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一種適用于納米材料操控的多自由度納米操作臺
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項目成果/簡介:
本發明公開了一種適用于納米材料操控的多自由度納米操作臺，包括底座、Z 向位移臺、XY 向位移臺和納米操作臂，其中 Z 向位移臺沿著豎直方向設置在底座上，包括彼此連接的固定部件和安裝有 Z 向直線驅動電機的移動部件；XY 向位移臺沿著水平方向設置在 Z 向位移臺的移動部件上，并包括彼此并聯滑動連接的第一至第三并聯部件，其中第一并聯部件上安裝有 Y 向直線驅動電機，第二并聯部件上安裝有 X 向直線驅動電機，第三并聯部件上安裝有旋轉運動驅動電機和納米操作臂。本發明通過對驅動電機與位移臺的高精度控制以及主要
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