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濕法刻蝕鎳酸鑭薄膜和鐵電薄膜/鎳酸鑭復合薄膜的腐蝕液及其制備方法
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
鎳酸鑭腐蝕液
所屬領域:
項目成果/簡介:
一種濕法刻蝕鎳酸鑭薄膜和鐵電薄膜/鎳酸鑭復合薄膜的腐蝕液，由雙氧水、硝酸、氫氟酸和純凈水配制而成，純凈水、雙氧水、硝酸、氫氟酸的體積比為：純凈水∶雙氧水∶硝酸∶氫氟酸＝1∶2～3∶0.5～1.0∶0.06～0.12。所述腐蝕液的制備方法，按上述配方在常溫、常壓下將計量好的純凈水與雙氧水混合均勻，然后加入計量好的硝酸并混合均勻，繼后加入計量好的氫氟酸并混合均勻。所述腐蝕液可干凈、徹底地一次性去除SiO2 和/或Pt表面的LNO薄膜或LNO復合薄膜，得到邊緣清晰、側蝕比小的刻蝕圖形。
項目階段:
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