大面積減反射膜技術

新材料及其應用

溶膠-凝膠工藝制備的納米多孔SiO2薄膜具有結構可控、折射率可調、激光損傷閾值高、光學特性良、成本低廉、工藝簡單等優點，因此可以獲得很好的減反射性能，在強激光、太陽能、大屏幕顯示系統具有很好的應用前景。 本項目組長期從事溶膠-凝膠法制備光學薄膜材料的研究，在結構可控的多尺度多孔氧化物薄膜的控制方面已積累了豐富經驗。對結構可控光學薄膜的研制，在其制備技術及光學特性等方面進行了大量有益的嘗試。特別是在薄膜機械強度方面，進行了大量新的探索，采用堿/酸兩步催化法的制備工藝技術，結合紫外光輻照、水和氨混合蒸汽的熱處理、鋼化處理，初步得到了溶膠-凝膠光學薄膜的結構強化效應。 近年來本項目組所開發的減反射光學薄膜在太陽能電池、非線性光學晶體、展柜玻璃等得到了項目應用。此外，還開展了一系列的減反射薄膜的工業化生產中試實驗，進行了大量工藝的擴大化實驗。制備的大尺寸減反射薄膜除優良的光學性能外，還表現出非常出色的機械性能和耐侯性，適合戶外環境中的使用。

所研發的減反射光學薄膜可以應用在太陽能電池、非線性光學晶體、展柜玻璃和大屏幕顯示系統等。

中試

（1）采用堿/酸兩步催化法的制備工藝技術，結合紫外光輻照、水和氨混合蒸汽的熱處理、鋼化處理，初步得到了溶膠-凝膠光學薄膜的結構強化效應； （2）通過一些放大試驗，獲得了200 mm×200 mm、1500 mm×1000 mm等較大尺寸的性能良好的寬帶減反射薄膜（見下圖）； （3）開展了一系列的減反射薄膜的工業化生產中試實驗，進行了大量工藝的擴大化實驗。制備的大尺寸減反射薄膜除優良的光學性能外，還表現出非常出色的機械性能和耐侯性，適合戶外環境中的使用。