一種陽極鍵合裝置

其它領域

本發明提供了一種陽極鍵合設備，主要包括外腔、加壓裝置、電極和位于外腔底部的自動調平裝置，自動調平裝置含有基板，基板包括底盤和位于其上的凸臺，凸臺內部均勻開有至少三個沉孔，沉孔內放置彈簧，彈簧的上端放置球頭柱，該球頭柱為半球狀的另外一端伸出沉孔與隔熱基板相接觸，在底盤上端凸臺的外沿處設置三個均勻分布的限位桿，限位桿略高于球頭柱與隔熱基板的接觸面，起到對隔熱基板限位的作用。本發明通過自動調平裝置使得整個鍵合裝置形成上下浮動結構，在樣片鍵合時實現自動調平，樣片均勻貼合。

未應用