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本發(fā)明公開了一種雙波長(zhǎng)可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器，該激光器包括 有源區(qū)、相位區(qū)和光柵區(qū)；從下往上依次附著有第一緩沖層、有源層 和第一覆蓋層，第一緩沖層、有源層和第一覆蓋層構(gòu)成了有源區(qū)；從 下往上依次附著有第二緩沖層、波導(dǎo)層和第二覆蓋層，第二緩沖層、 波導(dǎo)層和第二覆蓋層構(gòu)成了相位區(qū)；從下往上依次附著有第三緩沖層、 光柵層和第三覆蓋層，第三緩沖層、光柵層和第三覆蓋層構(gòu)成了相位 區(qū)；在第一覆蓋層的上表面設(shè)有第一電極，在第二覆蓋層的

5G新基建是國(guó)家的重要發(fā)展戰(zhàn)略，寬溫高可靠的25Gb/s DFB(分布反饋)激光器芯片是5G光傳輸核心光芯片，也是當(dāng)前5G建設(shè)的卡脖子問題之一。自主可控的5G光模塊DFB激光器芯片對(duì)解決光通信“空芯化”問題，推進(jìn)“中國(guó)芯”國(guó)家重大戰(zhàn)略實(shí)施，保障我國(guó)通信基礎(chǔ)設(shè)施安全具有重要的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。因DFB激光器的微分增益隨溫度上升迅速下降，常規(guī)的DFB激光器面臨嚴(yán)重的高溫高帶寬瓶頸。面對(duì)5G應(yīng)用要求的-40~85℃的寬溫應(yīng)用場(chǎng)景，常規(guī)DFB激光器芯片往往是超頻運(yùn)行，嚴(yán)重影響可靠性。因此，研制全國(guó)產(chǎn)寬溫25Gb/s DFB激光器芯片，同時(shí)兼顧低成本高可靠需求對(duì)推進(jìn)“中國(guó)芯”國(guó)家重大戰(zhàn)略實(shí)施具有重要意義。 本成果創(chuàng)新性地提出一種溝中溝脊波導(dǎo)DFB激光器結(jié)構(gòu)，相比較常規(guī)DFB激光器，在脊兩側(cè)對(duì)稱的刻蝕兩個(gè)溝槽。此結(jié)構(gòu)可抑制注入載流子的橫向擴(kuò)散，提高對(duì)光場(chǎng)的束縛，提高芯片帶寬，滿足芯片高速工作需要。芯片的高溫輸出光功率大于10mW，單模抑制比大于40dB，實(shí)測(cè)寬溫25Gb/s眼圖及誤碼率均達(dá)到商用需求。同時(shí)，相比較常規(guī)芯片，其制作過程只需多加一步簡(jiǎn)單的刻蝕，無需二次外延，成本低，做了2000小時(shí)的老化試驗(yàn)，其功率變化小于0.5%，具有高可靠性。 圖1（a）常規(guī)DFB激光器芯片截面圖（b）新型溝中溝脊波導(dǎo)DFB激光器芯片截面圖（c）新型溝中溝脊波導(dǎo)DFB激光器芯片概圖（d）（e）（f）分別為常規(guī)芯片、溝脊距為2μm、溝脊距為6μm SEM圖 圖2（a）（b）（c）25℃、55℃和85℃下不同溝脊距與常規(guī)芯片響應(yīng)曲線對(duì)比（d）25℃、55℃和85℃下不同溝脊距與常規(guī)芯片響應(yīng)帶寬對(duì)比，帶寬可提高3GHz 25℃和3.7GHz 85℃下芯片25Gb/s眼圖（g）25℃、55℃和85℃下芯片背靠背傳輸及10km傳輸誤碼率曲線 圖3（a）（b）25℃和85℃下常規(guī)芯片與溝中溝脊芯片2000小時(shí)老化實(shí)驗(yàn)結(jié)果，功率變化小于0.5%

項(xiàng)目背景：DFB 半導(dǎo)體激光器是光通信領(lǐng)域中最為重要 的器件之一，目前已經(jīng)有工業(yè)級(jí)溫度（-40°C-85°C）25G 波特率 DFB 大規(guī)模量產(chǎn)。但是，從 2000 年至今，DFB 激光器 的 3dB 帶寬在全世界范圍內(nèi)幾乎沒有明顯提高，傳統(tǒng)的基于 載流子和光子響應(yīng)的 DFB 激光器在傳統(tǒng)的制造工藝下已經(jīng)趨 近其速率的物理極限，需要用新的物理本質(zhì)來實(shí)現(xiàn)更高速率 的器件，從而進(jìn)一步提升 DFB 芯片的調(diào)制速率和整個(gè)光通信 應(yīng)用的傳輸速率。本項(xiàng)目研發(fā)的 50G 波特率 DFB 半導(dǎo)體激光 器將達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白，打破國(guó)外壟斷本項(xiàng) 目的實(shí)施，應(yīng)對(duì)美國(guó)對(duì)中國(guó)高端材料和芯片的禁售風(fēng)險(xiǎn)。該 產(chǎn)品可在光通信系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛，可以承擔(dān)接入網(wǎng)、數(shù)據(jù)中 心網(wǎng)絡(luò)、無線網(wǎng)絡(luò)、傳輸網(wǎng)絡(luò)等多個(gè)方面的主力傳輸工作。 所需技術(shù)需求簡(jiǎn)要描述：本項(xiàng)目期望突破當(dāng)前 DFB 調(diào)制 速率的瓶頸，在目前大規(guī)模量產(chǎn)的 25G 波特率 DFB 的基礎(chǔ)上， 將速度翻一番，到達(dá) 50G 波特率。（1） 兩個(gè)背靠背 DFB 激 光器產(chǎn)生的光子-光子諧振效應(yīng)（PPR）研究。（2） 背靠背 DFB 激光器的高速陶瓷載體設(shè)計(jì)。（3） 50G 波特率 DFB 芯片 和高速陶瓷載體的測(cè)試  對(duì)技術(shù)提供方的要求:1．光電子器件設(shè)計(jì)領(lǐng)域國(guó)際知名 專家，熟悉 50G 波特率 DFB 激光器基本設(shè)計(jì)。2．完善的 DFB 器件基礎(chǔ)知識(shí)和模擬能力。3．國(guó)內(nèi) 985 高校教授，技術(shù)方案成熟可靠穩(wěn)定有創(chuàng)新思維，不涉及知識(shí)產(chǎn)權(quán)侵犯。 

本發(fā)明公開了一種聲壓測(cè)量傳感器及多縱模光纖激光器聲壓測(cè) 量系統(tǒng)。聲壓測(cè)量傳感器包括金屬圓桶、薄膜和光纖；金屬圓桶的側(cè) 壁中部有開孔，內(nèi)壁設(shè)有吸音棉；薄膜位于金屬圓桶的上端開口處， 形成密封結(jié)構(gòu)；光纖兩端固定，呈緊繃狀態(tài)，中部粘貼在薄膜的表面。 多縱模光纖激光器聲壓測(cè)量系統(tǒng)包括 980nm 泵浦光源、多縱模激光諧 振腔、光纖隔離器、光電轉(zhuǎn)換模塊和頻譜分析儀；多縱模激光諧振腔 包括聲壓測(cè)量傳感器、波分復(fù)用器、摻鉺光纖、可

本項(xiàng)目利用一種新型結(jié)構(gòu)獨(dú)特的兼具準(zhǔn)直和選頻功能的混合菲涅爾透鏡衍射光柵光學(xué)元件來實(shí)現(xiàn)一種小型集成化、窄線寬的半導(dǎo)體激光器。結(jié)合混合菲涅爾透鏡衍射光柵光學(xué)元件外腔技術(shù)，使激光線寬小于50 kHz水平，實(shí)現(xiàn)微型化的厘米長(zhǎng)度的窄線寬相干激光光源的批量制備。

本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體脈沖激光器熱電階梯冷卻方法，包括以下步驟：1)根據(jù)半導(dǎo)體脈沖激光器的額定工作溫度 Ts 選擇熱電模塊，將熱電模塊安裝在半導(dǎo)體脈沖激光器內(nèi)并使用可編程直流電源控制其電壓；2)半導(dǎo)體脈沖激光器在 jt0 時(shí)刻釋放熱量 Qc 使半導(dǎo)體脈沖激光器內(nèi)的溫度上升，可編程直流電源在 jt0 時(shí)刻相應(yīng)地由恒定電壓 Us 調(diào)整為階梯電壓并施加在熱電模塊上，以使半導(dǎo)體脈沖激光器的實(shí)際工作溫度降低到 Ts±2℃；其中，j 為大于零的正整數(shù)。本發(fā)明通過給熱電模塊施以合適的階梯電壓，使熱電模塊冷端溫度呈現(xiàn)出衰減振蕩過程，能減小過冷溫度和增益溫度，保證半導(dǎo)體脈沖激光器的溫度要求。

1. 痛點(diǎn)問題 雙頻激光干涉儀以雙頻激光器作光源。國(guó)內(nèi)外，都是在氦氖激光管上加磁場(chǎng)，磁場(chǎng)和原子相互作用（塞曼效應(yīng)），使氦氖激光器輸出雙頻，這就是激光教科書中的塞曼效應(yīng)雙頻激光器,常簡(jiǎn)稱為雙頻激光器。國(guó)內(nèi)外嘗試用半導(dǎo)體激光器和固體微片激光器的努力都沒有成功。塞曼效應(yīng)雙頻激光器的缺點(diǎn)是雙頻的間隔（頻差）小，且光子電場(chǎng)振動(dòng)為圓偏振，前者影響干涉儀測(cè)量速度，后者帶來幾納米十幾納米的非線性誤差，這就是塞曼效應(yīng)雙頻激光器的天花板。本項(xiàng)目課題組曾經(jīng)嘗試用晶體石英，外加力的應(yīng)力雙折射使氦氖激光器產(chǎn)生雙頻，但其組裝方式等不夠理想，穩(wěn)定性需提高，產(chǎn)品化困難。 2. 解決方案 鑒于塞曼效應(yīng)雙頻激光器性能提高遇到的瓶頸，本項(xiàng)目提供一種用激光內(nèi)雕技術(shù)使激光器輸出頻率差，其賦值精確，裝配不帶來不穩(wěn)定。本項(xiàng)目雖然是氦氖雙頻激光器制造過程中的一個(gè)工藝或物理過程，但在精密測(cè)量領(lǐng)域意義重大，影響深遠(yuǎn)。 合作需求 尋求本領(lǐng)域合適的合作伙伴，把這種采用新工藝的雙頻激光器裝于干涉儀，并把這種雙頻激光干涉儀推向市場(chǎng)。

1. 痛點(diǎn)問題 激光雷達(dá)在自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域有重要應(yīng)用。基于調(diào)頻連續(xù)波技術(shù)的激光雷達(dá)（FMCW Lidar）有著探測(cè)距離遠(yuǎn)、抗干擾和同時(shí)測(cè)速等優(yōu)勢(shì)，被認(rèn)為是最具應(yīng)用潛力的激光雷達(dá)。激光光源是FMCW激光雷達(dá)的核心器件之一，F(xiàn)MCW光源的調(diào)頻非線性會(huì)嚴(yán)重影響激光雷達(dá)的分辨率，導(dǎo)致有效工作距離縮短，阻礙激光雷達(dá)性能的提升。 2. 解決方案 本成果預(yù)期解決目前調(diào)頻連續(xù)波激光雷達(dá)（FMCW Lidar）中光源調(diào)頻非線性的問題。本成果提出一種基于硅基外腔芯片的窄線寬激光器，通過無源硅基外腔芯片反射波長(zhǎng)中心頻率和反射相位的聯(lián)合調(diào)諧，可以實(shí)現(xiàn)高線性的激光輸出頻率調(diào)諧，其原理架構(gòu)與和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證結(jié)果如圖1所示。從而突破了傳統(tǒng)FMCW光源直接通過電流調(diào)制進(jìn)行調(diào)頻導(dǎo)致的非線性限制，直接產(chǎn)生高線性連續(xù)調(diào)頻光信號(hào)。 合作需求 1、需要融資1800~2000萬元，完成研發(fā)實(shí)驗(yàn)室及一期生產(chǎn)線的建設(shè)，以及前期工程樣品的開發(fā)； 2、需要800平米左右萬級(jí)超凈廠房及配套辦公面積，希望有興趣的地區(qū)或者園區(qū)能夠提供優(yōu)惠的政策與支持； 3、歡迎FMCW激光雷達(dá)廠家及其它對(duì)FMCW光源有需求的客戶合作，聯(lián)合測(cè)試、共同開發(fā)； 4、歡迎在硅光設(shè)計(jì)、光有源、無源耦合及自動(dòng)化生產(chǎn)等方面的技術(shù)、管理專家加盟，共同打造激光雷達(dá)的中國(guó)光芯，共創(chuàng)美好未來。

產(chǎn)品詳細(xì)介紹 產(chǎn)品名稱： 高功率半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 12281271316產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： LCM-LL-250型 綠光微功率激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 61910274716產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 375nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 118957316產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 藍(lán)光405 nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 118956016產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 藍(lán)光473 nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189545816產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 綠光523 nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 118954116產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 綠光532 nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189525516產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 黃光556nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189511616產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 黃光561nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189501816產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 黃光589nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 118949416產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 黃光593nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189474716產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 紅光635nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189455616產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 紅光639nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189445316產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 紅光 671 nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189393016產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 690 nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189384116產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 457 nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 118937916產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 445 nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189343316產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 375 nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189323116產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 拉曼780 nm 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 118929816產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 785 nm 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 118927716產(chǎn)品 產(chǎn)品名稱： 808 nm半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189252716產(chǎn)品信息： 產(chǎn)品名稱： 830nm 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品類別： 激光系列產(chǎn)品 → 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品編號(hào)： 1189233916產(chǎn)品信息： 信息： 【激光系列產(chǎn)品】 光纖激光器  多模泵浦激光器  激光二極管未封裝bar  激光二極管冷卻裝置  激光器電源  氦氖激光器  CO2激光器  半導(dǎo)體泵浦激光器  氬離子激光器  氦鎘激光器  氮分子激光器  皮秒激光器  激光二極管電源  激光光譜測(cè)量  激光能量計(jì)/功率計(jì)  激光雕刻、打標(biāo)、切割機(jī)  激光二極管模塊  深紫外、紫外固體激光器  超快飛秒激光器  熱電制冷產(chǎn)品  激光光束定位系統(tǒng)  激光光束分析儀  視頻顯微鏡測(cè)量系統(tǒng)  激光準(zhǔn)直器  多通道激光功率計(jì)  半導(dǎo)體激光器  激光測(cè)距儀  紅外激光顯示卡  調(diào)Q激光器  激光護(hù)目鏡  光學(xué)平臺(tái)  光學(xué)調(diào)整架  光學(xué)微調(diào)架  可調(diào)嵌入式光學(xué)調(diào)整架  傾斜位移臺(tái)  通用調(diào)整臺(tái)  光學(xué)延遲線  手動(dòng)位移臺(tái)  XY位移臺(tái)  光學(xué)旋轉(zhuǎn)臺(tái)  角位移調(diào)整臺(tái)  激光器附件  可變光闌  擴(kuò)束鏡  拉曼激光器  大功率光纖耦合激光器  單模垂直腔面發(fā)射激光器  緊湊型氬離子激光器  新型氬離子激光器 

本發(fā)明公開了一種提高激光轉(zhuǎn)盤斬波調(diào) Q 性能的裝置及包含該 裝置的調(diào) Q 激光器，裝置包括位于諧振腔內(nèi)部或外部的伽利略望遠(yuǎn)鏡 裝置以及位于諧振腔內(nèi)部用于對(duì)壓縮后的激光光束進(jìn)行調(diào) Q 的轉(zhuǎn)盤斬 波調(diào) Q 器件。激光介質(zhì)為一個(gè)時(shí)，第一伽利略式望遠(yuǎn)鏡裝置位于諧振 腔之內(nèi)，用于壓縮激光光束直徑，以減少 Q 開關(guān)時(shí)間增強(qiáng)調(diào) Q 效果； 激光介質(zhì)大于一個(gè)時(shí)，第二伽利略式望遠(yuǎn)鏡裝置位于諧振腔之外，由 各路激光諧振腔共用，用于將多路