一種原位橢圓偏振測量裝置

其它領域

一種原位橢圓偏振測量裝置，包括密封蓋（100）上設置供偏振光入射與反射的入射孔（106）和反射孔（107），并在外開口處設置密封的入射透光口（108）和反射透光口（109），從而可以保持薄膜反應腔密閉狀態下，在整個原子層沉積過程中隨時測量薄膜厚度，并且通過光路孔的腔內開口與反應腔的進氣口與出氣口錯開設置，使反應腔的氣體流動不易進入光路孔，從而避免在光路孔內壁沉積反應物，無需復雜的定期清洗，整個測量裝置結構簡單、緊湊，使用方便。

試用