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中山大學
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氮化硅基光子集成技術及關鍵器件

2021-04-10 00:00:00
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:
項目采用了中山大學自主研發的低損耗低應力超低溫氮化硅材料平臺，研制了一系列光子集成的關鍵 器件
項目階段:
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