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一種微型的橋式結(jié)構(gòu)及其制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會(huì)
http://www.502d.xyz
關(guān)鍵詞：
橋式結(jié)構(gòu)
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明提供了一種微型的橋式結(jié)構(gòu)及其制備方法，包括四個(gè)懸
臂梁，金屬橋面，四個(gè)金屬橋墩和襯底；每一個(gè)懸臂梁均為 L 型結(jié)構(gòu)，
懸臂梁的一端與一個(gè)金屬橋墩垂直固定連接，另一端與金屬橋面連接；
金屬橋面與懸臂梁位于同一個(gè)平面，四個(gè)懸臂梁將金屬橋面懸掛于襯
底上，并在金屬橋面的下底面與襯底之間形成空腔結(jié)構(gòu)。方法包括在
潔凈的襯底表面制備金屬橋墩；在形成有金屬橋墩的襯底表面涂覆犧
牲層；對(duì)犧牲層進(jìn)行光刻處理后將金屬橋墩頂部的犧
項(xiàng)目階段:
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