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成分振蕩金屬氮化物涂層的制備方法

2016-09-29 00:00:00
云上高博會 http://www.502d.xyz
關鍵詞: 氮化物涂層
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所屬領域:
新材料及其應用
產品服務:

本發明屬于表面工程技術的應用,具體是成分振蕩金屬氮化物涂層的制備方法,在等離子體偏壓反濺清洗過的表面平整的基片上,以反應濺射工藝模式在基片表面沉積成分振蕩金屬氮化物涂層,沉積過程中,通過改變N2氣與Ar氣的分流量或分氣壓來控制濺射氣體中N2氣與Ar氣的含量比,且N2氣與Ar氣的含量比變化曲線隨涂層沉積時間呈現出周期性變化規律。本發明制得的涂層中N元素的含量比沿涂層生長方向的分布具有振蕩特征;涂層是由多個亞層組成的多層結構,而每一亞層中N元素含量比的變化呈現梯度分布特征,該涂層具有梯度化與多層化的雙重復合結構特征。

項目優勢:

本發明制得的涂層中N元素的含量比沿涂層生長方向的分布具有振蕩特征;涂層是由多個亞層組成的多層結構,而每一亞層中N元素含量比的變化呈現梯度分布特征,該涂層具有梯度化與多層化的雙重復合結構特征。

市場概況:

市場廣闊。

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