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一種基于超材料結構的濕度傳感器
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
濕度傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種基于超材料結構的濕度傳感器，包括基板、輸入微帶信號線、輸出微帶信號線、叉指結構、開路短截線電感、微帶線地線、聚酰亞胺層，該濕度傳感器是在基板上放置由叉指結構和開路短截線電感構成的超材料結構，當空氣中的濕度發生變化時，叉指結構上涂覆的濕度敏感材料聚酰亞胺層能夠吸收空氣中的水汽分子，其介電常數發生變化，導致由叉指電容和開路短截線電感構成的超材料結構產生相應的相移輸出，通過檢測超材料結構的相移，實現濕度的測量，本發明靈敏度高，測量誤差小，同時還具有結構簡單、成本低、統計小、功耗低、工藝兼容等優勢。
項目階段:
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