用于微形貌測量的磁懸浮觸針式位移傳感器

先進制造與自動化

本發明為用于微形貌測量的磁懸浮觸針式位移傳感器。包括測量探頭、探頭支承座、讀數傳感器、信號處理控制裝置。其中觸針安裝在懸浮式探桿下端，探桿為磁體，探桿設置在探頭支承座內并與探頭支承座間留有間隙，探頭支承座為電磁鐵。讀數傳感器與測量探頭對應。設置有信號處理控制裝置分別與讀數傳感器及探頭支承座連接。本發明利用磁懸浮支承座和探桿間的磁力作用將探桿和觸針懸浮，徹底改變了傳統的機械固定接觸式探桿安裝方法，保證探桿和觸針的高順應性，使探桿只能在垂直于工件表面方向作直線運動，從本質拋掉了傳統傳感器的非線性誤差，大大提高測量精度，擴大了傳感器的測量范圍，適應了精密加工技術的發展，更好地滿足工業測量需要。

從本質拋掉了傳統傳感器的非線性誤差，大大提高測量精度，擴大了傳感器的測量范圍，適應了精密加工技術的發展，更好地滿足工業測量需要。

市場廣闊。