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一種電容式三維風速風向傳感器
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
風速風向傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種電容式三維風速風向傳感器，所述傳感器包括第一微柱、第二微柱、襯底、第一空氣層、第二空氣層、第一層金屬極板單元、第二層金屬極板單元和第三層金屬極板單元；所述第一微柱連接在襯底的頂面，第二微柱連接在襯底的底面，第一空氣層、第二空氣層和金屬極板單元位于襯底中，第一層金屬極板單元、第一空氣層、第二層金屬極板單元、第二空氣層和第三層金屬極板單元從上向下依次布設；第一空氣層中設有第一微支點，第二空氣層中設有第二微支點，第一微支點和第二微支點分別與襯底連接；第一層金屬極板單元、第二層金屬極板單元和第三層金屬極板單元嵌在襯底中，可用引線引出。該傳感器可以實現零功耗，同時提高風速測量的可靠性。
項目階段:
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