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武漢大學
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一種基于 MEMS 系統的高靈敏度高分辨率的 微型溫度傳感器及監測方法

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.502d.xyz
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所屬領域:
其它領域
項目成果/簡介:

本發明涉及一種基于 MEMS 系統的高靈敏度高分辨率的微型溫度傳感器及監測方法,包括兩組 V

型彎曲梁組件,其中每組 V 型彎曲梁組件包括若干上下疊放的 V 型梁,所述每組 V 型彎曲梁組件的所

有 V 型梁同中心,且同時固定在一個固定塊上;兩組 V 型彎曲梁組件通過連接桿與固定在一個杠桿的

一端,所述杠桿另一端設有壓電陶瓷,壓電陶瓷的上下斷面分別是接電的上電極和下電極。本發明可以

感應極其微小的溫度變化并且將之轉換為較大的電信號輸出,能夠顯著

項目階段:
未應用
知識產權編號:
201510445110.3
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