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一種面向柔性芯片的多頂針剝離裝置及剝離方法

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.502d.xyz
關鍵詞: 柔性芯片
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所屬領域:
電子信息
項目成果/簡介:

本發明公開了一種面向柔性芯片的多頂針剝離裝置,包括固定 座、雙真空腔室、多頂針機構和凸輪旋轉驅動機構,其中:雙真空腔 室由分設在內、外側的真空內腔室和真空外腔室共同組成,并且真空 內腔室還可獨立發生上下滑動;多頂針機構由同軸安裝且彼此獨立操 控的內外圈頂針機構共同組成,它們沿著豎直方向整體設置在真空內 腔室下部,并各自包括頂針、支撐架和從動子;凸輪旋轉驅動機構用 于實現內外圈頂針機構上下動作時序的控制,同時實現單頂針與多頂 針之間的靈活切換。本發明還公開了相應的剝離工藝方法。通過本發 明,能夠顯著提

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