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一種無電極式半導體氣體傳感器及其制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.502d.xyz
關鍵詞：
氣體傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種無電極式半導體氣體傳感器及其制備方法。
采用無電極式設計，利用靈敏度高、導電性能好的膠態納米晶復合材
料制作氣敏層，將其于室溫下涂覆在絕緣襯底上形成器件，無需使用
額外的信號電極，器件結構和工藝步驟簡單，且利于降低成本，適于
批量生產，而且適于制作成柔性氣體傳感器。本發明的氣體傳感器具
有輕、薄、短、小和便攜性好的特點，而且工作溫度低，具有良好的
應用前景。
項目階段:
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