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一種平面度誤差測量裝置及其二維掃描工作臺
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
二維掃描工作臺
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種平面度誤差測量裝置其包括激光器、柔性鉸 鏈、靜光柵、動光柵、測量頭、壓縮彈簧、底板以及光電探測器，測 量頭固定在柔性鉸鏈的第一端部處并伸出，動光柵設置在柔性鉸鏈的 第一端部內，壓縮彈簧一端與底板連接且另一端與柔性鉸鏈的第一端部連接，壓縮彈簧位于測量頭的下方，柔性鉸鏈的第二端部與底板固 定，靜光柵固定在底板上，其與動光柵平行相對且相鄰設置，激光器 也設置在底板上，光電探測器設置在靜光柵出光端。本發明還提供一 種二維掃描工作臺。
項目階段:
產業化應用
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