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基于橢圓柱內(nèi)反射鏡的位移檢測(cè)裝置

2021-04-14 00:00:00
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關(guān)鍵詞: 反射鏡
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本發(fā)明公開了一種基于橢圓柱內(nèi)反射鏡的位移檢測(cè)裝置,該裝置將凸透鏡成像的原理進(jìn)行巧妙地運(yùn)用,通過(guò)光致發(fā)光物質(zhì)(或漫反射材料)、橢圓柱內(nèi)反射鏡和線陣感光元件將光匯聚點(diǎn)的位置檢測(cè)轉(zhuǎn)化為線陣感光元件上感光最強(qiáng)點(diǎn)的檢測(cè),只需通過(guò)計(jì)算機(jī)便可檢測(cè)出來(lái)。裝置包括點(diǎn)光源激光器、凸透鏡、橢圓柱內(nèi)反射鏡和線陣感光元件。點(diǎn)光源激光器與橢圓柱內(nèi)反射鏡放置于凸透鏡的同一側(cè);光致發(fā)光物質(zhì)(或漫反射材料)涂在橢圓柱內(nèi)反射鏡的一條焦線上,此焦線與凸透鏡的光軸重合;橢圓柱內(nèi)反射鏡的另一焦線放置線陣感光元件,以檢測(cè)被測(cè)表面的位移。該裝置

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