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一種基于紫外光激發的白光發射器件及其制備方法
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
白光發射器件
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明涉及一種半導體發光與顯示器件的制備方法，具體地說，是涉及一種基于紫外光激發的白光發射器件及其制備方法，屬光電集成技術領域。該制備方法包括如下步驟：清洗硅片、在清洗后的硅片上制備多孔硅、在多孔硅上沉積氮化鋁薄膜、用紫外光照射氮化鋁薄膜，得到在可見光區發光的白光發射器件。
技術推廣意向：半導體發光與顯示領域
技術創新：本發明具有如下的有益效果：器件結構簡單，無污染，制備成本低；不需要熒光粉，發光效率高；發光性能穩定，光譜波長范圍寬。
項目階段:
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