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基于體積圖形學的MEMS工藝仿真系統
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
MEMS工藝仿真
所屬領域:
項目成果/簡介:
項目的背景及目的
本軟件是MEMS器件的設計人員的輔助工具，通過該軟件設計人員可以在實際生產之前提前預覽到所設計器件的三維幾何形狀，如果不符合要求可以進行重新設計或者對原來設計進行修改。這樣可以大大的降低設計的成本和時間，為MEMS設計人員提供較為感性的認識。
技術原理與工藝流程
基于體積圖形學的MEMS工藝仿真系統需要結合體積圖形學和專家系統以及物理模型，最終實現MEMS典型工藝的真實模
項目階段:
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