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一種熱鍵合裝置

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.502d.xyz
關鍵詞: 熱鍵合
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所屬領域:
其它領域
項目成果/簡介:

本發(fā)明提供了一種熱鍵合裝置,主要包括外腔、加壓裝置、上加熱器和位于外腔底部的基座,基座中間部分為凸臺,凸臺內設有沉控,沉孔內裝有彈簧,彈簧伸出凸臺的一端上放置球頭小柱,在球頭小柱上依次放置隔熱板和下加熱器;在基座凸臺兩側設有兩支撐架,用于用于支撐下工作臺機構;在下彈簧與下工作臺機構接觸處上端的導桿上套有上彈簧,用于支撐上工作臺機構。本發(fā)明通過三種彈簧設置使上下加熱器和上下工作臺之間均勻壓緊,實現(xiàn)鍵合樣片之間的均勻貼緊。

項目階段:
未應用
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