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一種五自由度的白光干涉原子力探針位姿調整機構
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
白光干涉原子力探針
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種原子力探針位姿調整機構。包括探針座，調 節機構和連接頭。其中探針座用于原子力探針的安裝固定;調節機構 包括由下至上的第一調節部件、第二調節部件、第三調節部件以及第 四調節部件，分別用于原子力探針的里外水平偏擺、左右水平和上下 旋轉、上下俯仰以及上下豎直位姿調節;連接頭用于與顯微物鏡相連。 本發明能夠實現原子力探針姿態在五個自由度上的細微調節，各個調 節動作相互獨立，彼此不發生干涉，互不影響，提高了探針姿態的調 節精度;且能夠對調節后的位姿進行鎖定，使其保持穩定。
項目階段:
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