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本發(fā)明公開了一種原子發(fā)生器，包括真空法蘭、氣體引入模塊、 加熱模塊、隔熱模塊、冷卻模塊和出口模塊，氣體引入模塊包括供氣 源、真空微調(diào)閥和供氣管;加熱模塊包括電源、鎢毛細(xì)管和鎢加熱子; 隔熱模塊包括固定安裝在所述真空法蘭上的鉬隔熱層;冷卻模塊包括 套接在所述鉬隔熱層上的冷卻套;出口模塊包括設(shè)置在鎢毛細(xì)管下方 的出口支座，出口支座固定安裝在鉬隔熱層上，其上設(shè)置有錐狀內(nèi)孔， 錐狀內(nèi)孔的中心線與所述鎢毛細(xì)管的中心線同線并且其頂端的直徑小 于其底端的直徑。本原子發(fā)生器在原子出口處添加了一個(gè)有錐狀內(nèi)孔 的出口支

本發(fā)明公開了一種能提高原子束流量密度的原子發(fā)生器，包括 真空法蘭、氣路組件、加熱裝置和隔熱冷卻裝置，氣路組件包括供氣 源、真空微調(diào)閥、氣體引入法蘭、供氣管、陶瓷套和鎢毛細(xì)管;加熱 裝置包括直流穩(wěn)壓電源、電引入法蘭和鎢加熱子;隔熱冷卻裝置包括 冷卻水引入法蘭、銅套、鉬隔熱層和冷卻塊，銅套上設(shè)置有冷卻水道， 鉬隔熱層的下端設(shè)置有作為原子束出口的第一圓孔，銅套上設(shè)置有作 為原子束出口的第二圓孔，并且所述鎢毛細(xì)管、第一圓孔、第二圓孔 的軸線重合。本發(fā)明出口處原子角度分布上，小極角范圍內(nèi)的原子流 量密度得到增

本發(fā)明公開了一種原子層沉積前驅(qū)體輸出裝置，該輸出裝置由裝載前驅(qū)體的鋼瓶（101），緩存腔（103），連接所述鋼瓶（101）與緩存腔（103）的第一開關(guān)閥（102），位于所述緩存腔腔體內(nèi)且與所述緩存腔腔體氣密性良好的運(yùn)動(dòng)活塞（104），以及控制輸出主管路的第二開關(guān)閥（105）構(gòu)成。本發(fā)明通過固定空間的氣體體積變化，每次穩(wěn)定的排出等量前驅(qū)體，保證定量輸出前驅(qū)體，能夠更好的適應(yīng)于前驅(qū)體用量?jī)?yōu)化分析及在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)分析。

本發(fā)明公開了一種原子力探針位姿調(diào)節(jié)裝置,包括探針座，調(diào)節(jié) 機(jī)構(gòu)和連接頭。其中探針座用于原子力探針的安裝固定；調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包 括由下至上的第一調(diào)節(jié)部件、第二調(diào)節(jié)部件、第三調(diào)節(jié)部件、第四調(diào) 節(jié)部件以及第五調(diào)節(jié)部件，分別用于原子力探針的里外水平偏擺、左 右水平、上下旋轉(zhuǎn)、上下俯仰以及上下豎直位姿調(diào)節(jié)；連接頭用于與 原子力探針測(cè)量系統(tǒng)的顯微物鏡相連。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)原子力探針任 意姿態(tài)的細(xì)微調(diào)節(jié)，各個(gè)調(diào)節(jié)動(dòng)作相互獨(dú)立，互不影響，提高了探針 姿態(tài)的調(diào)節(jié)精度；且能夠?qū)φ{(diào)節(jié)后的位姿進(jìn)行鎖定，使其保持穩(wěn)定， 進(jìn)一步保證原子力探針測(cè)量系統(tǒng)的穩(wěn)定性和精度。 

成果創(chuàng)新點(diǎn) 主要技術(shù)創(chuàng)新路徑（如涉及技術(shù)秘密，可簡(jiǎn)略描述）： 利用多反射腔將原子磁力儀小型化的同時(shí)將檢測(cè)靈敏 度提高一個(gè)量級(jí)，最終好于 50 fT/Hz1/2。引入微納加工手 段，將產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化，從而可進(jìn)行批量化生產(chǎn)。可進(jìn)一步應(yīng) 用于原子陀螺。 技術(shù)成熟度 關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)階段 市場(chǎng)前景 1.與醫(yī)院合作用于生物磁場(chǎng)測(cè)量和可移動(dòng)式磁成像； 2.共磁力儀用于慣性測(cè)量。

主要技術(shù)創(chuàng)新路徑（如涉及技術(shù)秘密，可簡(jiǎn)略描述）： 利用多反射腔將原子磁力儀小型化的同時(shí)將檢測(cè)靈敏度提高一個(gè)量級(jí)，最終好于 50 fT/Hz1/2。引入微納加工手段，將產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化，從而可進(jìn)行批量化生產(chǎn)。

可以量產(chǎn)/n小型銣原子頻率標(biāo)準(zhǔn)是量子學(xué)與電子學(xué)結(jié)合的產(chǎn)物，能夠?qū)⒃榆S遷頻率高精度的準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性傳遞出來，轉(zhuǎn)化為高端儀器設(shè)備需要的射頻頻率信號(hào)，適合通信、電力、金融、醫(yī)療等領(lǐng)域的應(yīng)用，通過與北斗/GPS組合實(shí)現(xiàn)廣域空間內(nèi)的高精度時(shí)間同步及組網(wǎng)應(yīng)用，同時(shí)具備較高的性能指標(biāo)和性價(jià)比。市場(chǎng)預(yù)期：小型銣原子頻標(biāo)的民用方向主要集中在通信及電力領(lǐng)域，主要針對(duì)下一代5G通信及智能電網(wǎng)，目前4G通信對(duì)銣鐘的需求在2000～3000套/年，隨著5G的推廣，用量會(huì)增加10～30倍；智能電網(wǎng)的建設(shè)在全國(guó)220kV及以上

1.產(chǎn)品介紹 AA-1800EL型原子吸收光譜儀是采用國(guó)際新的技術(shù)和國(guó)內(nèi)高校的專家聯(lián)手研發(fā)完成，擁有幾十年光譜儀器的研發(fā)和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。該產(chǎn)品包括火焰、石墨爐及氫化物發(fā)生系統(tǒng)，可配置多種附件，靈活的配置方案可滿足不同層次客戶的需求。全自動(dòng)多功能AA-1800EL型原子吸收光譜儀可進(jìn)行復(fù)雜的樣品分析，多種分析方法可自動(dòng)切換，做到無人全自動(dòng)分析。 AA-1800EL型原子吸收光譜儀廣泛應(yīng)用于科研、質(zhì)檢、疾控、環(huán)保、冶金、農(nóng)林、化工等行業(yè)，創(chuàng)新的軟、硬件設(shè)計(jì)確保樣品分析的準(zhǔn)確性、安全性、易用性，儀器維護(hù)簡(jiǎn)單便捷。 2. 性能特點(diǎn) 2.1. 全反射消色差光學(xué)系統(tǒng)。 色散率為1800條/毫米刻線大面積光柵，新型自準(zhǔn)直單色器，所有鏡片均是石英鍍膜，寬廣的檢測(cè)范圍和光學(xué)穩(wěn)定性確保了分析的精度、閃耀波長(zhǎng)230nm光柵分光系統(tǒng)。 2.2. 八燈燈座 一燈工作，最多可以七燈預(yù)熱，節(jié)省了換燈和預(yù)熱時(shí)間，使元素測(cè)量更加快捷方便。 2.3. 全自動(dòng)化 儀器采用全自動(dòng)設(shè)計(jì)，除主機(jī)電源開關(guān)外，儀器的燈架控制、波長(zhǎng)掃描、狹縫調(diào)節(jié)以及二維移動(dòng)平臺(tái)等功能全部通過軟件控制完成。 2.4. 背景校正系統(tǒng) 具備氘燈與自吸收兩種背景校正模式，背景信號(hào)1A時(shí)，扣背景能力60倍以上。 2.5. 自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，功能完善，性能強(qiáng)大的分析軟件 人性化的操作界面，讓您的操作易如反掌，可切換中英文Windows風(fēng)格軟件界面，全自動(dòng)定性、定量分析，自動(dòng)計(jì)算元素含量，自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告。 2.6. 火焰系統(tǒng)特點(diǎn) 2.6.1. 高分子霧化室 高分子材料抗腐蝕霧化室，耐酸堿，包括氫氟酸，無論是有機(jī)或是無機(jī)溶液都能得到較好的靈敏度和穩(wěn)定性； 2.6.2. 鈦燃燒器 鈦燃燒器，可選配50mm和100mm燃燒器，空冷預(yù)混合型，耐腐蝕，耐高鹽，大幅度提高火焰的效率和火焰分析的準(zhǔn)確度； 2.6.3. 高精度防堵塞霧化器。 高效型霧化器，霧化效率高，維護(hù)更換方便。 2.6.4. 質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)乙炔流量控制。 質(zhì)量流量控制器精確控制乙炔流量，精度達(dá)1ml/min，并對(duì)流量進(jìn)行動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)，使用方便，安全可靠。 2.6.5. 更多的安全保護(hù)措施，使樣品分析更加安全可靠。 采用高靈敏度探測(cè)器，對(duì)乙炔泄露進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)； 采用高精度的壓力傳感器，對(duì)乙炔壓力進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)視； 采用高精度的壓力傳感器，對(duì)乙炔壓力進(jìn)行空氣壓力監(jiān)視； 采用微動(dòng)開關(guān)及防火插銷，對(duì)燃燒頭狀態(tài)監(jiān)視； 采用光敏二極管，對(duì)火焰狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)視； 2.7. 石墨爐系統(tǒng)特點(diǎn) 2.7.1. 一體化設(shè)計(jì)。 石墨爐電源、原子吸收主機(jī)位于一臺(tái)儀器內(nèi)，縮短了電纜長(zhǎng)度，減少了石墨爐電源對(duì)外界的電磁干擾、提高了石墨管加熱效率。 2.7.2. 石墨爐控溫精度高，升溫速度快。 采用大功率變壓器、微阻電纜線以及光控升溫方式，并配合軟件、硬件溫度校正系統(tǒng)，高溫段控溫精度可達(dá)±1%。 2.7.3. 更多的安全保護(hù)措施，使樣品分析更加安全可靠。 石墨爐冷卻水具有流量實(shí)時(shí)監(jiān)視和保護(hù)； 2.7.4. 通過壓力傳感器對(duì)載氣壓力監(jiān)視 通過光敏二極管對(duì)石墨爐溫度監(jiān)視 2.7.5. 自動(dòng)載氣流量控制。 石墨爐內(nèi)氣，外氣全部由計(jì)算機(jī)根據(jù)軟件升溫流程自動(dòng)控制。 2.7.6. 150位轉(zhuǎn)盤式石墨爐自動(dòng)進(jìn)樣器。 極坐標(biāo)轉(zhuǎn)盤式石墨爐自動(dòng)進(jìn)樣器，定位精度高，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，使用維護(hù)方便。 3. 數(shù)據(jù)處理 高智能軟件，功能強(qiáng)大，友好的中文操作界面。全自動(dòng)儀器及附加控制，火焰、石墨爐工作模式可自動(dòng)切換，可自動(dòng)優(yōu)化，自動(dòng)稀釋；鼠標(biāo)操作，自動(dòng)設(shè)定菜單數(shù)據(jù)和校正方法； 石墨爐分析時(shí)，系統(tǒng)會(huì)給出全過程分析信息，包括測(cè)量值、溫度、程序、時(shí)間等， 并保存積分時(shí)間內(nèi)所有測(cè)量的信號(hào)曲線和溫度曲線；測(cè)量數(shù)據(jù)可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)顯示。標(biāo)準(zhǔn)曲線可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)擬和；樣品測(cè)量準(zhǔn)確：采用向?qū)У姆绞綄?duì)樣品進(jìn)行設(shè)置，方便快捷；靈敏度校正功能：使測(cè)量的結(jié)果更為準(zhǔn)確；參數(shù)打印，數(shù)據(jù)結(jié)果打印，圖形打印，可導(dǎo)出WORD、EXCEL文檔.

產(chǎn)品詳細(xì)介紹原子發(fā)射光譜儀產(chǎn)品特點(diǎn)1.分析速度快2.精密度高3.穩(wěn)定性好4.檢出限低5.分析元素多6.操作便捷 全新Windows運(yùn)行環(huán)境功能齊全7.全自動(dòng)點(diǎn)火 氣路智能控制，實(shí)現(xiàn)軟件點(diǎn)火，更方便8.安全 有冷卻水保護(hù)、氬氣保護(hù)、滅弧保護(hù)更安全采用多重屏蔽和良好的接地，使儀器輻射小于2V/m (JJG768-2005規(guī)定小于10V/m)。更好地保證操作者的安全。

1.產(chǎn)品型號(hào) AA-1800S六燈座單石墨爐原子吸收光譜儀AA-1800H六燈座火焰石墨爐一體原子吸收光譜儀AA-1800E八燈座火焰石墨爐一體原子吸收光譜儀 2.產(chǎn)品簡(jiǎn)介 AA-1800型原子吸收光譜儀是由行業(yè)的專家和國(guó)內(nèi)知名高校聯(lián)手研發(fā)完成，擁有幾十年光譜儀器的研發(fā)和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)。該產(chǎn)品包括火焰、石墨爐及氫化物發(fā)生系統(tǒng)，可配置多種附件，靈活的配置方案可滿足不同層次客戶的需求。全自動(dòng)多功能AA-1800型原子吸收光譜儀可進(jìn)行復(fù)雜的樣品分析，多種分析方法可自動(dòng)切換，做到無人全自動(dòng)分析。AA-1800型原子吸收光譜儀廣泛應(yīng)用于科研、質(zhì)檢、疾控、環(huán)保、冶金、農(nóng)林、化工等行業(yè)，創(chuàng)新的軟、硬件設(shè)計(jì)確保樣品分析的準(zhǔn)確性、安全性、易用性，儀器維護(hù)簡(jiǎn)單便捷。3.主要特點(diǎn)高精度全自動(dòng)化光學(xué)系統(tǒng)色散率為1800條/毫米刻線大面積光柵，新型自準(zhǔn)直單色器，所有鏡片均是石英鍍膜，寬廣的檢測(cè)范圍和光學(xué)穩(wěn)定性確保了分析的精度。全自動(dòng)6燈座配置6個(gè)獨(dú)立燈電源，可分別預(yù)熱；高分子霧化室高分子材料抗腐蝕霧化室，耐酸堿，包括氫氟酸，無論是有機(jī)或是無機(jī)溶液都能得到較好的靈敏度和穩(wěn)定性；鈦燃燒器鈦燃燒器，可選配50mm和100mm燃燒器，空冷預(yù)混合型，耐腐蝕，耐高鹽，大幅度提高火焰的效率和火焰分析的準(zhǔn)確度；全自動(dòng)化分析能自動(dòng)完成安全點(diǎn)火，熄滅和切換，結(jié)構(gòu)可靠，故障率低，從而確保火焰法的靈敏度和重現(xiàn)性。光源系統(tǒng)六燈位平臺(tái)自動(dòng)切換，可直接使用高性能空心陰極燈，提高火焰分析的靈敏度，自動(dòng)調(diào)節(jié)供電參數(shù)和光束位置，全自動(dòng)波長(zhǎng)掃描和尋找波峰；石墨爐溫控內(nèi)外氣雙重溫度控制，20階線性或非線性升溫，確保待測(cè)元素具有較好的靈敏度；爐內(nèi)富集濃縮達(dá)20次，縱向光控監(jiān)測(cè)石墨管內(nèi)壁溫度，最高可升溫至3000℃/s.高技術(shù)指標(biāo)AA-1800型原子吸收光譜儀元素測(cè)試靈敏度達(dá)到行業(yè)先進(jìn)水平，靈敏度≤0.015μg/mL/1%；基線漂移小于0.003Abs/30m，穩(wěn)定性優(yōu)于0.005Abs/4h;背景校正系統(tǒng)采用氘空心陰極燈和自吸收扣背景進(jìn)行背景校正，消除低含量測(cè)定時(shí)分子吸收的干擾，減少了氘燈的發(fā)射噪聲，延長(zhǎng)了使用壽命，具有 較好的穩(wěn)定性。氘燈背景信號(hào)為1A時(shí)，扣除背景能力＞50倍；智能化分析智能性非常強(qiáng)，人性化設(shè)計(jì)，火焰和石墨爐原子化器自動(dòng)切換，石墨爐原子化器自動(dòng)優(yōu)化，自動(dòng)設(shè)置調(diào)節(jié)火焰高度，自動(dòng)點(diǎn)火，水平位置自動(dòng)優(yōu)化，系統(tǒng)自動(dòng)設(shè)置氣體流量。如遇停電、誤操作、乙炔泄漏等，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)安全保護(hù)功能；自動(dòng)進(jìn)樣器與石墨爐一體化設(shè)計(jì)，采用高精度注射器，最低可進(jìn)0.5μl樣品，具有智能化在線稀釋與濃縮功能。4.軟件功能強(qiáng)大的功能高智能軟件，功能強(qiáng)大，友好的中文操作界面。全自動(dòng)儀器及附加控制，可自動(dòng)優(yōu)化，自動(dòng)稀釋；鼠標(biāo)操作，自動(dòng)設(shè)定菜單數(shù)據(jù)和校正方法；測(cè)量數(shù)據(jù)可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)顯示。標(biāo)準(zhǔn)曲線可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)擬和；樣品測(cè)量準(zhǔn)確：采用向?qū)У姆绞綄?duì)樣品進(jìn)行設(shè)置，方便快捷；靈敏度校正功能：使測(cè)量的結(jié)果更為準(zhǔn)確；數(shù)據(jù)共享方便快捷的數(shù)據(jù)共享數(shù)據(jù)處理：可對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行編輯保存；打印輸出：提供單元素與多元素分析的報(bào)告；對(duì)測(cè)量結(jié)果及儀器的條件進(jìn)行打印；數(shù)據(jù)導(dǎo)出：數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能實(shí)現(xiàn)了與其他系統(tǒng)的數(shù)據(jù)共享。數(shù)據(jù)處理測(cè)量方式 : 火焰法、石墨爐法、氫化物-原子吸收法   濃度計(jì)算方式 : 標(biāo)準(zhǔn)曲線法（1～3次曲線），自動(dòng)擬合，標(biāo)準(zhǔn)加入法   重復(fù)測(cè)量次數(shù) : 1-99次、計(jì)算平均值、給出標(biāo)準(zhǔn)偏差和相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差   結(jié)果打印 : 參數(shù)打印，數(shù)據(jù)結(jié)果打印，圖形打印，可導(dǎo)出WORD、EXCEL文檔