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激光光源傳輸腔室的溫控與凈化控制方法和系統(tǒng)

2021-04-14 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 激光光源 傳輸腔室
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所屬領(lǐng)域:
先進(jìn)制造與自動(dòng)化
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:

本發(fā)明公開(kāi)了一種激光光源的傳輸腔室內(nèi)的溫控與凈化控制系 統(tǒng),包括:設(shè)置在光路傳輸通道的模塊腔體之前的二級(jí)調(diào)壓閥,用于 調(diào)節(jié)待進(jìn)入模塊腔體的通道中的氣體壓力;設(shè)置在光路傳輸通道的氣 體凈化裝置和模塊腔體之間的毛細(xì)管,用于保證光路傳輸腔室氣壓與 外界氣壓有微正壓;以及設(shè)置在光路傳輸通道的模塊腔體之后的節(jié)流 閥,且每個(gè)模塊腔體之后對(duì)應(yīng)設(shè)置一個(gè)所述的節(jié)流閥,用于調(diào)節(jié)各模 塊腔室與環(huán)境大氣壓的壓差。本發(fā)明還公開(kāi)了相應(yīng)的溫控與凈化控制 方法。本發(fā)明的裝置和方法通過(guò)控制腔體與外界的壓差恒定,同時(shí)通 過(guò)加熱器和熱交

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