一種用于柔性膜轉移的機械手控制系統

先進制造與自動化

本發明屬于柔性電子生產相關設備領域，并公開了一種用于柔 性膜轉移的機械手控制系統，包括多自由度機械手、多傳感器反饋單 元和控制單元，其中多自由度機械手用于對柔性膜執行轉移操作；多 傳感器反饋單元包括 CCD 傳感器、激光位移傳感器、重力傳感器組、 真空傳感器、壓力傳感器等，并用于對機械手包括位置、姿態、真空度和接觸力在內的多項狀態指標執行檢測；控制單元則基于多傳感器 反饋單元的信息，對機械手整個轉移過程的操作執行精確控制，同時 還可對拾取頭工作段的吸附面積大小進行靈活調節。通過本發明，可 根據柔性膜

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