機架類零件的數(shù)控加工，可進行銑、鏜、鉆、鉸、攻絲等各種操作，對復雜型面和空間曲面進行三座標聯(lián)動數(shù)控插補加工。機床還配套有可交換的臥式鏜銑頭和萬能鏜銑