壓電-電磁復(fù)合式振動(dòng)能量收集器及其制備方法

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本發(fā)明提供了一種壓電?電磁復(fù)合式振動(dòng)能量收集器及其制備方法，該振動(dòng)能量收集器包括相互堆疊的第一襯底、第二襯底和第三襯底；所述第一襯底、所述第三襯底經(jīng)刻蝕分別形成第一、第二懸臂梁結(jié)構(gòu)，其中所述第一襯底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方為第一懸臂梁結(jié)構(gòu)，所述第三襯底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方為第二懸臂梁結(jié)構(gòu)；所述第二襯底的上、下表面相對(duì)應(yīng)的位置形成有第三凹槽和第四凹槽，以組裝形成三組不同諧振頻率的拾振結(jié)構(gòu)。通過(guò)該制備方法所制備的振動(dòng)能量收集器具有高的能量收集效率、輸出功率和輸出功率密度(W/cm2)，還具有尺寸小、精度高、易于批量制造、制造成本低以及易于小型化的優(yōu)點(diǎn)。

產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用