微型集成式固體電解質環境監測氣體傳感器

新能源與節能環保

一、項目簡介隨著工業化進程的加速推進，人類社會各方面的發展對化石燃料的消耗與日俱增，而由此產生的大氣環境污染問題也愈發嚴重，對人類的生存和健康、自然生態環境造成極大的損害。基于固體電解質的氣體傳感器，結合先進的 MEMS 和鍍膜技術，對于 CO 、SO 等污染性氣體濃度的實時監測、防治十分重要。22項目以 Li3PO 、Li3PO -Li SiO 薄膜固體電解質薄膜作為導電介質，研制 CO 、34422SO 等環境監測氣體傳感器。通過固體電解質薄膜的 CO 、SO 氣體傳感器的響應222原理分析，設計了集成式環境監測氣體傳感器，選擇了合適的反應電極材料，結合 MEMS 薄厚膜工藝，采用熱阻蒸發鍍膜工藝沉積 Li PO 固體電解質薄膜，絲網34印刷厚膜技術制備反應電極和加熱電極，完成了集成式微型 CO 、SO 氣體傳感器22的研制、封裝、測試，為工業應用奠定了基礎。微型氣體傳感器可實現 CO 和 SO22氣體的高精度監測，并具有體積小、功耗低、成本低的特點。西安交通大學國家技術轉移中心二、技術指標（性能參數）芯片尺寸封裝方式1.6mm x 1.8mmTO 封裝檢測范圍測量誤差工作電壓傳感

未應用

技術指標（性能參數）芯片尺寸封裝方式1.6mm x 1.8mmTO 封裝檢測范圍測量誤差工作電壓傳感器靈敏度響應時間工作溫度功耗CO （100~5000 ppm），SO2（1~200 ppm）2±5%<2.0V(直流)CO （60-90mV/dec），SO （70-95mV/dec）22CO （<20s），SO （<30s）22常溫功耗800mW預期壽命>2 年