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半導體設備超潔凈流控系統及其受制約流控零部件
浙江大學聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術
一、項目分類
關鍵核心技術突破
二、技術分析
如何通過超潔凈流控技術降低流控污染，減少曝光缺陷，提升曝光良率，是國產高端半導體制造裝備研制面臨的重大挑戰，直接關乎整機產品的產線應用性能與市場競爭力。此外，作為各類半導體制造裝備的共性核心零部件，超潔凈流控部件市場被美國、日本等國壟斷，使我國半導體制造裝備產業面臨核心零部件“卡脖子”風險。浙江大學流體動力與機電系統國家重點實驗室啟爾團隊所承擔的高端半導體制造裝備核心分系統之一的超潔凈流控系統，自2004年以來在國家863計劃和國家02專項支持，聚焦超潔凈流控系統基礎研究、技術攻關和產品研發，攻克了影響光刻分辨率、良品率與產率的1mk級溫度測控、5ppt級金屬離子測控、20μm級氣泡測控、50nm級殘留液膜測控等關鍵核心技術，完成了超潔凈流控系統九大組件的研制和集成測試，為半導體制造設備掃描速度與產能的提高提供基礎理論與方法依據，同時自主研發的半導體機臺核心超潔凈流控零部件實現了產品化，突破了國外技術的封鎖，為我國半導體制造的發展與自主創新提供了基礎支撐。
浙江大學
2022-07-22
一種鏟-篩互振式木薯挖掘機
本發明涉及一種鏟?篩互振式木薯挖掘機，包括：機架、仿壟輪組件、挖掘鏟組件、動力傳動機構和振動篩組件；所述機架由方形鋼管焊接而成，機架的前部上方焊接有懸掛裝置，機架的前橫梁上焊接有兩個三點懸掛掛接板、兩個仿壟輪掛接板和三個挖掘鏟掛接板，機架的中部橫梁兩側和后橫梁兩側分別焊接有振動篩掛接板；兩個三點懸掛掛接板分別位于懸掛裝置的兩端，機架上的三點懸掛掛接板和懸掛裝置通過銷軸與拖拉機的三點懸掛裝置連接；所述仿壟輪組件通過銷軸與機架上的仿壟輪掛接板掛接，所述挖掘鏟組件通過銷軸與機架上的挖掘鏟掛接板掛接，所述振動篩組件通過銷軸與機架上的振動篩掛接板掛接，所述動力傳動機構通過螺栓與機架連接。
中國農業大學
2021-04-11
一種變線寬激光振鏡掃描快速刻蝕方法
本發明公開了一種變線寬激光振鏡掃描快速刻蝕方法，本發明 利用激光束離焦后功率密度梯度變小光斑變大的原理以及高速振鏡掃 描誤差精確矯正方法，通過設置不同的在焦和離焦激光加工距離及對 應功率參數和激光振鏡掃描參數來控制激光光斑大小，對圖形填充區 采用離焦后的大光斑光柵掃描填充，然后對圖形輪廓進行矢量掃描勾 勒。本發明針對不同的工作距離預先進行振鏡掃描誤差矯正，生成高 精度振鏡掃描定位表，確保在不同激光加工距離獲得同等高精
華中科技大學
2021-04-14
一種單自由度主被動隔振裝置
本發明公開了一種單自由度主被動隔振裝置，包括由下至上依 次連接的基礎平臺、下彎曲片彈簧、波紋屏蔽管、上彎曲片彈簧和負 載平臺;下彎曲片彈簧和上彎曲片彈簧構成被動隔振單元，波紋屏蔽 管內放置主動隔振單元。通過主動控制單元與被動隔振單元的復合使 用，本發明不僅對高頻振動干擾具有良好的高衰減率隔振效果，還能 有效的實現低頻共振抑制，隔離低頻振動，可有效抑制微振動環境， 為遙感衛星高分辨率觀測成像等設備提供穩定的工作環境。
華中科技大學
2021-04-14
多功能自振周期偏擺脈沖射流發生器
本發明屬于高壓水射流領域，尤其涉及一種通過自激振蕩形成自吸磨料或空氣的多功能自振周期偏擺脈沖射流發生器。主要由上噴嘴、調節環、滾動軸承、擋板、轉子、磨料輸送管、外殼、振蕩腔體、下噴嘴、高壓空氣輸送管組成;所述上噴嘴通過螺紋與調節環相連;所述調節環、擋板、
武漢大學
2021-04-14
一種檢測阻尼器減振效果的裝置
本實用新型公開了一種檢測阻尼器減振效果的裝置，其包括呈平板狀的雙列導軌支撐板，其固定在支撐底座的臺面上，其上表面具有多對凸起呈矩形臺的安裝基臺，所有安裝基臺均相互平行，且每一對安裝基臺的兩個基臺間的間距均相同，用于安裝不同規格的多對滾動直線導軌副。還包括呈平板狀的工作臺，其一面覆蓋并可拆卸連接在油膜減振阻尼器上，另一面與外界的振源相接觸，將外界的振動傳遞給滾動直線導軌副。還包括三向加速度傳感器，其通過磁力吸附上工作臺與外界振源相接觸的面上，用于測量工作臺的振動，以檢測阻尼器的減振效果。本實用新型裝置
華中科技大學
2021-04-14
一種重載精密減振器及其構成的減振系統
本發明屬于精密減振技術領域，為一種重載精密減振器及其構成的減振系統。減振器包括阻尼可變的低剛度空氣彈簧、低水平剛度的倒立擺機構和一組三自由度主動減振執行器。空氣彈簧為由節流孔連通的內外環形雙氣室結構；倒立擺機構由主支承桿和兩根以上的柔性擺桿組成，置于環形氣腔內；主動減振執行器由三個正交布置的直線電機構成。重載精密減振器通過空氣彈簧產生垂向大承載力，通過空氣彈簧和倒立擺機構分別隔離垂向和水平向的振動傳遞，通過垂向和水平向直線電機作用力進行主動控制衰減振動。減振系統由三個以上的精密重載減振器呈多邊形布置
華中科技大學
2021-04-14
航天器用低應力松弛硅橡膠泡沫減振材料
項目簡介： 低壓縮應力松弛、耐高低溫硅橡膠發泡片材特別適用于航空航天、國防和國民
西華大學
2021-04-14
一種兩自由度超低頻隔振器
本發明公開了一種兩自由度超低頻隔振器，其包括基礎平臺(10)和負載平臺(30)，基礎平臺(10)與負載平臺(30)通過支撐桿連接，其特征在于：該隔振器還包括正剛度的空氣彈簧(20)和負剛度可調的磁負剛度機構(28)，其沿基礎平臺和負載平臺的中心軸線方向形成并聯機構，從而降低該方向的固有頻率；與所述中心軸線垂直方向設有剛度可調的正剛度片彈簧和負剛度的倒立擺，形成正負剛度并聯機構，從而降低該方向的固有頻率。本發明的隔振器沿基礎平臺和負載平臺的中心軸線方向及其垂直方向均采用正負剛度并聯式被動結構，同時實現兩個自由度隔振。
華中科技大學
2021-04-14
線控制動 EHB 線控液壓剎車 無人車線控底盤 自動駕駛 i-booster
浙江天尚元科技有限公司
2022-06-20