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一種雙膜電容式壓力傳感器及制作方法
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
壓力傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明涉及壓力傳感器技術領域，特指一種雙膜電容式壓力傳感器及制作方法，包括玻璃襯底，玻璃襯底中心位置上設有淺槽，淺槽中心位置設有淺槽通孔，淺槽通孔從淺槽底面延至玻璃襯底底面，淺槽上設有可測量低壓差的電容C1與可測量高壓差的電容C2，可測量低壓差的電容C1包括底電極板與薄壓力敏感膜，可測量高壓差的電容C2包括厚壓力敏感膜與頂電極板，淺槽通孔(71)與可測量低壓差的電容C1對應設置，可測量低壓差的電容C1與可測量高壓差的電容C2對應設置。本發明采用變間距原理實現壓力到電容的轉換，可測量低壓差的電容C1與可測量高壓差的電容C2分別實現了微壓段和高壓段的高精度測量，不僅提高了壓力測量精度，也提升了傳感器的測量范圍。
項目階段:
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