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一種微納深溝槽結構側壁形貌快速測量方法及裝置
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
微納深溝槽
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種微納深溝槽結構側壁形貌快速測量方法及裝置，能夠同時快速測量微納深溝槽結構線寬、溝槽深度、側壁角、側壁粗糙度等側壁形貌參數。步驟為：將波長為從近紅外到中紅外的光束經起偏后得到的橢圓偏振光投射到待測結構表面；采集待測結構表面零級衍射信號，計算得到微納深溝槽結構測量紅外橢偏光譜；采用分波長建模方法分別計算在近紅外和中紅外波段理論橢偏光譜，采用分步光譜反演方法與實驗測量紅外橢偏光譜匹配，依次提取出溝槽結構參數和粗糙度參數。裝置包括紅外光源、第一至第四離軸拋物鏡、邁克爾遜干涉儀、平面反射鏡、起
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