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一種用于大型非平整表面沉積的裝置及方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
表面沉積
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種原子層沉積裝置，包括原子層沉積單元噴頭，所述單元噴頭包括高壓氣流入口，惰性隔離氣體入口通道，出氣口通道，和兩種前驅體入口通道，其中所述高壓氣流入口噴出高壓氣體以頂起整個沉積裝置，該裝置是微型開放式且可移動可擴展，能夠適用于大型非平整結構表面薄膜沉積，并可直接經過簡單多塊組合，增加沉積效率。
項目階段:
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